Патент ссср 160063

Патент ссср 160063

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Подписная группа М 109

В. В. Новиков и В. В. Русаков

ЩЕЛОЧНОЙ ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ

КРЕМНИЯ

Ацетат калия

Трилон Б

1,5 — 2,5

0,2 — 0,7

Предмет изобретения

Известны кислые травители для травления кремния — смеси на основе плавиковой и азотной кислот. Известно также травление в кипящем 20 — 30%-ном растворе едкого калия. Для травления поверхности кремниевых элементов с облуженными контактами или припаянных к кристаллодержателю применение кислых травителей неудобно из-за необходимости защиты всех металлических поверхностей.

Предложен щелочной травитель для травления облуженных или припаянных к кристаллодержателю кремниевых рабочих элементов следующего состава (в о/<)

Едкий калий...... 20 — 30

Фосфорнокислый калий .. 0,8 — 1,5

Щелочной травитель для химического травления, например, облуженных или припаянных к кристаллизатору кремниевых элементов, отл и ч а ющий ся тем, что, с целью получения равномерного и качественного травления, в состав травителя вводят (в o/о)

Едкий калий . . . . . . 20 — 30

Фосфорнокислый калий .. 0,8 — 1,5

Лцетат калия,..... 1,5 — 2,5

Трилон Б....... 0,2 — 0,7