Датчик линейных перемещений

Датчик линейных перемещений

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение OIHOC -тся -inept -jni н-м, технике и - ет бить игпопьгаазк ,р i ic двоениях перемещении па, мн приборов Целью изобретение 1ляется го вышение ,очности за ст0амрн , вп /-ц нгя иг. о зультзты измерений погрешнои о i озлечмя дифракционных ре легок и ср иирение класса исследуемых объектов з с jei объектов с повышенной скоростью п емещения Излучение от источника из- / вн,; прсо оазуется конденсором в парэл/,--(ьн ь й пучок и поступает на рг П/счающую дифоакииоьную решетчу гно проходи плоскопараллельную П (зсгин топадае на отражающую решетку и - ф|1эп., на ней, вновь проходит гыа,ко,.1-;ыю пластину и пропускаюи,ую пешетку Пссле этого излучение фокусир/е 1 я л /мззми .id фотоприемники. 1 ил

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК..;5 cà, В, !00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОП И САН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4703543/ 28 (22) 08.06.89 (46) 30.05,91. Вюл. M 20 (72) Л.З.Дич, Е,Р,1Лала>лед и В.Р,Трегуб (53) 531,717.2 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

N 1093889, кл. 6 01 В "; f /00, 1984. (54) ДАТЧИК ЛИНЕЙНЫХ П "... Р Е »»>> >= >Ц Е Н И Й (57) Изобретение относ :тся к измерительной технике и может бь>ть >использовано при измерениях перемещений деталей машин и приборов. Целью изобретения является повышение;очности за счет устранения влияИзобретение относится к измерительной технике и может быть использована при измерениях перемещений деталей машин и приборов, Целью изобретения является повышение точности за счет устранения влияния на результаты измерений погрешностей изготовления дифракциоиных решеток и расширение класса исследуемых объектов за счет объектов с повышенной скоростью перемещения.

На черте>ке изображен датчик линейных перемещений, Датчик содержит источник 1 излучения и расположенные по ходу излучения конденсор 2, пропускающую дифракционную решетку 3 с системой параллельных штрихов 4, отражающую дифракциониую решетку 5, предназначенную для крепления на контролируемом обьекте, две собирающие линзы 6, 7 и два фотоприемника 8, 9, распо,„,5Ц „, 1652811 At иия нг результаты измерений погрешностей и готовлеиия дифракциоиных решеток и расширение класса исследуемых объектов за счет объектов с повышенной скоростью перемещения. Излучение от источника излучения преобразуется конденсором в параллельный пучок и поступает иа пропускающую дифракциоииую решетку, затем оно проходит плоскопараллельную пластину, попадает на отражающую решетку и, =ифрагировав на ней, вновь проходит плоскопараллельную пластину и пропускающую решетку. Пссле этого излучение фокусируе- .ÿ линзами на фотоприемники. 1 ил. лсженные каждый =- фокусе соответствуfo" щей линзы 6, 7, плоскопараллельную пластину >О, выполненную в центре и по краям разнотол»инной, ориентированную границами разила перпендикулярно штрихам решеток 3, 5 и, становленную между решетками 3, 5, дополнительную линзу 1 1, расположенную с двумя другими л-:.нзами 6, 7 иа одной линии, параллельной штрихам решеток 3, 5. дополнительиь>й фотоприемник 12, расположенный в фокусе дополнительной. линзы ".1, фот >риемники 8, 9, расположенные в фокусах крайних двух линз 6. 7, соединень: по=ледовательно друг с другом, Датч .-".к работает следующим образом.

Излучение от источника 1, расположенного в фокальной плоскости конденсора 2, преобразуется им в параллельный пучок и поступает на пропускающую дифракциоиную решетку 3. Дифрагировавшее иа штрихах 4 решетки 3 излучение попадает иа

1652811

Составитель B. Костюченко

Редактор M. Циткина Техред M,Моргентал Корректор В,Гирняк

Заказ 1765 Тираж 394 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4(5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 плоскопаралльную пластину 10, ïðîõîдит ее и попадает на отражательную решетку 5. Дифрагировав на отражательной решетке 5, излучение вновь проходит плоскопараллельную пластину 10 и решетку 3, 5 а затем фокусируется линзами 6, 7, 11 на фотоприемники 8, 9, 12, Для получения сдвига по фазе на ж — сигнала с фотоприемника 12 относитель10 но сигналов с фотоприемников 8, 9 плоскопараллельную пластину 10 разворачивают при юстировке на определенный расчетными соотношениями угол в плоскости, перпендикулярной штрихам 4 решетки 3, 15

Формула изобретения

Датчик линейных перемещений, содержащий источник излучения и расположенные по ходу излучения конденсор, 20 пропускающую дифракционную решетку с системой параллельных штрихов, отражающую дифракционную решетку, предназначенную для крепления на контролируемом объекте, две собирающие линзы и два фотоприемника, расположенных каждый в фокусе соответствующей линзы, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью повышения точности и расширения класса исследуемых объектов за счет объектов с повышенной скоростью перемещения, он снабжен плоскопараллельной пластиной, выполненной в центре и по краям разнотолщинной, ориентированной границами раздела перпендикулярно штрихам решеток, и установленной между решетками дополнительной линзой, расположенной с основными линзами на одной линии, параллельной штрихам решеток, дополнительным фотоприемником, расположенным в фокусе дополнительной линзы, а фотоприемники, расположенные в фокусах крайних двух линз, соединены последовательно друг с другом,