Способ получения алмазоподобных пленок

Способ получения алмазоподобных пленок

Реферат

 

Изобретение относится к микроэлектронике, оптике, физике тонких пленок, может быть использовано, например, для получения защитных покрытий зеркал, обеспечивает получение однофазных, бездефектных пленок, стойких к лазерному излучению. Способ включает распыление мишени из графита импульсным ТЕА CO₂ - лазером с плотностью мощности излучения 110⁷-510⁸Вт/cм². Пары осаждают на подложку, расположенную от мишени на расстоянии не менее 10^-5 Торр. Получены прозрачные пленки светло-желтого цвета, толщиной . Пленки 5 мин выдерживали излучение Nd-лазера средней мощности 10⁴Вт Вт. 1 ил., 1 табл.

Изобретение относится к микроэлектронике, оптике, физике тонких пленок, в частности к способу получения алмазоподобных пленок, например, для защитных покрытий зеркал. Цель изобретения - получение однофазных и бездефектных пленок, стойких к лазерному излучению. На чертеже показана схема осуществления предлагаемого способа. В вакуумной камере 1 расположена мишень 2, на которую фокусируется луч лазера 3 с помощью линзы 4. Подложка 5 расположена по центру факела 6. Способ получения алмазоподобных пленок реализован распылением графита с помощью импульсного ТЕА СО₂-лазера, позволяющего получать плотность мощности на мишени в импульсе лазерного излучения 110⁷-510⁸Вт/см² и энергию в импульсе 1-1,3 Дж в вакуумной камере с рабочим давлением не менее 10^-5 торр. Перед началом напыления в камеру помещают мишень 2 из графита и подложку 5, причем мишень располагают под углом 45^о к оси лазерного луча, а подложку - параллельно мишени на расстоянии от нее. Результаты сведены в таблицу. Пленки в примерах 1-4 (см.таблицу) получаются рыхлые, черного цвета с дырками после напыления на подложки из плавленого кварца, на полированную поверхность KCl и на скол KCl. Пленки в примерах 5-8 (см.таблицу) получаются прозрачные светло-желтого цвета без микро- и макровключений, но с дефектной областью в виде серпа. Пленки, согласно примерам 9-12 таблицы, являются бездефектными, без включений, о чем свидетельствуют фотографии микроструктуры. Эти пленки имеют аморфную однородную структуру, что подтверждено рентгеновским фазовым анализом. Пленки толщиной 1000 были испытаны на лучестойкость лазерного излучения. Испытания проводили для длины волны 1,06 мкм на импульсном Nd-лазере с длительностью импульса 10 нс и средней мощностью 10⁴ Вт. Пленки выдерживали 5 мин импульсное периодическое лазерное излучение со средней плотностью мощности 10⁷Вт/см². Это выше на порядок-полтора для пленок металлов такой же толщины. Полученные результаты испытания пленок на лучестойкость дают основание для их использования в элементах лазерной оптики.

Формула изобретения

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК путем распыления мишени из графита импульсным лазером и осаждения паров на подложку, отличающийся тем, что, с целью получения однофазных и бездефектных пленок, стойких к лазерному излучению, распыление ведут с помощью ТЕА СО₂-лазера с плотностью мощности излучения 1 10⁷ - 5 10⁸ Вт/см² при расстоянии от мишени до подложки не менее 7 см и вакууме в камере не менее 10^-5 торр.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2

MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе

Номер и год публикации бюллетеня: 2-2002

Извещение опубликовано: 20.01.2002