Способ контроля блочности мозаики некубических монокристаллов

Способ контроля блочности мозаики некубических монокристаллов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

I67069

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

И АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 11.XII.1963 (№ 866635/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 12.XII.1964. Бюллетень № 24

Дата опубликования описания 18.ХП.1964

Кл. 42l, 30

МПК G Oln

Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР

УДК

Авторы изобретения

В. С. Павловская, В. Ф. Белов и М, Д. Капустина

Заявитель

СПОСОБ КОНТРОЛЯ БЛОЧНОСТИ МОЗАИКИ

Н ЕКУБ ИЧ ЕСКИХ МОНОКРИ СТАЛЛО В

Подписная группа № 50

Способ предназначен для контроля блочности мозаики выращенных монокристаллов, применяемых в полупроводниковой технике и квантовой радиоэлектронике, к которым предъявляются высокие требования с точки зрения совершенства их структуры.

Известные способы рентгепографического и оптического анализов блочности мозаики трудоемки, имеют малую точность. Способ электронного парамагнитного резонанса накладывает существенные ограничения на размеры образцов.

Предложенный способ контроля блочности мозаики с помощью ядерного магнитного резонанса основан на том, что спектр для монокристаллов некубической сингонии с осью симметрии не ниже третьего порядка при наличии электрического квадрупольного момента резонирующих ядер состоит из 21 компоненты. Положение этих компонент зависит от ориентации кристалла в магнитном поле спектрометра ядерного магнитного резонанса. Исследуемый монокристалл устанавливается в спектрометре ядерного магнитного резонанса так, что его ось симметрии образует некоторый оптимальный угол O„„с направлением поля магнита. Производится запись компоненты спектра. Кристалл ориентируется по спектру ядерного магнитного резонанса, при этом блоки мозаики, имеющие углы разориентировки кристаллической оси Л01, Л62 и т. д., вызывают расщепление каждой сателлитной линии на ряд дополнительных линий. Из изменения расстояний между центрами линий расщепления для каждой сателлитной линии спектра и угла 6,„, определяют углы Л81, АО2 и т. д. В случае малых углов разориентировки блоков увеличение расщепления и повышение точности достигается путем записи сателлитных линий спектра, наиболее удаленных от центральной компоненты.

С помощью описанного способа контроль блочности мозаики монокристаллов проводится быстро и с высокой точностью.

Предмет изобретения

Способ контроля блочности мозаики неку20 бических монокристаллов с помещением их в магнитное поле, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и расширения области применения методики определения углов разориентировки блоков мозаики, кристаллы

25 ориентируют по спектру ядерного магнитного резонанса и измеряют расстояние между центрами дополнительных линий расщепления для каждого сателлита и угол между осью симметрии кристалла и магнитным полем.