Способ извлечения изделия из вакуумного объема

Способ извлечения изделия из вакуумного объема

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к области вакуумного машиностроения и может быть использовано в вакуумных установках для нанесения пленочных материалов и для проведения исследований материалов в сверхвысоком вакууме. Цель изобретения - упрощение за счет повышения стабильности степени разрежения в вакуумном объеме. Способ включает перенос изделия из вакуумного объема в герметично перекрытую с одного конца металлическую трубу и извлечения изделия путем холодной отпайки участка трубы, в который перенесено изделие. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51) 5 Н 01 J 37/20

1

1:й 1

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И OTHPblTHRM

ПРИ ГКНТ СССР

1 (21) 4036223/25-63 (22) 13,03,86 (46) 07.12.90. Бюл, Р 45 (71) Институт прикладной физики

АН СССР (72) В;Н.Глаэман и Л.В.Николаев (53) 543.51 (088.8) (56) Грошковский Я. Техника высокого вакуума. M.: Мир, 1975, с. 522-523.

Феерман В.И. Вакуумный шлюз для масспектрометрического анализа поверхностных загрязнений. — ПТЭ, 1982, .N - 2, с. 188-189.

Изобретение относится к вакуумному машиностроению и может быть использовано в вакуумных установках для нанесения пленочных покрытий и для проведения исследований материалов в сверхвысоком вакууме, например для оже-. электронной .спектроскопии.

Цель изобретения — упрощение за счет повышения стабильности степени разрежения в вакуумном объеме .

На чертеже представлена схема устройства, поясняющая реализацию способа.

Устройство содержит рабочий вакуумный объем 1, на стенке которого .под углом к ней герметично укреплен . закрытый желоб 2 с фланцем 3. На же лобе 2 с помощью фланца 4 и вакуумных уплотнений 5 укреплена металлическая. труба 6 ° Длина трубы 6 определяется

„„SU„„1612341 А 1

2 (54) СПОСОБ ИЗВЛЕЧЕНИЯ ИЗДЕЛИЯ ИЗ

ВАКУУМНОГО ОБЪЕМА (57) Изобретение относится к области вакуумного машиностроения и может быть использовано в вакуумных установках для нанесения пленочных материалов и для проведения исследований материалов в сверхвысоком вакууме.

Цель изобретения — упрощение за счет повышения стабильности степени разрежения в вакуумном объеме. Способ включает перенос изделия из вакуумного объема в герметично перекрытую с одного конца металлическую трубу и извлечение изделия путем холодной отпайки участка трубы, в который перенесено иэделие. 1 ил. количеством извлекаемых изделий. Трубу 6 целесообразно выполнить из вакуумного материала, например из бескислородной меди, Для повышения надежности герметизации целесообразно внутреннюю поверхность трубы 6 залудить оловом или индием. Для обеспечения механической прочности места отпайки целесообразно использовать трубы диа- р метром 8 — 45 мм с толщиной стенки 0,51,5 мм, что определяется используемым для отпаики оборудованием (ручные клещи, специальные тиски). В объеме 1 установлен манипулятор 7. для перемещения. изделия. L и

Конкретную реализацию способ можно показать на примере извлечения из объема 1 пластин 8 размером 30х30х х6 мм. Пластина 8 с помощью манипулятора 7.подается на наклонный желоб 2, 1612341

Составитель А.Даревский

Редактор В.Данко Техред N.яндык Корректор М. 1Иар оши

Ваказ 3833 Тираж 403 Подписное }Я11ПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР.

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5 1роизводствснно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина,101 с которого она соскальзывает в металлическую трубу 6. Герметичное перекрытие трубы 6 осуществляется с. помощью специальных кусачек путем сжатня трубы. Затем проводят разгерметизацию отделенного участка и извлекают пластину 8. С помощью манипулятрра 7 на желоб 2 и в трубу 6 подают сведующую пластину 8, и операцию изв- 10 лечения повторяют.

Формула и з о б р е т е н и я

Способ извлечения изделия из вакуумного объема, включающий перенос из- делия иэ вакуумного обьема в камеру, соединенную с вакуумным объемом, и отделение изделия от вакуумного объема, отличающийся тем, что, с целью упрощения путем повьппения стабильности степени разрежения в вакуумном объеме, в качестве камеры используют герметично перекрытую с одного конца металлическую трубу, а отделение изделия осуществляют путем холодной отпайки участка трубы, в который перенесено изделие.