Патент ссср 160230
Иллюстрации
Реферат
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
С01(ИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЛ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕАЬСТВУ
Ко 160230
Класс
21g, 11ее
МПК Н 011
Заявлено 01.Х.1962 (¹ 797034/26-9) Опубликовано 16.1.1964. Бюллетень ¹ 3
ГОСУДАРСТВЕННЫ И
КОМИТЕТ ПО ДЕЛАМ
ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ
СССР
УДК
Подписная группа № 82
Э. И. Багдасарьяиц и В. С. Марквичева
СПОСОБ ХОЛОДНОЙ СВАРКИ ДЕТАЛЕЙ КОРПУСОВ
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ
Предмет изобретения
Способ технологической обработки деталей, заключающийся в нанесении слоя никеля под слой золота, известен и широко применяется для упрочнения и повышения коррозионной стойкости металлов.
Предлагаемый способ холодной сварки деталей корпусов полупроводниковых приборов, например, из меди и ковара отличается от известных тем, что для осуществления герметизации покрытых золотом деталей путем холодной сварки детали дополнительно подвергают отжигу в вакууме при температуре
610 — 670 С (лучше 650 С) в течение 15—
20 мин. В результате отжига никель, проникая в слой золота, придает ему хрупкость, что позволяет осуществлять холодную сварку деталей и обеспечивает надежную герметизацию приборов.
Сущность предлагаемого способа заключается в следующем.
Одну из соединяемых деталей корпуса полупроводникового прибора, например ножку корпуса, покрывают слоем никеля более тонким, чем по принятой технологии (4 — 6 мк).
На никелированную поверхность ножки наносят гальваническим путем слой золота толщиной 8 — 10 мк. Затем ножку подвергают термоотжигу в вакууме при температуре
650 С в течение 15 мин.
В процессе термоотжига никель проникает в слой золота, придавая ему хрупкость. В зтом случае после холодной сварки, как показывают поперечные шлифы, золота в шве не обнаруживается, а следовательно, обеспечньается герметичность шва и повышается надежность герметизации корпусов полупроводниковых приборов.
Золочение ножки корпуса имеет следующие преимущества: кристалл кремния может быть припаян непосредственно к ножке при термоотжиге в .режиме вакуума (10 4 мм рТ. ст.) при температуре 610 — 670 С в течение 15 — 25 мин, необходимом для обеспечения герметичности; отпадает необходимость в наличии кристаллодержателей; слой золота на ножке предохраняет ее or действия кислот, используемых при травлении кремния, т. е. травление может быть последней операцией перед сборкой прибора.
Способ холодной сварки деталей корпусов полупроводниковых приборов, например, из меди и ковара, предварительно покрытых слоем никеля и золота, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности герметизации корпусов, соединяемые детали предварительно отжигают в вакууме при температуре 610 — 670 С в течение 15 — 25 мин.