Чувствительный элемент датчика давления

Чувствительный элемент датчика давления

Реферат

Чувствительный элемент датчика давления, содержащий прикрепленный к основанию упругий элемент, образующий с ним вакуумированную камеру, в которой размещен геттерный узел и гермовводы, закрепленные в основании, отличающийся тем, что, с целью обеспечения стабильности вакуума в условиях хранения и эксплуатации чувствительного элемента, в него введена капсула с химическим поглотителем воды, закрепленная в камере напротив геттерного узла, а геттерный узел выполнен в виде проволочной спирали из металлического хемосорбента, которая покрыта газонепроницаемым покрытием и закреплена на гермовводах.