Сплав на основе рения
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Изобретение относится к сплавам на основе рения, преимущественно в аморфном состоянии, используемым в радиоэлектронном приборостроении и микроэлектронике. Целью изобретения является повышение термической стабильности, удельного электросопротивления и уменьшение температурного коэффициента электросопротивления. Предложенный аморфный сплав содержит компоненты в следующем соотношении, мас.%: титан 3,7 - 10,8 рений - остальное. Содержание примесей в предложенном сплаве следующее, мас.%: углерода и кислорода до 0,14 (каждого) азота до 0,12 аргона до 0,12. Температура перехода предложенного сплава из аморфного в кристаллическое состояние 730 - 855°С, удельное электросопротивление 205 - 245 мкОм<SP POS="POST">.</SP>см и температурный коэффициент электросопротивления (-1 - -5)<SP POS="POST">.</SP>10<SP POS="POST">-5</SP>К<SP POS="POST">-1</SP>. 1 табл.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
<Я)з С 22 ". 27/00
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЬГГИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР,",, Г<
p! P I ° .-i i " i ага
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ!-"..- 1 Я
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
0 (Ъ
О (2 ". 4618637/02 (22) i 2.12.88 (46) 30,07.91. Бюл. М 28 (71) Воронежский политехнический инстиТарт
1 (72) Q.В.Бармин, И.B.3oëoòóxI.-;-I, 0,А.Кордин, О.В .Тогней и Ю.А.Обвинцев (53) 669,".; ". .5 (088.8) (56) Савицкий Е,M„Тылк бна;"а!., 2, Хамидов
D,X. а сследование растворимости переходных металлов в регп и и .екотоо=!8 свойства сплавGB.
Известия AH СССР, Металлы, 1969, М 4, с. 200-208.
21авин й.М.,:! ооова Л,н. Влияниелегирующих элементов HB деформируемость литого рения.
Известия вузов, Цветная металлургия, 1966. М 6, с. .46-149.
Изобретение относится к металлургии, в частности к сплавам на основе рения, преимущественно в аморфном состоянии, используемым в радиоэлектронном приборостроении и микроэлектронике.
Целью изобретения является повышение термической стабильности, удельного электросопротивления и уменьшение температурного коэффициента электросопротивления.
Изобретение иллюстрируется следующими приимерами, Составы известного и предложенного аморфных сплавов, приведенные в таблице, готовили на установке трехэлектродного
„„Я3 „„1666564 А1 (f 4I < г2 п: <.1 а 2Са1ДВЕ Р .:,1ИР (57) Иэоápетение относится к сплавам на ос! сВ8 рения. Преимущественнo в аморфно .::: :состоянии, используемым в радиоэлектронном приборостооении И микооэлектрони! 8, ЬелыО изобретения яв ляе|ся:1Оаыв2ен "-- термической стабильно
СТИ., 4Д8ЛЬ-! -OÃO ЭЛ8КТOOCOf;PОТИВЛ8НИЯ И
У У 8, Ь : :". . i:i <; G,", ë Г1 с г —,аг O H г,! О К О ф ф U I4 8 H
BMo; н .": c| лав содеожи . I
10,8; îBH — Остальное. Содеожание примесей в Iiоедло><8нном сплаве следующее, Мас, ., а,"-Лероаа И;<И ЛОV: га го,!,14 (Каждого): аэста го 0.1 ; аргона до D,".2, Температура пе."„:-;хоqа поедложе —:,—:О o сп ;ава и аморф;oi i в коисталл 1Ч8cêo8 состояние
730 — 85 .-."С, удельн -", электросопротивлеНИЕ 205- 45 МК<2М СМ И Т8МПеоатурНЫй КОэф ф и ц и 8 н -. э л 8:.< т р О с О и р о т и e J е н и я (ионно- .: «;-менного распыления. В процесC8 рВ O : ::8H !9 iOI< fifIB3IKIbl 15-20 А, HBf1pR жение плазмы 30 В, ток мишени 500 мА, напряжение мишени 2 кВ. Составы фольг из предложенного и известного сплавов, находящиеся в аморфном состоянии, контролировались методам рентгеновского электроннозондового микроанализа, Содержание примесей в сплаве не более, мас. 4: углерод 0,14; кислород 0,14, азот
0,12; BpiOH 0,12.
Свойства известного и предложенного аморфных сплавов приведены в таблице.
Как следует из приведенных в таблице данных, предложенный аморфный сплав на ос16665б4
3,7 — 10,8
Остальное
Титан
10 Рений
Составитель В.Справцев
Редактор Е.Зубиетова Техред M.Mîðãåíòàë Корректор О.Кравцова
Заказ 2499 Тираж 381 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5
Произ одственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 нове рения обеспечивает по сравнению с известным сплавом повышение термической стабильности (температура перехода з аморфного в кристаллическое состояние выше на 375 — 500 С), удельного электросопротивления — на 14 — 35,(, и уменьшение температурного коэффициента электросопротивления в 1,3 — 6,5 раза, Формула изобретения
Сплав на основе рения, преимуществечно с аморфной структурой, содержащий титан, о.тл и ча ю щийся тем,что,с целью повышения термической стабильности, удельного электросопротивления и уменьшения температурного коэффициента элек5 тросопротивления, он содержит компоненты в следующем соотношении, мас,$: