Патент ссср 164920

Патент ссср 164920

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

окэя советскиA

Со@иапистическим

Республик

Кл, 27с1, Зо

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 21.ХП.1962 (№ 809519/24-6) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Оптб IHKOBBHO 04.IX.1964. Бюллетень ¹ 17 1ПК F O4g

Государственный комитет по делам иэобретений и открытий СССР ата оп оликования описан if5l 9.Х1.1964

СГГ310,=., „

Авторы изобретения

Е. H. Мартинсон и Б. И. Плечев

Заявитель

СПОСОБ ОТКАЧКИ ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ

Подписная группа Л6 130

Известны спосооы откачки вакуумных систем при помощи сорбционных насосов. Однако при такой откачке сорбционнымн насосами удаляются преимущественно хорошо сорбирующиеся газы, а плохо сорбнрующlic ñя, например гелий, неон, постепенно накапливpþòñÿ в вакуумной системе.

Предлагаемый способ откачки вакуумных систем отличается от известных тем, что систему периодически промывают газообразным азотом.

Такое осуществление способа позволяет предотвратить накапливание инертных газов в вакуумных системах при отсутствии в них углеводородов и повысить предельный вакуум в откачиваемом объеме.

На чертеже схематически изображена установка для осуществления предложенного способа.

Из сосуда 1. в котором нужно создать вакуум, газы сначала îTêcl÷èвают водоструйным илн пароэжекторным насосом 2, а затем заполняют его сухим газоооразным азотом из баллона 3, который снова отка пвают насосом 2. Затем подключают цеолптовый насос 4 н откачивают дополнительно с одновременным температурным обезгаживаннем системы, после чего вновь промывают азотом и откачивают сначала водоструйным насосом, затем

10 сорбцнонным и сорбцнонно-нонным llëè другим насосами, не содержащими углсводородов.

Предмет изобретения

15 Способ откачки вакуумных систем прн помощи сорбцнонных насосов, отл ич а ю LU, и йс я тем, iTO, с целью удаления инертных газов и повышения предельного вакуума, системУ периодически промывают газообразным азо20 том.

Редактор П. Шлаин

Составитель T. Рабчук

Текрсд T. П. Курилко

Корректор И. А. Шпынева

Заказ 2824 9 Тираж 1250 Формат бум. 60X90>/, Обьем 0,13 нзд. л. Цена 5 коп.

ЦНИИ11И Государстве ного комитета по делам изобретении и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2