Регулятор давления газа

Регулятор давления газа

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (И) А1 (1) 0 05 D 16/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Р (Б) = f

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4395656/24 (22) 22. 02. 88 (46) 15.03.91. Вюл. Р 10 (72) В.Н. Михайлин, В.Н. Кеменов, И.А. Тимошин, В.А. Лавыгин и B.Â. Симонов (53) 621.646.4(088.8) (56) Плотников В.М. и др. Регуляторы давления газа. Л.: Недра, 1982, с. 52, рис. 21. (54)(57) РЕГУЛ ЪОРДАВЛЕИИЯ ГАЗА, содержащий корпус,между входной и выходной полостями которого установлен регулирующий орган, затвор которого расположен со стороны входной полости и жестко связан со штоком, в выходной полости установлен чувствительный элемент с жестким центром, связанный с узлом задания, причем между днищем выходной полости и чувствительным элементом соосно регулирующему органу установлена цилиндрическая пружина

Изобретение относится к автоматике, в частности к регуляторам давления, и может быть использовано в системах газонапуска для регулирования давления технологических сред при производстве изделий электронной техники.

Цель изобретения — расширение области применения регулятора за счет расширения диапазона регулирования.

Иа чертеже представлен регулятор давления. сжатия в нагруженном состоянии, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью расширения области применения регулятора за счет расширения диапазона регулирования, в нем узел задания выполнен в виде регулируемой пружины, затвор подпружинен к седлу, шток установлен с зазором а относительно жесткого центра, а жесткость цилиндрической пружины сжатия выбирается из соотношения где Р (2) - усилие на цилиндрической пружине сжатия при сжатии ее на величину зазора 3, Е кг;

f — площадь чувствительного й. элемента, см

Р - атмосферное давление, кг/см .

Регулятор содержит корпус 1 с входной 2 и выходной 3 полостями, регули" рующий орган, затвор 4 которого расположен со стороны входной полости и жестко связан со штоком 5, чувствительный элемент 6 с жестким центром

7, цилиндрическую пружину 8 сжатия, регулируемую пружину 9, пружину 10, днище выходной полости 11. Между жестким центром 7 и штоком 5 имеется зазор g ..

1635166 где Р (8) — усипие на цилиндрической пружине сжатия при сжтии ее на величину эазра g,,кг:

f - площадь чувствительного

Техред Л.ОЛийнык

3»

Корректор С. Черни

Редактор А.Долннич

Заказ 756 Тираж 469 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r.Óæãoðîä, ул. Гагарина,16

Регулятор работает следующим образом.

В статическом положении (вакуумная откачка отсутствует) затвор 4, поджа, тый пружиной 10, закрыт, чувствительный элемент 6 имеет выпуклость в сторону атмосферы (наружу), обусловленную действием цилиндрической пружины

8 сжатия. При вакуумной откачке на чувствительный элемент 6 начинает действовать давление атмосферы, в результате чего ои начинает прогибаться внутрь выходной полости 3 в пределах, зазора между штоком 5 и жестким центром 7. В этом состоянии затвор

4 закрыт (что обеспечивается пружиной 10), а атмосферное давление на чувствительный элемент 6 полностью компенсируется пружиной 8 сжатия.

Жесткость цилиндрической пружины 8 сжатия выбирается иэ соотношения элемента, си ;

Р „— атмосферное давление, дгМ кг/см

При поджатии регулируемой пружины

9 для открытия регулятора при напуске газа в вакуумную технологическую камеру шток 5, непосредственно воздействуя (заэор отсутствует) на затвор

4 (при этом пружина 10 сжимается), открывает его на заданную величину, обеспечивая необходимый расход газа.

В этом положении чувствительный элемент имеет некоторый прогиб внутрь полости 3. Возможные колебанйя давления в полости 3 компенсируются колебаниями чувствительного элемента 6 и регулируемой пружины 9. При этом чувствительный элемент 6 через шток

5 автоматически управляет затвором 4, изменяя расход газа в сторону увеличения или уменьшения. Жесткости пружин 10 и 8 для работы регулятора в области давлений ниже атмосферного

35 рассчитываются аналитически.

Регулятор давления позволяет осуществлять устойчивый напуск газа и автоматическое поддержание давления в вакуумной технологической камере, расширяя область его применения.