Высокотемпературная эффузионная печь
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Изобретение относится к массоспектрометрическим исследованиям высокотемпературных процессов с молекулярными пучками и может быть использовано в устройствах для получения эффузионных молекулярных пучков. Целью изобретения является повышение чистоты молекулярного пучка за счет устранения фоновых частик при повышении эффективности нагрева Устройство содержит нижнюю камеру 1 нагрева , верхнюю каме ру 2 нагрева, соединенные паропроводом 3, катоды 4 и 5 для нагрева камер электронной бомбардировкой , укрепленные на держателях 6, цилиндрический экран 7 и пробку 8. закрывающую отверстие для загрузки испаряемого материала. Изобретение позволяет практически устранить фоновый сигнал при повышении экономичности печи. J ил„ I (Л
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
РЕСПУБЛИН (i9) SU(ID 1 1 (51)5 H 05 Н 3/02// Н 01 J 43/02
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР (21) 4167973/63 (22) 26.l 2. 86 (46) 23,05.91. Бюл. Р 19 (71) Институт химической физики
АН СССР (72) В.M.Àêèìîâ, Л.10.Русин и Ф.А,Цыганов (53) 621.384(088.8) (56) Семенов Г.А. и др. Применение спектрометрии в неорганической химии. Л., 1976, с.52-53. (54) ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ЭФФУЗИОННАЯ
ПЕЧЬ (57) Изобретение относится к массоспектрометрическим исследованиям высокотемпературных процессов с молекулярными пучками и может быть ис2 пользовано в устройствах для получения эффузионных молекулярных пучков.
Целью изобретения является повьппение чистоты молекулярного пучка за счет устранения фоновых частик при повышении эффективности нагрева. Устройство содержит нижнюю камеру 1 нагрева, верхнюю камеру 2 нагрева, соединенные паропроводом 3, катоды 4 и
5 для нагрева камер электронной бомбардировкой, укрепленные на держателях 6, цилиндрический экран 7 и пробку 8, закрывающую отверстие для загрузки нспаряемого материала. Изобретение позволяет практически устра- „ нить фоновый сигнал при повьппении экономичности печи. 1 ил.
1651 389
Формула изобретения
Составитель Т.Перова
Техред А.Кравчук Корректор Н.Ревская
Редактор С.Пекарь
Заказ 1611 Тираж 484 Подписное
В НИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент". г.ужгород, ул. Гагарина,101
Изобретение относится к массспектрометрическим исследованиям выСокотемпературных процессов с молеКулярными пучками и может быть исполь5
Зовано в устройствах для получения диффузионных молекулярных пучков.
Цель изобретения — повьппение чистоты молекулярного пучка за счет устранения фоновых частиц при повыШении эффективности нагрева, На чертеже приведена схема высоко1емпературной эффузионной печи.
Высокотемпературная эффузионная ечь содержит нижнюю камеру 1 нагре а, верхнюю камеру 2 нагрева, соединенные паропроводом 3, катоды 4 и 5 фля нагрева камер электронной бомбардировкой, укрепленные на держателях 6, цилиндрический экран 7, пробку 2п
8, закрывающую отверстие для загрузки испаряемого материала.
Печь работает следующим образом.
При включении накала катодов 4 и
5 и при наличии ускоряющего напряже- 25 (Йия катод — корпус электроны с верхнего 4 и нижнего 5 катодов ускоряются соответственно к внутреннему торцу камеры 2 и внутренней цилиндрической поверхности камеры 1, При этом 3п ток эмиссии и ускоряющее напряжение катодов 4 и 5 выбираются из расчета создания необходимого давления пара
al нижней камере 1 и обеспечения рабочих условий эксперимента в верхней амере 2. Образующийся пар из камер 1 поступает по паропроводу 3 в каналы камеры 2 и в виде эффузионного пучка вылетает через выходное отверстие камеры 2. При разогреве 40
nå÷è цилиндрический экран 7,.перемещаясь во внутреннем цилиндре камеры
1, компенсирует тепловые деформации и позволяет сохранять ось пучка неизменной., Для уменьшения теплопередачи от верхней .камеры 2 к нижней
1 он выполнен тонкостенным.
Установка катодов 4 и 5 в закрытой полости печи практически устраняет вероятность миграции фоновых частиц, образующихся в промежутке катод — печь, в область эффузионного пучка и в область его детектирования, что по сравнению с известным устройством улучшает соотношение сигнал — шум. Это позволяет повысить эффективность регистрации пучка и расширить класс исследуемых систем, Кроме этого, поскольку радиационное тепло с катодов идет на полезный на. грев печи, а не рассеивается в окружающее пространство, то повышается экономичность печи по сравнению с известным устройством.
Высокотемпературная эффузионная печь, содержащая две соосно расположенные камеры, соединенные паропроводом, и катоды для нагрева электронной бомбардировкой, о т л и ч а ю щ а я— с я тем, что, с целью повьппения чистоты молекулярного пучка за счет устранения фоновых частиц и повьпнения эффективности нагрева, катоды размещены в цилиндрическом экране, верхний торец которого снабжен крышкой, нижняя камера выполнена в виде двухстенной рубашки, охватывающей этот экран, а верхняя камера выполнена в виде канала в крьппке, заканчивающегося эффузионным отверстием.