Патент ссср 160550

Патент ссср 160550

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

С011 ИЛЛИСТИЧ ЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ОЕ1ИСАHNE

И 3 О В Р ET Е Ы И. Н

K ABYQPCKGMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ № 160550

Класс

2l g, 2101

МПК

О 21

Заявлено 07.XI1.1962 (№ 806937/26-24) ГОСУДАРСТВЕННЫЙ

КОМИТЕТ НО ДЕЛАМ

ИЗОБРЕТЕНИИ ИОТКРЫТИИ

СССР

Опубликовано 31.1.1964. Бюллетень № 4

Подписная группа № 84

В. С. Кортов и В. С. Перетягии

ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ ИОННЫЙ ИСТОЧНИК

Известны высокочастотные ионные источники, в которых наряду с металлическим зондом-катодом присутствует экранирующий его со стороны разряда диэлектрический зонд, имеющий иногда форму слабо конической:. почти плоской диафрагмы.

Предлагаемый высокочастотный ионный источник отличается от существующих тем, что для создания условий, облегчающих вытягивание ионов из плазмы и получения больших ионных токов, а также для наилучшей фокусировки выходящего пучка, диэлектрический вытягивающий зонд выполнен в виде плоской диафрагмы, катод — в форме металлического кольца. Катод помещен вблизи поверхности зонда со стороны, обращенной к области высокочастотного разряда. Кроме того, установлен дополнительный электрод, имеющий форму кольца и находящийся под напряжением относительно катода.

На чертеже изображен в разрезе вытягивающий диэлектрический зонд с дополнительным электродом.

Из образованной в вытягивающем зонде I плазмы отсасываются ионы. При этом процессе рекомбинация ионов на помещенном внутри зонда катоде 2, выполненном в виде металлического кольца, сводится к минимуму, что приводит к увеличению иснного тока.

Поток отсасываемых ионов благодаря введению дополнительного электрода 8 над катодом 2 можно сфокусировать на отверстии 4 зонда. Кроме того, при достаточном напряжении между катодом 2 и дополнительным электродом 8 можно зажечь собственный тлеющий разряд. Этс приводит к тому, что электроны, образующиеся при тлеющем разряде, будут частично компенсировать объемньш заряд вокруг катода 2, облегчая отсос плазмы.

Испытания предложенной конструкции показали, что при разряде в гелии и давлении в баллоне порядка 10 — - л1л1 рт. ст. можно получить ионный ток до 4 миллиампер при вытягиваюшем потенциале 1200 в и разности потенциалов между электродами 2 и 8, равной

600 в.

Предмет изобретени я

Высокочастотный ионный источник с диэлектрическим зондом-диафрагмой, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью создания условий, облегчающих вытягивание ионов из плазмы и получения больших ионных токов, а также д,"".ÿ наилучшей фокусировки выходящего пучка, диэлектрический вытягивающпй зонд выполнен в виде плоской диафрагмы, катод выполнен в форме металлического кольца и помещен вблизи поверхности зонда со стороны, обращенной к области высокочастотного разряда, и установлен дополнительный электрод, имеющий форму кольца и находящийся под напряжением относительно катода. № 160550

Составитель Зайкин"

Редактор Кутафина Техрсд A. А. Камышникова Корректор М. И. Козлова

Поди к пои 6Д 1 — 64 и Формат бум. 60) 90it; Объем 0,26 изд. л.

Заказ 0306:16 Тирани 476 Цена " Knfi.

ЦНИИПИ Государствениnro комитета по делам изобретений н открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.

Типография, пр. Сапунова, 2.