Способ получения селеновых пленок
Патент 167731
Классы МПК
Способ получения селеновых пленок
Иллюстрации
Реферат
О Il И С А Н И Е 167731
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 15.VI.1962 (№ 782838/22-2) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 18.I.1965. Бюллетень № 2
Дата опубликования описания 27,1.1965
Кл. 48b, 1
МПК С 23с
Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР
УДК 621.793(088.8) Автор изобретения
В. Г. Бойцов
Заявитель
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СЕЛЕНОВЫХ ПЛЕНОК
Подписная группа № 209
Изобретение относится к технологии получения тонких пленок. До настоящего времени тонкие селеновые пленки получали вакуумным напылением селена на металлическую подложку, которую можно легко растворить.
При растворении подложки в определенном растворителе происходит загрязнение и при высыхании тонкой пленки — ее разрушение (трещины, ломка).
Для увеличения выхода пленки н упрощения технологического процесса предлагается производить вакуумное напыление из аморфного селена на металлическую подложку из фосфористой или бериллиевой бронзы, предварительно полированную до зеркального блеска. Снятие селеновой пленки с подложки производят изгибанием подложки.
Пластинку из фосфористой или бериллиевой бронзы толщиной 0,1 — 0,2 мл полируют пастой ГОИ до зеркального блеска, промывают бензином, а затем этиловым спиртом. После снятия с помощью сухой ваты остатков спирта подложку помещают в кассету под вакуумный колокол. Напыление производят при вакууме 5 — 10 — 4 лы рт. ст. в течение 5—
8 мин в зависимости от толщины получаемой пленки. Температура при напылении 6 — 10 C.
Предмет изобретения
Способ получения селеновых пленок вакуумным распылением селена на металлическую подложку, отличаюи1ийся тем, что, с целью упрощения технологического процесса и
1S повышения выхода годного, вакуумное напыление пленок производят из аморфного селена на предварительно полированную до зеркального блеска подложку, изготовленную из фосфористой или бериллиевой бронзы.