Стекло
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Изобретение относится к области технологии силикатов, к производству бариевого алюмоборосиликатного стекла, предназначенного для использования в толстопленочной микроэлектронике в качестве стеклосвязки композиционных резисторов без драгметаллов. С целью повышения температуры размягчения стекло содержит, мае % SIO-2 14 5 20.0, В20з 23,0-27.0. 18,0-20,0. ВаО 28.0-30,0 SrO 1.0-3,0, Сао 1,0 3.0 МдО 1 0 2.0 Zr02 1,0-2,0, Ре20з 1,0- 2.0 МоОт 3.0-5 0 Температура размягчения 640 670°С. ТКЛР. 17(60.3 -63,2) град-1. водоустойчивость 0,17-0,43%, полузакристаллизовэнные без трещин с хорошей растекаемостыо и адгезией к подложке покрытия. 2 табл.
ñ С 03 С 3/064
ГОСУДА РСТ В Е ННЫЙ КОМИТ Е Т
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Формула изобретения
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ . д РЕСПУБЛИК с . (21) 4629229/33 (22) 30,12.88 (46) 07.09.91 Бюл. N . 33 (71) Белорусский политехнический институт (72) И.К.Немкович, О.В.Невар, Е.В.Козлова, Н.H.Êoëîñîaà и Е.M,Áàéêîâà (53) 666.112.9(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
N 1413062, кл. С 03 С 3/064, 1987.
Авторское свидетельство СССР
N 1595802, кл. С 03 С 3/064, 1988. (54) СТЕКЛО (57) Изобретение относится к области технологии силикатов. к производству бариевого алюмоборосиликатного стекла, преднаэнаИзобретение относится к области технологии силикатов, к производству бариевого алюмоборосиликатного стекла, предназначенного для использования в толстопленочной микроэлектронике в качестве стеклосвязки композиционных резисторов без драгметаллов.
Цель — повышение температуры размягчения.
Синтез стекол может осуществляться в газовой и электрической печах, в кварцевых и корундовых тиглях при температуре
1350 С, выдержка 0,5 — 1 ч. При указанном температурно-временном режиме стекло
xop0Loo варится и осветляется и позволяет изготавливать из него различные изделия методом отливки и прессования.... SU„„1675236 А1 ченного для использования в толстопленочной микроэлектронике в качестве стеклосвязки композиционных резисторов без драгметаллов. С целью повышения температуры размягчения стекло содержит, мас.%: SlOz 14.5 20,0, ВВОЗ 23,0-27.0, Alz0a
18,0-20,0, ВаО 28,0-30,0 SrO 1,0-3,0, Сао
1,0- 3,0 MgO 1,0 2,0 УГОЙ 1,0-2,0, Fez0g 1,02.0 Мо0 3,0-5.0. Температура размягчения
640-670"С, ТКЛР, а(60,3 -63,2) 10 град — 1, водоустойчивость 0,17-0,43%, полузакристаллизованные беэ трещин с хорошей растекаемостыю и адгеэией к подложке покрытия. 2 табл.
Конкретные составы стекол приведены в табл.1.
Свойства стекол даны в табл.2.
Как видно из табл.2, данные стекла обладают более высокой температурой размягченияя.
Стекло, содержащее. мас.%: $!02 14,520,0, ВрОз 23,0-27,0, AlzOg 18,0 — 20,0, ВаО
28,0-30,0. SrO 1,0-3,0, СаО 1,0 — 3,0, MgO
10-20,ZrOz10-20, отличающееся тем, что, с целью повышения температуры размягчения. оно дополнительно содержит
FezOq u МоОз соответственно 1.0 — 2,0 и 3,0—
5,0 мас.%, 1675236
Таблица 1
Компоненты
2 3 4 5
16,5
16,5
20,0
14,5
17,3
27,0
25,0
24,0
23,0
23,0
20,0
18,0
18,0
19,0
18,0
29,0
28,0
28,0
30,0
30,0
3,0
1,0
1,0
1,5
2,0
SrO
1,0
1,0
1,0
2,0
СаО
1,0
1,5
1,0
2,0
1,2
Мдо
2,0
1,5
1,0
1,0
1,0
1,0
1,0
2,0
1,5
3,0
5 0
4,0
3,0
4,0
Таблица 2
Свойства
) 2
Прозрачные стекла с хорошими варочновыработочными свойствами, Полузакристаллизованные без трещин с хорошей растекаемостью и адгезией к подложке покрытия
Температура pasмягчения, С 650
6/О
650
640
640
Коэффициент теплового расширения (4 10 ),град 63,2
Водоустойчивость, %
60,8
60,5
60,3
62,5
0,22
0,43
0,20
0,11
0,23
Составитель Г. Буровцева
Редактор Г. Наджарян Техред М.Моргентал Корректор M Кучерявая
Заказ 2971 Тираж 298 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент" г. Ужгород, ул,Гагарина, 101
SiO
Bt 03
А1 03
ВаО
ЕгО
Fe1O
МоО>
Поведение стекол на подложке из 22 ХС после обжига при 850 С
Составы
3 4