Патент ссср 160337
Иллюстрации
Реферат
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУЬлИК
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
K ASTOPCKOMV СВИ,АЕТЕЛЬСТВУ
Хо 160331
Класс
42h, 35„
МПК
G 02cj;
Заявлено 08.V1.1962 (№ 781880/26-10) ГОСУДАРСТВЕННЫИ
К0МНТЕТ fl0 ДЕЛАМ
ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ
СССР
Опубликовано 16.1.1964. Бюллетень № 3
УДК
1
1S"
t - -
Г. T. Пономаренко
5""; "И0 t;- g
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ОПТИЧЕСКИХ ТОЛЩИН СД44 3
ВЕЩЕСТВ
Подписная группа № 1бЗ
Предмет изобретения
Известные способы контроля оптических толщин слоев веществ в процессе вакуумного осаждения не позволяют производить непрерывньш контроль спектральной характеристики осахкдаемых слоев B процессе их нанесения и требуют для своего осуществления серии эталонных фильтров.
В предлагаемом способе в отличие от известных модулированньш световой пучок направляют через испытуемый образец в монохроматор, а из него — на регистрирующий прибор, используя огибающую электрических импульсов на регистрирующем приборе. Огибающая в этом случае представляет спектральную характеристику пропускания слоя в области некоторой длины волны, для которой требуе1ся получить максимум пропускания многослойной системы.
Наблюдения нзменешш энергетического баланса светового пучка н его спектра ведут непосредственно в процессе вакуумного осаждения оптических слоев веществ.
Способ контроля оптических толщнн слоев веществ в процессе вакуумного осаждения, осуществляемого с помощью модулированного светового пучка, проходящего через образец, отличающийся тем, что, с целью непрерывного наблюдения спектральной харак теристики слоев в процессе их нанесения, в качестве характеристики оптического слоя используют огибающую электрических импульсов.