Устройство для рекристаллизации кремниевых пластин

Устройство для рекристаллизации кремниевых пластин

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к электронной промышленности и обеспечивает равномерный нагрев пластины при сокращении количества блоков ламп. Устройство содержит охлаждаемый корпус. Внутри него размещена кварцевая камера с обрабатываемой подложкой. Сверху и снизу камеры установлены блоки с галогенными лампами. Верхний и нижний блоки снабжены электроприводами, обеспечивающими их вращение в противоположных направления. Равномерность распределения температуры по пластине составляет ±5°С. Количество ламп сокращено в 2 раза. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)л С 30 В 13/22

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР. » !

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4602398/23-26 (22)04.11.88 (46) 1 5.11.90, Бюл. N 42 (75) Ю.В.Кицюк и О.В.Матькова (53) 621.315.592 (088.8) (56) Установка А-6-100. Денси дзайре, 1985, М 3, с. 104-109. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН (57) Изобретение относится к электронной промышленности и обеспечивает равноИзобретениеотносится кпроизводствуизделий электронной промышленности и может быть использовано для объемного отжига изделий.

Цель изобретения — обеспечение равномерного нагрева пластин при сокращении количества блоков ламп.

На фиг. 1 представлено устройство, общий вид; на фиг. 2 — разрез А-А на фиг. 1.

Устройство содержит кварцевую камеру 1, которая размещена в водоохлаждаемом корпусе

2, механизм 3 загрузки и выгрузки кремниевых пластин 4 в кварцевую камеру 1 и нагреватели в виде двух блоков 5, установленных относительно камеры 1 сверху и снизу. Каждый блок 5 содержит галогенные лампы 6, расположенные квадратом в один ярус, и установлен на водоохлаждаемую платформу 7, которая предохраняЕт лампы 6 от перегрева. Кроме того, блоки

5 имеют индивидуальные электроприводы 8.

Платформы 7 блоков 5 кинематически связаны с электроприводами 8, которые состоят из редукторов и электродвигателей. К платформе 7 жестко прикреплен токопроводящий диск 9, Между диском 9 и платформой 7 установлен изолятор (не показан).

„„Я „„1606540 А1 мерный нагрев пластины при сокращении количества блоков ламп. Устройство содержит охлаждаемый корпус, Внутри него размещена кварцевая камера с обрабатываемой подложкой. Сверху и снизу камеры установлены блоки с галогенными лампами. Верхний и нижний блоки снабжены электроприводами, обеспечивающими их вращение в противоположных направлениях. Равномерность распределения температуры по пластине составляет 5 С.

Количество ламп сокращено в 2 раза. 2 ил.

°Устройство работаетследующим образом, В механизм 3 загрузки и выгрузки закладывают пластину 4 и вводят в камеру 1.

Температуру отжига пластины 4 доводят до температуры, установленной технологией, например 1100 С. В момент ввода пластины 4 в кварцевую камеру 1 начинают вращать навстречу друг к другу блоки 5 со скоростью, например, 10об/мин, выравниваятемпературу нагрева, что и обеспечивает равномерный нагрев пластины 4. Для того, чтобы не перегревались блоки 5 и кварцевая камера 1 и для поддержания в камере 1 нужной температу. ры, проводят постоянно водоохлаждение. Регулирование температуры в устройстве происходит бесступенчато. Диапазон температур в камере, например, от 400 до 1200 С.

Скорость повышения температуры в камере составляет, например 200 С/с. Равномерность распределения температуры по пластине составляет "-5 С.

Для предотвращения процесса окисле-ния в камеру подают инертный газ.

Устройство позволяет с меньшим количеством галогенных ламп (меньше в 2 раза) 1606540

Инераньа газ и меньшим потреблением мощности обеспечить равномерное распределение температуры нагрева на пластине.

Устройство возможно использовать не только для отжига, но и для получения мо- 5 нокремния и его легирования. За 1 ч обрабатывают до 200 пластин.

Формула изобретения

Устройство для рекристаллизации 10 кремниевых пластин, содержащее охлаждаемый корпус, размещенные в нем кварцевую камеру для пластины и нагреватели в виде блоков ламп, установленных параллельно пластине сверху и снизу кварцевой камеры, о т л и ч а ю щ е е с я. тем, что, с целью обеспечения равномерного нагрева пластины при сокращении количества блоков ламп, устройство снабжено электроприводами, соединенными с блоками ламп и обеспечивающими их вращение в противоположных направлениях, 1606540

Составитель Н. Давыдова

Редактор Н. Киштулинец Техред М.Моргентал Корректор И. Муска

Заказ 3529 Тираж 342 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35. Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101