Патент ссср 161436
Иллюстрации
Реферат
CO@3 СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АЗВТ ООРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
К 161436
Класс
2lg, 21от
МПК
G 21
Заявлено 01.Х11,1962 (X 805535/26-24) ГОСУДАРСТВЕННЫИ
КОМИТЕТ ПО ДЕЛАМ
ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ
СССР
УДК
Опубликовано 19Л1!1.1964. Бюллетень М 7
Подписная груа га № 84
И. Ф. Калинкевич, В. В. Афросимов и И. Т. Серенков
СПОСОБ СТАБИЛИЗАЦИИ ИОННОГО ПУЧКА
Известен способ стабилизации ионного пучка с использованием магнитного анализатора и коррекции ускоряю1цего напряжения.
Предлагаемый способ отличается тем, что ускоряющее напряжение модулируют пилообразным напряжением малой амплитуды и корректируют по минимуму постоянной составляющей разнополярных импульсов, получающихся после дифференцирования ионного тока, вошедшего в измерительную камеру.
Это повышает быстродействие, устраняет дрейф нуля стабилизирующего устройства и позволяет осуществить непосредственный контроль за пучком, вошедшим в измерительную камеру.
На чертеже представлена блок-схема установки, с помощью которой реализуется предложенный способ.
Ионный пучок, образованный в источнике 1, ускоряется напряжением высоковольтного источника 2, генератора 8 пилообразного напряжения, стабилизирующего устройства 4 и направляется в магнитный анализатор 5. Из магнитного анализатора через входную щель
5 ионный пучок попадает в измерительную камеру 7. Коллектор 8 регистрирует ионный пучок. В цепь коллектора наряду с прибором, измеряющим интенсивность ионного пучка, включена дифференцирующая цепь 9.
При изменении ускоряющего напряжения в цепи коллектора появится переменная составляющая с частотой модулирующего пилообразного напряжения и амплитудой, определяемой крутизной кривой зависимости ионного тока от ускоряющего напряжения. Выделяющийся на выходе дифференцирующей цепочки сигнал фиксирует изменение ускоряющего напряжения. Уменьшение ускоряющего напряжения соответствуют положительные импульсы, а увеличению — отрицательные. Оптимальному ускоряющему напряжению соответствуют импульсы обеих полярностей с минимальной амплитудой.
Эти импульсы с выхода дифференцирующей цепи подают на усилитель 10, а затем на балансный детектор 11, выделяющий постоянную составляющую импульсов. Напряжение с выхода детектора 11 проходит на стабилизирующее устройство 4, которое компенсирует изменение напряжения высоковольтного источника 2.
Предмет изобретения
Способ стабилизации ионного пучка с использованием магнитного анализатора и коррекции ускоряющего напряжения, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью непосредственного контроля за пучком, вошедшим в измерительную камеру, повышения быстродействия и устранения дрейфа нуля стабилизирующего устройства, ускоряющее напряжение модулируют пилообразным напряжением малой амплитуды и корректируют по минимуму постоянной составляющей разнополярных импульсов, получающихся после дифференцирования ионного тока, вошедшего в измерительную камеру, ¹ 161436
Состав.пель М. Грибова
1 сдактор Л. Герасимова Текред Т. П. Курилко Корректор Г. И. Чугунова
?1одп. к псч. 29)Ъ вЂ” 64 г. Формат бум. 60 Х 90 i8 Объем 0,23 изд. гп
Заказ 1164 11 Тираж 550 Цена 5 коп.
14Н14ИПИ 1осудпрстзс аго комитета по дслагн изобретений и открыт! и СССР
Хоскna, Центр, пр. Ссрова, д. 4
Типограф :и, пр. Сапунова, 2