Патент ссср 161606

Патент ссср 161606

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Соез Советских, Социллистических

ГЕСПЛЛИК

ОПИСАНИЕ. ИЗОЫ ЕТЕНИЯ

Класс

48Ь, 14 сф

jj )1 ъ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

МПК

С 23с № 161606

Заявлено 28.11.1963 (¹ 822407(26-10) ГОСУДАРСТВЕННЫИ

КОМИТЕТ ПО ДЕЛАМ

ИЗОБРЕТЕНИИ И ОТКРЫТИЙ

СССР

УДК

Опубликовано 19.111.1964. Бюллетень № 7

Подписная гру1111а № 110

Заявитель

Научно-исследовательский институт электрографии

Государственного комитета по радиоэлектронике СССР

Автор изобретения

А. С. Таурайтис

ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ СЕЛЕНОВОГО

СЛОЯ НА НЕПОДВИ)КНЫЕ ЦИЛИНДРЬ!

Предмет изобретения

Известны вакуумные установки для нанесения селенового слоя на цилиндры.

B предлагаемой вакуумной установке для повышения производительности испарители имеют кольцеобразную форму и соединены с механизмом, перемещающим их вдоль оси цилиндров.

На чертеже представлена схема одной из вакуумных камер предлагаемой вакуумной установки.

Камера содержит полый цилиндр 1, закрытый двумя фланцами 2 и 8, которые через вакуумные уплотнения сжимают напыляемый цилиндр 4. Внутренняя полость цилиндра 4, на который необходимо нанести селеновый слой, заполнена жидкостью, циркулирующей через цилиндр и термостат для поддер>кания постоянной температуры цилиндра. Через вакуум-провод 6, являющийся общим для всей вакуумной установки, в пространстве между цил11ндрамп 1 ii 4 создастс11 вакуум.

Напыле:ше селенового слоя производят кольцеобразны;1 испарптслсм 6, имеющим возможность возвратно-поступательного движения вдоль оси цилиндра. Возвратно-поступательное движение испаритсля 6 может быть осуществлено, например, с помощью электромагнитного или другого привода.

Вакуумная установка для liaiieceiii;51 селенового слоя на неподвп>кные цилиндры, термостатируемые жидкостью, о т I и ч а ю щ а яс я тем, что, с целью повышения производительности, испарители 11меют кольцеобразную форму и соединены с механизмом, перемещающим их вдоль оси цилиндров.

М 161606

Составитель В. И. Сафонова

Редактор Н. С. Кутафина Тсхред А. А. Камышникова Корректор О. Б. Тюрина

Поди. к печ. 8/IV — 64 г. <1>ормат бум. 60Х90 /в Объем 0,23 нзд. л.

Заказ 717/15 Тираж 1025 Цена 5 кон

LlIlIIHHH Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.

Типографии, пр. Сапунова, 2.