Датчик перемещения на поверхностных акустических волнах
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Изобретение относится к акустоэлектроимке и может быть использовано в измерительных устройствах на поверхностных акустических волнах. Цель изобретения - расширение диапазона измерения перемещений . Датчик состоит из консольно закрепленного упругого волновода, на одной или двух противоположных поверхностях которого сформированы встречно-штыревые преобразователи для возбуждения и приема поверхностных акустических волн, и усилителя . Отличительной особенностью является наличие магнитной пластины, закрепленной на свободном конце волновода, герметичного корпуса из немагнитного материала и вторичной магнитной пластины, закрепленной на объекте перемещения. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.
союз советских
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (я)э G 01 В 17/00
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4662172/28 (22) 13.03.89 (46) 07.09.91. Бюл. ¹ 33 (71) Специальное конструкторско-технологическое бюро с опытным производством
Института физики твердого тела и полупроводников АН БССР (72) В.С.Гороховский, С.П.Жуков, Т.H.Ñàâè÷ и Ю.О.Чесалов (53) 620.179.16 (088.8) (56) Richard М. White. Surface acoustic wave
sensors JBBB Wetrason. Symp. Proc. San.
Francisco, Caiif. 0ct. 16 — 18. 1985, ч. 1, 1985, р. 490-494. (54) ДАТЧИК ПЕРЕМЕЩЕНИЯ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ
Изобретение относится к устройствам для измерения перемещений объектов и может быть использовано в области электроники.
Целью изобретения является расширение диапазона измерений перемещений.
На чертеже приведена схема датчика перемещения на поверхностных акустических волнах (ПАВ).
Датчик перемещения содержит консольно закрепленный упругий волновод 1, на поверхности которого сформированы встречно-штыревые преобразователи 2 и 3 для возбуждения и приема ПАВ. На свободном конце волновода 1 закреплена магнитная пластина 4. Встречно-штыревой преобразователь 2 для возбуждения ПАВ включен на выходе, а встречно-штыревой преобразователь 3 для приема ПАВ на входа усилителя 5 таким образом, что образо„„Я „„1675670 А1 (57) Изобретение относится к акустоэлектронике и может быть использовано в измерительных устройствах на поверхностных акустических волнах. Цель изобретения— расширение диапазона измерения перемещений, Датчик состоит из консольно закрепленного упругого волновода, на одной или двух противоположных пОверхностях котороlo сформированы встречно-штыревые преобразователи для возбуждения и приема поверхностных акустических волн., и усилителя. Отличительной особенностью является наличие магнитной пластины, закрепленной на свободном конце волновода, герметичного корпуса иэ нема гнитного материала и вторичной магнитной пластины, закрепленной на объекте перемещения, 1 з.п.ф-лы, 1 ил. ван ПАВ-генератор с времязадающим элементом на упругом волноводе 1. Упругий О волновод i с преобразователями 2 и 3 заключены в герметичный корпус 6 из немагнитного материала. Нэ контролируемом объекте перемещения закреплена магнит- О ная пластина 7. 4
Сущность изобретения состоит в том, 4 ) что магнитное поле, возникающее между пластиной 6, закрепленной на объекте перемещения, и магнитной пластиной 4, закрепленной нэ свободном конце волновода 1, воздействует на него, заставляя изгибаться, на расстоянии, т.е. бесконтактно. Это позволяет измерять различные перемещения
-, любой величины в зависимости от магнитного пола. что значительно расширяет диапазон измерения. Отсутствие механического контакта позволяет изолировать чувствительный элемент датчика в герметичный корпус цъ
675670 немагнитного материала, что уменьшает воздействие внешней среды, Датчик перемещения работает следующим образом.
Составитель С.Волков
Техред М,Моргентал Корректор А.Осауленко
Редактор А.Мотыль
Заказ 2993 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета па изобретениям и открытиям при ГКНТ, СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101
При воздействии магнитного поля, возникающего между магнитной пластиной 4, закрепленной на свободном конце волновода 1, и магнитной пластинкой 7, закрепленной на объекте перемещения, упругий 10 волновод 1 с встречно-штыревыми преобразователями 2 и 3 возбуждения и приема
ПАВ изгибается. При этом верхняя поверхность его растягивается, а нижняя сжимается. Происходит также изменение 15 упругости и плотности материала упругого волновода 1. Это вызывает изменение скорости ПАВ, что приводит к изменению частоты ПАВ-генератора, величина которой зависит от величины перемещения объекта. 20
Герметичный корпус 6 из немагнитного материала защищает от воздействия внешней среды. L
Формула изобретения
1. Датчик перемещения на поверхностных акустических волнах, содержащий консольно закрепленный упругий волновод, размещенные на его поверхности встречноштыревые преобразователи для возбуждения и приема поверхностных акустических . волн, и усилитель, выход которого соединен с встречно-штыревым преобразователем для возбуждения, а вход — с встречно-штыревым преобравователем для приема поверхностных акустических волн, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью расширения диапазона измерений перемещений, он снабжен двумя взаимодействующими друг, с другом магнитными пластинами, одна иэ которых закреплена на свободном конце упругого волновода, а другая предназначена для закрепления на объекте перемещения.
2. Датчик по и. 1. отличающийся тем, что, с целью. повышения помехоустойчивости, он снабжен герметичным корпусом из немагнитного материала,