Патент ссср 159371
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ № 159371
СОЮ3 СОВЕТСКИХ
СОПИАЛИСТИ1ЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
Класс
48d, 6
ЧПК
С 23с
Заявлено 10.1X.1962 (¹ 794214/26-9) ГОСУДАРСТВЕННЫИ
КОМИТЕТ НО ДЕЛАМ
ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ
СССР
Опуоликовако 07.Х11.1963. Бюллегень ¹ 24
Подписная группа № 211
Известен способ защиты поверхности германия от диффузии примесей путем окислени<я поверхности германия. Известен также способ получения пленок окиси кремния, напыляемых на подлои(ки из различных материалов путем испарения в вакууме, В предлагаемом способе защиты поверхности германия для упрощения способа и повышения надежности защиты поверхности германия от диффузии примесей по заданному рисунку в качестве испаряемого защитного материала используют смесь кремния и двуокиси кремния.
Предложенный способ позволяет получить эластичные защитные пленки, обладающие хорошей адгезией к поверхности германия и выдерживающие температуру до 1000 С, Сущность способа заключается в том, что на поверхности германия создают окисную пленку путем напыления в вакууме смеси кремния и двуокиси кремния. Для этого германиевую пластинку подвергают физико-химической обработке — шлифованию, обезжириванию и травлению. Затем на пластинку наносят слой фотоэмульсии (например, на основе полиамидной смолы) и фотолитографическим способом создают рисунок (негатив для заданного рисунка при диффузии). Потом пластинку помещают в вакуумную камеру для напыления окиси кремния. Пленки окиси кремния получают при испарении в ваг:r. ?11 c.
В. М. Кочегаров, Л. H. Колесов, Ю. П. Пасичны, В. Д. Самуйленкова и К. Л. Афанасьев
1 "".,:
СПОСОБ ЗАЩИТЪ| ПОВЕРХНОСТИ ГЕРМАНИЯ
1 кууме смеси кремниями;двуокиси кремния, нагретых до температуры 1500 — 1600 С при вакууме порядка 5.10 л1л1 рт. ст. При этом расстояние испарителя до пластинки равно
50 л1лг, время напыления — 10 л1ин, толщина полученных пленок менее 0,5 л1н. Далее пластинку с нанесенной пленкой окиси кремния в течение 40 .чин нагревают до 200 С, затем
20 л1ин выдерживают при той же температуре, после чего охлаждают до комнатной температуры со скоростью 7 град/л1ин. Пластинка с напыленной пленкой окиси кремния при указанном режиме поступает на операцию
«проявления», при которой снимают пленку фотоэмульсии и получают заданный рисунок.
Пленку полиамидной эмульсии снимают погружением пластины в 6 1е-ный раствор перекиси водорода при 60 — 70 С на 1 — 2 л1ин.
В результате на поверхности германиевой пластинки образуется рисунок из защитной пленки окиси кремния на тех участках, где не должно быть диффузии примесей из газовой среды.
Полученная таким образом защитная пленка обладает хорошей адгезией к поверхности германия, эластична и беспориста при нагревании до 1000 С. Защитную пленку легко можно снять раствором плавиковой 1(IIcлоты.
Описанный способ может быть использован в радиотехнической промышленности при производстве различных микроэлементов и мик№ 159371
Редактор Т. В. Данилова 1 ехред А. А. Камышникова Корректор Т. Д. Хромцева
Подл. и печ. 6/Ill — 64 r. Формат бум. 60 X 901/з Объе 1 0 23 изд
Заказ 354/4 Тираж 1775 Цена 5 коп.
ЦНИИПИ 1 осударственного комитета по делам изобретений и открытий СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.
Типография, пр. Сапунова, 2. рорадиоузлов как в виде твердых схем, так и в пленочном исполнении.
Предмет изобретения
Способ защиты поверхности германия по заданному рисунку от диффузии примесей с помошью окисной пленки, напыляемой путем испарения в вакууме, отл ич а ющи и с я тем, что, с целью упрощения способа и повышения надежности защиты, в качестве испаряемого защитного материала используют смесь кремния и двуокиси кремния.