Патент ссср 163291

Патент ссср 163291

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Подписная аруппа М 82

l

Н. Ф. Ковтонюк, Д. T. Кокорев, А. А. Мейер и Г. И. СулеймаН, -. (УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДЛИНЫ ДИФФУЗИОННС1ГО

СМЕЩЕНИЯ НЕРАВНОВЕСНЫХ НОСИТЕЛЕЙ ТОКА

В ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ЗАГОТОВКАХ

Известно устройство для измерения длины диффузионного смещения неравновесных носителей тока в полупроводниковых заготовках. Устройство содержит два источника света, перед которыми установлен вращающийся диск с отверстиями, служащий для модуляции световых потоков. За диском против источников света размещены фотосопротивление и исследуемая заготовка.

Предлагаемое устройство отличается от известных тем, что возле заготовки установлены отражатель и подвижной экран. Отражатель формирует на поверхности заготовки световое пятно, в центре которого установлен зонд. Подвижной экран служит для получения резко разграниченных освещенного и неосвещенного участков на поверхности заготовки. В качестве измерительной схемы использован электронный потенциометр, пишущий рычаг которого соединен с подвижным экраном, а вход через контактную систему реле, подключенного к фотосопротивлению, соединен с зондом и омическим контактом полупроводниковой заготовки. Эти отличительные особенности позволяют автоматизировать процесс измерения.

Заготовка может быть установлена на подвижной платформе, соединенной редуктором с двигателем. В результате длина диффузионного смещения неравновесных носителей тока вдоль полупроводниковой заготовки измеряется автоматически.

На чертеже схематически изображено предлагаемое устройство.

На поверхности полупроводниковой заготовки 1 устанавливается металлический зонд

2. Поверхность заготовки освещается от источника 8 света Часть светового потока перекрывается передвижным непрозрачным экраном 4 так, что на поверхности заготовки создается резкая граница между освещенным и неосвещенным участками. Другая часть светового потока направляется отражателем 5 на заготовку, освещая ее поверхность вокруг зонда. Радиус светового пятна значительно больше длины диффузии. Яркость второго светового потока составляет 63 "/0 от яркости первого потока. Оба световых потока модулируются вращающимся диском б с вырезами так, что когда действует один, другой отсутствует, и наоборот. Световые потоки, освещая зонд, создают два фотоэлектрических импульса, которые во времени следуют друг за другом. Эти импульсы подаются на вход реле постоянного тока 7. Реле срабатывает с помощью источника питания 8 и фотосопротивления 9 с частотой модуляции света. Фотосопротивление крепится относительно заготовки так, что если она освещается первым световым потоком, то и фотосопротивление освещается этим же световым потоком. Поэтому фотоэлектрический импульс от первого светового потока проходит через первую пару контактов реле, а импульсы от второго свеМ i6329i

Составитель В. Корзун

Техред Т. П. Курилко

Редактор П. Т. Карпас

Корректор Маркова

Подп. к печ. 23/VII — 64 г. Формат бум. 60 X 901/а Объем 0,21 изд. л.

Заказ 1667/12 Тираж 1050 Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4.

Типография, пр. Сапунова, 2. тового потока — через другую пару контактов. Таким образом удается разделить эти импульсы и затем направить их друг другу навстречу.

Импульсы от обоих световых потоков будут равны друг другу только тогда, когда экран будет находиться от металлического зонда на расстоянии, равном длине диффузионного смещения неравновесных носителей.

Разностные сигналы обоих импульсов усиливаются в усилителе 10 и подаются на электронный потенциометр 11, пишущий рычаг которого соединен с подвижным экраном. В случае неравенства импульсов рычаг перемещает экран относительно зонда так, чтобы экран находился от зонда на расстоянии длиHbI ди ф фуз и и.

Вход потенциометра 11 через контактную систему реле 7 соединен с зондом 2 и омическим контактом 12 заготовки. При перемещении исследуемой заготовки относительно неподвижного зонда при помощи электродвигателя с редуктором (на чертеже не показаны) на движущейся бумажной ленте потенциометра 11 будет записана кривая изменения длины диффузионного смещения вдоль исследуемой полупроводниковой заготовки.

Предмет изобретения

1, Устройство для измерения длины диффузионного смещения неравновесных носителей тока в полупроводниковых заготовках, содер= жащее два источника света, перед одним из которых размещено фотосопротивление, а перед другим — исследуемая заготовка, соединенный с двигателем диск с отверстиями, расположенный между источниками света и освещаемыми этими источниками фотосопротивлением и заготовкой, и измерительную схему, отличающееся тем, что, с целью автоматизации процесса измерения, возле заготовки установлены отражатель, формирующий на ее поверхности световое пятно, в центре которого установлен зонд, и подвижной экран, служащий для получения резко разграниченных освещенного и неосвещенного участков на поверхности заготовки, а в качестве измерительной схемы использован электронный потенциометр, пишущий рычаг которого соединен с подвижным экраном, а вход через контактную систему реле, подключенного к фотосопротивлению, соединен с зондом и омическим контактом полупроводниковой заготовки.

2. Устройство по п. 1, о тл и ч а ю щ ее с я тем, что, с целью автоматического измерения изменения длины диффузионного смещения неравновесных носителей тока вдоль полупроводниковой заготовки, она установлена на подвижной платформе, соединенной редуктором с двигателем.