Способ получения сверхвысокого вакуума

Способ получения сверхвысокого вакуума

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАН И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ!

66993

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 27d, 3„

Заявлено 12.Ч11!.1963 (№ 852083/24-6) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 12.XII.1964. Бюллетень № 24

Государствеиный комитет по делам изобретений и открытий СССР

МПК F 04g

УДК

Дата опубликования описания 21.1Л966

»

М

Авторы изобретения

В. С. Пархоменко и Г. A. Востров

Заявитель

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СВЕРХВЫСОКОГО ВАКУУМА с помощью ультразвуковых колебаний установлены магнитострикционные генераторы 5.

Колебания направлены вдоль отдельных звеньев вакуумной системы. Датчики можно устанавливать таким образом, чтобы ультразвуковые колебания были направлены перпендикулярно осям емкости 1 и основного газо. провода 6.

Механическое обезгаживание может произ 0 водиться во время и после прогрева системы.

Способ получения сверхвысокого вакуума путем температурного обезгаживания вакуумной системы, отличающийся тем, что, с целью ускорения процесса обезгаживания, на вакуумную систему воздействуют ультразвуковыми колебаниями.

Подписная грушга № 180

Способы получения сверхвысокого вакуума путем температурного обезгаживания вакуумной системы известны.

Предложенный способ отличается тем, что на вакуумную систему воздействуют ультразвуковыми колебаниями. Это позволяет ускорить процесс обезгаживания вакуумных систем и сохранить сверхвысокий вакуум при вибрациях и случайных ударах.

На чертеже схематически изображена вакуумная система для осуществления предложенного способа.

Откачка емкости 1 производится форвакуумным 2 и сверхвысоковакуумным 8, например ионосорбционным титановым, насосами.

В качестве форвакуумного может быть при" менен цеолитовый насос, который можно отключать с помощью крана 4.

Для механического обезгаживания системы

Предмет изобретения

166993

Составитель Т. Рабчук

Техред Т. П. Курилко

Корректор Л. Е. Марисич

Редактор П. Вербова

Типография, пр. Сапунова. 2

Заказ 3549/17 Тираж 1250 Формат бум. 60X90 /з Объем 0,07 изд. л. Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4