Способ изготовления кварцевых резонаторов

Способ изготовления кварцевых резонаторов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству кварцевых резонаторов. Целью изобретения является повышение производительности за счет уменьшения объемов функциональной подгонки путем снижения дисперсии температурно-частотных характеристик резонаторов. Цель достигается тем, что изготовление держателей осуществляют методом двухсторонней фотолитографии с последующим травлением незащищенных участков материала держателя, причем нанесение фоторезиста, его экспонирование и проявление проводят до закрепления материала держателей на подложке, а травление незащищенных участков материала держателя - после закрепления.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

1674347 А1 (я)5 Н 03 Н 3/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОЫРЕтЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4480323/21 (22) 18.07.88 (46) 30.08.91. Бюл, ¹ 32 (71) Ярославское научно-производственное объединение "Электронприбор" и Научноисследовательский институт "Фонон" (72) А.М,Васильев, И,А.Лебедев, В.Ф.Пугин, И.П.Дорогань, В.П.Литвинов, П.И.Воронцов и Я.Е.Файлер (53) 621.372.412(088.8) (56) Глюкман Л. И. Пьезоэлектрические кварцевые резонаторы, Л.: Энергия, 1969, с. 198.

Заявка Японии № 59-23485, кл. Н 03 Н

9/05, 1984. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ

РЕЗОНАТОРОВ

Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству кварцевых резонаторов.

Целью изобретения является повышение выхода годных за счет снижения дисперсии температурно-частотных характеристик резонаторов..

Способ осуществляют следующим образом.

Изготавливают диэлектрическую подложку с гнездами для пьезоэлементов и держатели. Закрепляют держатели пьезоэлементов на подложке путем двустороннего нанесения фотореэиста на заготовку держателей, двустороннего экспонирования и проявления фоторезиста, травления заготовки и удаления фоторезиста и устанавливают пьезоэлементы на держатели.

Пример. На пластину из никелевой фольги (HT-2 — Т вЂ” Н-0,05) толщиной 0,05 мм по защитной маске из фоторезиста Ф25, полученной методом двусторонней фотоли(57) Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству кварцевых резонаторов. Целью изобретения является повышение производительности за счет уменьшения объемов функциональной подгонки путем снижения дисперсии температурно-частотных характеристик резонаторов.

Цель достигается тем, что изготовление держателей осуществляют методом двусторонней фотолитографии с последующим травлением незащищенных участков материала держателя, причем нанесение фоторезиста, его экспонирование и проявление проводят до закрепления материала держателей на подложке, а травление незащищенных участков материала держателя — после закрепления. тографии, электрохимическим наращиванием наносили слой золота толщиной 8 — 10 мкм на места. будущих держателей на обе стороны пластины. Керамическую подложку со сформированными гнездами под пьезоэлементы методом сверления (или пробивки) О" совмещали с пластиной из никелевой фольги с помощью базовых штифтов на основа- Дь нии и соединяли с помощью клея. После (д) склеивания основание удаляли и произво- ф, дили сквозное травление незащищенных участков фольги в водном растворе перекиси водорода, содержащем соляную кислоту, На изготовленные держатели с помощью токопроводящего клея монтировали пьезо- д, элементы, Формула изобретения

Способ изготовления кварцевых резонаторов, включающий изготовление диэлектрической подложки с гнездами для пьезоэлементов, изготовление держателей для пьезоэлементов из металлической

1674347

Составитель В. Иовдальский

Техред M.Mîðãeíòàë Корректор M. Максимишенец

Редактор А. Лежнина

Заказ 2934 Тираж 434 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101 заготовки, закрепление держателей пьезоэлементов на подложке и установку пьезоэ-, лементов на держатели, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения выхода годных за счет снижения дисперсии тем- 5 пературно-частотных хара ктеристик резонаторов, для изготовления и закрепления держателей пьезоэлементов на подложке осуществляют двустороннее нанесение фоторезиста на заготовку держателей, двустороннее экспонирование и проявление фоторезиста, закрепление заготовки на подложке, травление заготовки и удаленИе фоторезиста,