Способ испытания диэлектрических пленок

Способ испытания диэлектрических пленок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к определению свойств диэлектрических пленок, и является усовершенствованием способа по авт. св. № 1270638. Цель изобретения - повышение точности путем создания под поверхностью индентора однородного напряженного состояния . На поверхность пленки, помещенную на электропроводную подложку, в область контакта с индентором, выполненным с поверхностью, вогнутой и близкой к эквидистантной относительно поверхности пленки, наносят слой жидкости с величиной диэлектрической проницаемости, выбираемой в диапазоне заданной диэлектрической проницаемости пленки Определяют силу вдавливания и по соотношению электрической емкости воздушного зазора и емкости между индентором и подложкой с пленкой - глубину внедрения индентора. С учетом этих величин определяют твердость, диэлектрическую проницаемость и другие свойства пленки СП

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)ю G О1 N 3/42

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Формула изобретения (61) 1270638 (21) 4463113/28 (22) 19.07.88 (46) 15.03.91. Бюл. N 10 (72) В.И.Анисимов и В.В.Колокольчиков (53) 620.178.152 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

N. 1270638, кл, G 01 N 3/42, 1986, (54) СПОСОБ ИСПЫТАНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК (57) Изобретение относится к измерительной технике, а именно к определению свойств диэлектрических пленок, и является усовершенствованием способа по авт, св.

N. 1270638. Цель изобретения — повышение точности путем создания под поверхностью

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к определению свойств диэлектрических пленок, и является усовершенствованием известного способа по основному авт, св, N 1270638.

Цель изобретения — повышение точности путем создания под поверхностью индентора однородного напряженного состояния.

Способ реализуется следующим образом.

Пленку помещают на электропроводную подложку, на ее поверхность в области контакта с индентором наносят слой жидкости с величиной диэлектрической проницаемости, выбираемой в диапазоне заданной диэлектрической проницаемости пленки, нагружают индентор с поверхностью, вогнутой и близкой к эквидистантной относитель„.,5Q ÄÄ 1635064 А2 индентора однородного напряженного состояния. На поверхность пленки, помещенную на электропроводную подложку, в область контакта с индентором, выполненным с поверхностью, вогнутой и близкой к эквидистантной относительно поверхности пленки, наносят слой жидкости с величиной диэлектрической проницаемости, выбираемой в диапазоне заданной диэлектрической проницаемости пленки. Определяют силу вдавливания и по соотношению электрической емкости воздушного зазора и емкости между индентором и подложкой с пленкой— глубину внедрения индентора. С учетом этих величин определяют твердость, диэлектрическую проницаемость и другие свойства пленки. но поверхности пленки. вдавливают его в пленку, определяют силу вдавливания, в процессе которого измеряют электрические емкости между индентором и подложкой с пленкой и воздушного зазора, зависящего от перемещения индентора, производят сравнения их, определяют глубину внедрения индентора и с ее учетом определяют твердость, диэлектрическую проницаемость, пористость, пластические, прочностные и вязкоупругие свойства пленки.

Способ испытания диэлектрических пленок по авт. св. ¹ 1270638, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения точности, на поверхность пленки в область контакта с индентором наносят слой жидкости с величиной диэлектрической проница1635064

Составитель И.Ходатаева

Редактор М.Петрова Гехред М.Моргентал Корректор С.Шекмар

Заказ 751 Тираж 391 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035. Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 емости, выбираемой в диапазоне заданной диэлектрической проницаемости пленки, и внедряют индентор, имеющий поверхность, эквидистантную поверхности пленки.