Способ измерения давления разреженного газа

Способ измерения давления разреженного газа

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к измерительной вакуумной технике. Цель изоберетения - повышение точности измерения путем снижения газовыделения в вакуумной системе в процессе измерений. Снижения газовыделения добиваются проведением предварительной вакуумной температурной тренировки входных элементов вакуумной измерительной системы: входного клапана 8 и входной части молекулярного насоса 3, для чего перед отбором пробы газа в камеру отбора подключают выход молекулярного насоса 3 к входу форвакуумного насоса 4. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛ ИСТИ ЧЕ СКИХ

РЕСПУБЛИК (эцио G 01 1 21/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР с

:;С1 1", л р

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

2 фиаЛ (61) 1394077 (21) 4721586/10 (22) 29.05.89 (46) 07.09,91. Бюл. М 33 (71) Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при

Горьковском государственном университете им. Н.И.Лобачевского (72) В.П.Иванов (53) 531.788(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

ЬЬ 1394077, кл. G 01 1 21/02, 1985, (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ

РАЗРЕЖЕННОГО ГАЗА,, Ж,, 1675709 А2 (57) Изобретение относится к измерительной вакуумной технике, Цель изоберетения— повышение точности измерения путем снижения газовыделения в вакуумной системе в процессе измерений, Снижения газовыделения добиваются проведением предварительной вакуумной . температурной тренировки входных элементов вакуумной измерительной системы: входного клапана 8 и входной части молекулярного насоса 3, для чего перед отбором пробы газа в камеру отбора подключают выход молекулярного насоса 3 к входу форвакуумного насоса 4. 2 ил.

1675!09

Изобретение относится к вакуумной измерительной технике, а именно к способам измерения давления разреженных газов, и может найти применение в вакуумной технологии, экспериментальной физике и при космических исследованиях, и является усовершенствованием изобретения по авт.св.

¹ 1394077, Цель изобретения — повышение точности измерения давления.

На фиг.1 изображена схема устройства, реализующего споссб измерения давления разреженного газа; на фиг,2 — узел на фиг.1.

Устройство содер>кит объем 1 с исследуемым газом, камеру 2 для отбора пробы, вакуумный молекулярный насос 3 с ротс>ром на магнитном подвесе, форвакуумный насос 4. Камера 2 снабжена датчиком 5 давления, который через регулятор 6 воздействует на привод 7 ротора и управляет скоростью его вращения. К входу молекулярного насоса 3 подсоединен двухходовой кран 8 своим центральным патрубком 9, Патрубком 10 при верхнем основании кран 8 подсоецинен к исследуемому обьему 1, патрубком 11 при нижнем основании — к форвакуумному насосу 4. Кран 8 снаб>кен верхним клапаном 12 с седлом 13 и штоком 14 и нижним клапаном l5 с седлом 16 и штоком 17. На фиг.2 представлена возможная конструкция прогрезаемого пластически деформируемого тарельчатого клапана, для примера нижнего, изготовленного из меди и уплотняющегося на твердом бурте 18 седла 16.

Шток 17, снабженный герметизирующим сильфоном 19, подсоединен через муфту 20 к винту 21, пропущенному через гайку

22, которая закреплена на корпусе крана 8 кронштейнами 23, винт 21 снабжен рукояткой 24, Выход молекулярного насоса 3 подсоединен к центральному патрубку 25 крана

26. аналогично по конструкции крану 8, к верхнему патрубку 27 крана 26 подсоединена камера 2 отбора, к нижнему патрубку 28 — форвакуумный насос 4.

Способ измерения давления осуществляют следующим образом, На первом этапе вращением рукоятей винтов штоков соответствуюших клапанов переводят верхний 12 и нижний 15 клапаны крана 8 в крайнее верхнее поло>кение, при котором клапан 12 уплотняется с седлом 13, а верхний и нижний клапаны крана 26 — в крайнее нижнее положение, При этом камера 2 отбора оказывает=я присоединенной к выходу модекулярного íà"îñà,3,,а вход молекулярного насоса — к форвакуумному насосу 4. Ротор молекулярного насоса приводится в обратное вращение с номинальной скоростью, и молекулярный и форвакуумный насосы откачивают камеру отбора.

При этом для обезгаживания камера 2 отбора, кран 26 и молекулярный насос 3 прогреваются (устройства прогрева не показаны), На втором этапе переводят верхний клапан крана 8 в верхнее положение, нижний — в нижнее положение, оба клапана крана 26 — в верхнее положение. При этом вход молекулярного насоса 3 изолирован и от исследуемого объема 1, и от форвакуумного насоса 4, а выход молекулярного насо15 са 3 подсоединен к форвакуумному насосу

4, Меняют направление вращения ротора молекулярного насоса 3 и откачивают кран

8 молекулярным насосом 3 и форвакуумным насосом 4, прогревая кран 8 и молекуляр20

Формула изобретения

Способ измерения давления разреженного газа по авт,св. № 1294077, о т л и ч а юньил насос 3. При этом происходит обезгаживание входного крана 8 и дополнйтельное обезгаживание входной части молекулярного насоса 3.

На третьем этапе клапаны кранов 8 и 26 переводятся в нижнее положение (фиг,1).

При этом к входу молекулярного насоса 3 через кран 8 подключен исследуемый объем

1, к выходу — камера 2 отбора через кран 26.

30 Происходит отбор пробы в камеру 2 и его сжатие. При отборе пробы скорость вращения ротора насоса 3 плавно регулируется датчиком 5 давления через регулятор 6 до получения заданного давления Р2. По получении заданного давления измеряют установившуюся скорость вращения ротора и по градуировочным кривым определяют степень сжатия К насоса 3 и вероятность pt2 прохода молекул газа через насос 3 соответ40 ственно

На червертом этапе верхний клапан крана 26 переводят в верхнее положение, нижний — в нижнее. При этом камера 2 отбора оказывается изолированной, и вследствие остаточного газоотделения ее стенок давление в ней начинает повышаться, Реакцией регулятора служит нарастающее ускорение ротора, направленное в сторону, противоположную его вращению, Опреде50 ляют давление Р исследуемого газа.

Дополнительное обезгаживание входной части устройства уменьшает примесь выделяющегося из стенок входного крана 8 и входной части насоса 3 газа к исследуемому газу, поступающему иэ объема 1, что повышает точность измерений.

1675709

Составитель В,Шестак

Техред М.Моргентал Корректор Л. Бескид

Редактор М.Бланар

Заказ 2995 Тираж 329 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж 35, Раушская наб„4!5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 шийся тем, что, с целью повышения точности измерений, перед отбором пробы газа в предварительно обезгаженную камеру соединяют выход вакуумного молекулярного насоса с входом форвакуумного насоса и дополнительно обезгаживают входной клапан и входную часть молекулярного насоса.

1д