Парогазовая смесь для нанесения кадмиевых покрытий
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Изобретение относится к нанесению металлических, в частности кадмиевых, покрытий термическим разложением паров металлоорганических соединений. Цель изобретения - повышение скорости осаждения кадмия. Для этого в состав парогазовой смеси, содержащей диэтилкадмий, дополнительно введен диметилкадмий при следующем их соотношении, мас.%: диэтилкадмий 5-10, диметилкадмий 90-95. Процесс осуществляют при откачивании реактора до давления 1 Па и температура покрываемых стальных деталей 200-220°С. Введение в состав смеси диметилкадмия обеспечивает повышение скорости осаждения кадмия с 0,30-0,35 до 3,0-3,3 мкм/мин при высоком качестве получаемых покрытий, которые имеют мелкокристаллическую структуру, плотные и прочно сцеплены с основой (адгезия 90-96 кгс/см<SP POS="POST">2</SP>). 1 табл.
„„SU„„.1615229 A 1
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (51) 5 С 23 С 16/18
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
Il0 ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
3 аЬ Ьд ВЬЛ
1 "C
H А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ
2 евых, покрытий термическим разложением паров металлоорганических соединений.
Цель изобретения — повышение скорости осаждения кадмия. Дл.". этого в состав парогазовой смеси, содержащей диэтилкадмий, дополнительно введен диметил-; кадмий при следующем их соотношении, мас.%: диэтилкадмий 5-10, диметилкадмии 90-95. Процесс осуществляют при откачивании реактора до давления 1 Па и температуре покрываемых стальных де талей 200-220 0. Введение в состав смеси диметилкадмия обеспечивает повышение скорости осаждения кадмия с
0,30-0„35 до 3,0-3,3 мкм/мин при высоком качестве получаемых покрытий ко- Ф
У у торые имеют мелкокристаллическую структуру, плотные и прочно сцеплены с основой (адгезия 90-.96 кгс/см
1 табл.
1 (21) 46114 11/31-02 1 (22) 01. 12. 88 (46) 23. 12. 90. Вюл. N 47 (71) Научно-исследовательский институт химии при Горьковском государственном университете им. Н.И. Лобачевского (72) В.И. Фаерман, Л.М. Дягилева, К,И. Цыганова, В,С. Абрамов и N.À. александров (53) 621 ° ?93. !6: 669. 738 (088. 8) (56) Сыркин В,!". Газофазная металлиэация через карбонилы, - М.: Металлургия, 1985, с. 25-26.
Авторское свидетельство СССР
М 1379338, кл. С 23 С 16/18, 1986. (54) 1!АРОГАЗОВАЯ СМЕСЬ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ
КАДМИЕВЫМ ПОКРЫП1Й (57) Изобретение относится к нанесению металлических, в частности кадмиго реактора. Жидкий диметилкадмий (Д 1 (Ц1К) и диэтилкадмий (ДЭК) загружают ь в разные испарители. Реактор откачивают от давления 1 Па, нагревают щелевую ) часть реактора с кадмируемой деталью © до 200-220 С, устанавливают требуемую Я ) температуру испарителей. 11роцесс ведут в течение 30 мин. Температуру испарителя, содержащего ДЧК, устанавливают в диапазоне 20-40 С, а температуру испарителя с ДЭК вЂ” в диапазоне 25-50 С о, (на 5-10 С выше, чем испарителя с
ДМК). При этом содержание компонентов в парогазовои смеси (ПГС) составляет мас ° %, ДЭК 5-10; Д1К 90-95, Нижнюи границу температурного интервала
Изобретение относится к нанесению металлических, в частности кадмиевых, покрытий термическим разложением паров металлоорганических соединений и может быть использовано в автомобильнои и авиационной промышленности,а также в машиностроении при создании конструкции на основе высокопрочных сталей с коррозионно-стойкими и защит- ными покрытиями.
Целью изобретения является повышение скорости осаждения кадмия.
Изобретение осуществляют следующим образом.
Покрываемую кадмием стальную деталь помещают в щелевидную часть проточноОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ . 1615229
1 ренин» процесса
Is равульт&тн сравнительного в ° > 1 ч Яч >
Покааатели для опыта известного предпагаемого
1 3, (> (6 ) 7
40 50 40
40 30 30
30
10 3 30 10
90 97 70 90
100
1ОО 1 ОО
320 220 200 240 220 220 180
200
220
0>02
О > 45 0,20 0>80 0>05
0,05
0,6
2,6
2,8 2,7
О,1
0,3 0,1
3,!
17,5 12,5 !7,5
6>0
6,0
25 О
7>5 6>0
6,0
62 50 78 .
Крулнокрнстеллнческое, плотное
Иелкок рнстал» лическое плотное
37 5
Крупнокрнсталлическое
91
Плотное. мелкокрнсталлнческое
Темное неравномерное
Отсутствует
Составитель А. Рычагов
Техред М.Дидык Корректор Т. Малец
Редактор Н, Гунько
3аказ 3964 Тираж 816 Подписное
ВНИКНИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
II II
Производственно-издательский комбинат Патент, r. Ужгород, ул. Гагарина, 101.! определяют сложность термостатирования испарителей при температуре ниже комнатной и малая скорость испарения . МОС а верхнюю - протекание термо5 .распада ДЭК в жидкой фазе с заметной скоростью при температуре выше 50ОС., Оптимальную величину разности темпе; ратуры испарителей ж 10 С подбирают, экспериментально с учетом зависимости 1ð !
; упругости пара. :ДМК и ДЗК от темпера-! ! туры..
В таблице представлены условия кад-! мирования и полученные результаты. !
Таким образом, предлагаемая ПГС в ! оптимальных условиях обеспечивает по
,сравнени10 с известной практически на порядок более высокую скорость осаж-. ! дения кадмия (от. 0,30-0,35 до 3 0— 3,3 мкм/мин) при необходимом качестве 7р
1 >
Температура не>вар»тела> С:
723К 40 40 50 30 45
20!К 30 30, 40 20 40
Содерка>в>е компонентов в ПГС, иас Л!
ДЭК 10 10 10 10 5
ДКК 90 $0 90 90 95
Температура подлонкн, аС 200 220 220 220. 220
Степенв нсполв"
° ованна ffHK 0,10 Oj70 0,50 0,70 0,45
Скороств осакделнв искрит»к, мкн/инн 0,2 1,2 3,3 0,4 3Ä0
Средний равмер корав в покрытии, ики 6,0 6,0 6>0 адгевнв покрытие
i основе, кгс/см . 90 93 91 96 92
Вяенин!! вил по- Плотное, нелкокристаллнческое, крнтив равномерное покрытий. Иредлагаемня .П1 С позволяет также повысйть технологичность процес« са нанесения кадмиевых покрытий. Используемый преимущественно в составе
ДМК устойчив при хранении в отличие от нестабильного ДЭК.
Формула изобретения
Парогазовая смесь для нанесения кадмиевых покрытий термическим разложением паров металлоорганических соединений, содержащая диэтилкадмий, о тл и ч а ю щ а я с я тем, что, с .целью повышения скорости осаждения кадмия, она дополнительно содержит диметилкадмий при следующем соотношении компонентов, мас.Х:
Диэтилкадмий 5-10
Диметилкадмии 90"95