Лазерный интерференционный плоскомер

Лазерный интерференционный плоскомер

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к средствам измерения отклонения от прямолинейности и плоскости. Целью изобретения является повышение точности измерения отклонения от плоскостности и прямолинейности. Луч лазерного интерферометра 1 направляется плоским зеркалом 2 через оптическую пластину 15 в измерительный блок на уголковый отражатель 14, проходит оптические клинья 10 и 11 и попадает на уголковый отражатель 9, проходит через оптические клинья 12 и 13 и, отразившись от грани призмы 14, направляется в визирную марку 3. При перемещении измерительного блока по контролируемой поверхности происходит изменение оптической длины пути лазерного луча, который и характеризует отклонение. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (si)s G 01 8 11/30

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ.

7 8 (21) 4663317/28 (22) 16,03.89 (46) 07.08.91. Бюл. М 29 (72) А.А,Смирнов, А,M.Øàðêèí и Л.А.Карпова (53) 531.715,27 (088.8) (56) Оптико-механическая промышленность, В 2, 1974, с.21 — 22. (54) ЛАЗЕРНЫЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ

ПЛОСКОМЕР (57) Изобретение относится к средствам измерения отклонения от прямолинейности и плоскостности. Целью изобретения является повышение точности измерения отклонения

„„,", Ц„„1б68864 А1 от плоскостности и прямолинейности. Луч лазерного интерферометра 1 направляется плоским зеркалом 2 через оптическую пластину 15 в измерительный блок на уголковый отражатель 14, проходит оптические клинья 10 и 11 и попадает на уголковый отражатель 9, проходит через оптические клинья 12 и 13 и, отразившись от грани и ризмы 14, направляется в визирную марку

3, При перемещении измерительного блока . по контролируемой поверхности происходит изменение оптической длины пути лазерного луча, который и характеризует отклонение. 1 ил.

1668864

Составитель Н. Захаренко

Редактор О. Головач Техред M.MoðãåíTàë Корректор О, Кундрик

Заказ 2649 Тираж57 1 Подписное

8HMMilN Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. ужгород, ул.Гагарина, 101

Изобретение относится к средствам измерения отклонения от прямолинейности и плоскостности.

Цель изобретения — повышение точности измерения отклонения от плоскостности и прямолинейности.

На чертеже представлена схема плоскомера.

Лазерный интерференционный плоскомер содержит последовательно расположенные лазерный интерферометр 1, плоское зеркало 2, установленное с возможностью вращения перпендикулярно оптической оси, визирную, марку 3 и блок обработки информации,.измерительный блок в виде установленного с возможностью перемещения вдоль оси корпуса 5 с тремя наконечниками 6 — 8, один из которых установлен с возможностью перемещения перпендикулярно оптической оси, и последовательно расположенных вдоль оптической оси корпуса 5 уголкового отражателя

9, двух пар оптических клиньев 10, 11 и 12, 13 и второго уголкового отражателя 14.

Плоскомер содержит также две оптические пластины 15 и 16, расположенные с

-I противоположных сторон корпуса 5 и предназначенных для создания замкнутой оптической системы..

Плоскомер работает следующим образом, Луч лазерного интерферометра 1 направляется плоским зеркалом 2 через оптическую пластину 15 в измерительный блок на уголковый отражатель 14, отразившись от которого проходит оптические клинья 10 и 11, отражатель 9, отразившись от него, луч проходит вторую пару оптических клиньев

12 и 13, преломляется и, отразившись QT грани призмы 14, направляется в визирную марку 3. При перемещении измерительного блока по контролируемой поверхности на5 конечник 7 и измерительный блок перемещаются в вертикальной плоскости, что влечет за собой изменение оптической длины пути лазерного луча, величина которого характеризует отклонение от прямолиней10 ности и плоскостности, Формула изобретения

Лазерный интерференционный плоскомер, содержащий последовательно распо15 ложенные лазерный интерферометр, плоское зеркало, установленное с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном оптической оси, визирную марку и блок обработки информации, свя20 эанный с лазерным интерферометром, о тл и ч а ю шийся тем, что. с целью повышения точности измерения отклонения от плоскостности и прямолинейности, он снабжен измерительным блоком, выпол25 ненным в виде установленного с возможностью перемещения вдоль оси корпуса с тремя наконечниками, один из которых уСтановлен симметрично относительно двух других с воэможностью перемещения пер30 пендикулярно оптической оси, и последовательно расположенных вдоль оси корпуса уголкового отражателя, ориентированного основанием параллельно оптической оси и скрепляемого с подвижным наконечником, 35 двух пар оптических клиньев, ориентированных основаниями в противоположные стороны, и второго уголкового отражателя, ориентированного аналогично первому,