Патент ссср 168575

Патент ссср 168575

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Реслублик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 48Ь, 14

Заявлено 02.1.1963 (№ 811226/22-2) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 18.11.1965. Бюллетень № 4

Дата опубликования описания 4.III.1965

МПК С 23с

УДК 621 793 (088 8) Государственный комитет ло делам изобретений и открытий СССР

Авторы изобретения

С. И. Бродский, Л. Л. Хаскович и И. Н. Зайдель

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Подписная группа № 209

Известно применение системы централизованной откачки вакуумных устройств в сочетании с электромагнитами термисторных ламп для контроля вакуума и игольчатых клапанов-натекателей с микрометрической подачей.

Описываемое устройство в отличие от известных снабжено системой электромагнитных клапанов, управляемых блоком контроля вакуума, позволяющей управлять работой вакуумной системы, двухзолотниковым клапаном-патекателем. Такое устройство дает возможность осуществлять процесс нанесения покрытий одновременно в нескольких камерах.

При работе с большим количеством вакуумных камер все вакуумные насосы могут быть вынесены в отдельное помещение, что устранит вибрации, шум и загрязнение воздуха парами масла в рабочем помещении, в результате чего значительно улучшится качество покрытий.

На фиг. 1 изображена схема работы установки; на фиг, 2 — клапан-натекатель; на фиг. 3 — блок контроля вакуума; на фиг. 4— блок задания программы распыления.

Установка состоит из камер К (фиг. 1) и вакуумной системы с автоматическим программным управлением процессом откачки и металлизации.

Камеры К при помощи главного клапана 1, клапана-натекателя 2 и клапана-переключателя 8 автоматически подключаются к трем линиям откачки А, Б и B с предельным давлением порядка 1 лл рт. ст., 10 — - лл рт. ст. и

10 з лл рт. ст. соответственно.

При работе установки в положении выпуска воздуха в вакуумную камеру К (см. фиг.

1а) электромагниты 4, б и б клапана-натекателя 2, главного клапана 1 и клапана-переключателя 8 соответственно обесточены. Кла1О пан-натекатель, находясь в нижнем положении, предотвращает попадание воздуха в линии откачки А и Б, а главный клапан — в диффузионный насос и линию B.

При работе установки в положении откачки

15 из вакуумной камеры основной массы газа до давления 1лл рт. ст. (см. фиг. 16) оператор вручную включает электромагнит клапана-натекателя 2 и тем самым задает начало цикла.

20 Под действием электромагнита поднимается малый клапан 7 и закрывает отверстие 8, прекращая доступ воздуха в установку, и одновременно открывает канал 9 в большом клапане 10. Через этот канал и кольцевой зазор

25 11 начинается откачка воздуха. После того как давление над клапаном 10 и под ним гыравнивается, он также поднимается If открывает доступ для откачки через отверстие 12.

Клапан-натекатель в таком выполнении да30 ет возможность уменьшить габариты электро168575

Фиг 1 магнита и мощность его катушки, а также позволяет производить медленную начальную откачку и предотвращает образование тумана и росы в вакуумной камере. Клапан-натекатель 2 подключает вакуумную камеру К к клапану-переключателю 8. При этом электромагнит б клапана-переключателя обесточен, и последний закрывает линию Б и подключает вакуумную камеру к линии А.

Когда давление в вакуумной камере достигает 40 — 50 мм рт. ст., срабатывает реле вакуума 13. Через некоторое время (порядка

1,5 мин) давление в вакуумной камере падает до 1 мм рт. ст,, срабатывает реле времени

14, которое включает электромагнит клапанапереключателя. Последний поднимается, закрывает линию А и подключает вакуумную камеру к линии Б (см. фиг. 1, в). Начинается удаление воздуха из вакуумной камеры до давления, допустимого для включения в работу диффузионного насоса 15.

Блок контроля вакуума следит за изменением давления в вакуумной камере, Сигнал от лампы ЛТ-2, зависящий от давления в вакуумной камере, поступает на вход блока и сравнивается с опорным напряжением на сопротивлении R<. Вибропреобразователь превращает разность этих сигналов в импульсы, подаваемые на усилитель b . Когда сигнал становится равным, а затем больше опорного напряжения, меняется фаза импульсов, ток, идущий через реле R7, меняет направление и замыкает контакт Л вместо П. Реле

Р4 включает электромагнит главного клапана, последний поднимается, разобщает вакуумную камеру с линией Б и соединяет ее с диффузионным насосом и через него с линией В (см. фиг. 1, г). Одновременно с включением реле Р шунтируется сопротивление Ra. Опорное напряжение íà Re изменяется до величины 10 mV. Фаза сигнала, подаваемого вибропреобразователем на усилитель, восстанавливается, и реле Р7 замыкает контакт П. Когда давление в вакуумной камере достигает

10 4 мм рт. ст., реле Р7 замыкает контакт Л, включается реле Р,, подающее напряжение на генератор импульсов ГИ, размыкается кон4 такт КР, и опорное напряжение снижается до уровня, соответствующего значению давления

5 ° 10 4 мм рт. ст. Генератор импульсов включает шаговый искатель ШИ, который последо5 вательно подключает все спирали испарителей к источнику питания. При прохождении тока через спираль испарителя включается реле Р> и размыкается контакт КР, шунтирующий сопротивление R определяющее длительносгь импульса, поступающего от генератора к шаговому искателю.

Если в процессе испарения металла давление в камере падает до 5 ° 10 4 мм рт. гт., то реле Р7 вновь замыкает контакт П, а реле Р отключается и прекращает подачу напряжения на спирали испарителя.

Подача напряжения на спирали испарителей возобновится замыканием контакта КР6 только при достижении в камере вакуума

20 1. 10 — 4 мм рт ст

После металлизации всех деталей шаговый искатель на последней позиции включает лампу, сигнализирующую об окончании процесса.

Оператор снимает выключателем напряжение со всех катушек трех клапанов, через клапан-натекатель в вакуумную камеру впускается воздух, и цикл повторяется.

Предмет изобретения

30 1. Устройство для нанесения покрытий в вакууме, состоящие из ряда камер и централизованной вакуумной системы с автоматическим программным управлением, отличающееся тем, что, с целью обеспечения одновременÇ5 ной работы нескольких камер и получения качественных покрытий, оно снабжено системой электромагнитных клапанов, управляемых блоком контроля вакуума, и двухзолотниковым дифференциальным клапаном-натекате40 лем, 2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что, с целью увеличения тягового усилия при форсированном открывании клапанов и уменьшения требуемой мощности электромагнитов, 45 в схеме их питания предусмотрено включение емкости, шунтирующей добавочное сопротивление.

168575 т

Фиг

Составитель Е. Кубасова

Редактор Л. Струве Техред А. Кудрявицкая Корректор В. Il. Фомин»

Заказ 281/18 Тираж 500 Формат бум. 60)(90>/ц Объем 0,35 изд. I. Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2