Состав для снятия тонкопленочных покрытий на основе окислов @ -элементов iy-й группы с металлических деталей
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Изобретение относится к химической обработке металлов, в частности к снятию с металлических поверхностей тонкопленочных покрытий на основе окислов - элементов IV группы. Целью изобретения является ускорение процесса удаления покрытия и предотвращениерастравливания металла основы. Состав для снятия тонкопленочных покрытий на основе окислов - элементов IV группы содержит, мас.%: азотная кислота (плотность 1,42 г/см3) 20 - 30, плавиковая кислота (плотность 1,12 г/см3) 4-6. 2-нафтол-1-нитрозо 0,2 - 0,4, вода - остальное. Ускорение процесса удаления покрытия и предотвращение растравливания металла основы достигается за счет дополнительного введения в раствор 2-нафтол-1-нитрозо. 2 табл.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (я)л С 23 F 1/44
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4723153/02 (22) 24,07.89 (46) 23.10.91. Бюл. ¹ 39 (71) Новочеркасский политехнический институт им.Серго Орджоникидзе (72) Ш,А.Фурман, В.Я,Хентов, Ю.В.Власов и
Л.Н.Великанова (53) 621.794.422 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1006551, кл. С 02 F 3/24, 1981.
Авторское свидетельство СССР М
1328364, кл. С 09 К 13/08, 1985. (54) СОСТАВ ДЛЯ СНЯТИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ ОКИСЛОВ а -ЭЛЕМЕНТОВ IV-ГРУППЫ С
МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ
Изобретение относится к химической обработке металлов, в частности к снятию с металлических поверхностей тонкопленочных покрытий на основе окислов а-элементов IV-группы, и может быть использовано в оптическом производстве для регенерации металлических экранов установок вакуумного напыления.
Целью изобретения является ускорение процесса удаления покрытия и предотвращение растравливания металла основы.
Пример 1. Для приготовления травильного раствора к 0,697 кг (0,697 л) воды добавляют порциями 0,25 кг (0,176 л) азотной кислоты (плотность 1,42 г/смз), 0,05 кг. (0,045 л) плавиковой кислоты (плотность 1,12 г/мз). Раствор перемешивают и оставляют на
0,5 ч для охлаждения. Затем в охлажденный раствор добавля ют 0,003 кг 2-нафтол-1-нитро. SU 1686034 А1 (57) Изобретение относится к химической обработке металлов, в частности к снятию с металлических поверхностей тонкопленочных покрытий на основе окислов — элементов IV группы. Целью изобретения является ускорение процесса удаления покрытия и предотвращение растравливания металла основы. Состав для снятия тонкопленочных покрытий на основе окислов — элементов 1Ч группы содержит, мас. : азотная кислота (плотность 1,42 г/смз) 20 — 30, плавиковая кислота (плотность 1,12 г/смз) 4 — 6, 2-нафтол-1-нитрозо 0,2 — 0,4, вода — остальное.
Ускорение процесса удаления покрытия и предотвращение растравливания металла основы достигается за счет дополнительноro введения в раствор 2-нафтол-1-нитрозо, 2 табл. зо. В растворе кислот труднорастворимый лиганд постепенно растворяется. ей
2-нафтол-1-нитрозо можно также предва- 0 рительно растворять в уксусной кислоте. На р свойства донорно-акцепторной системы и кинетику растворения многослойных оксидов уксусная кислота влияния не оказывает.
Травлению подвергают детали из стали
12Х18 Н 10Т с нанесенными окислами Фь
2пОг SION толщиной 0,005 — 2 м в зависимости от количества слоев: образец 1-15 слоев, 2 — Еав
75 слоев, 3 — 100 слоев.
Процесс травления осуществляют погружением деталей втравильный раствор на специальных держателях на 2 — 9 мин о зависимости от числа слоев покрытия, травильный раствор перемешивается. После удаления покрытия детали извлекаются из травильной ванны, промываются последовательно в двух ваннах с проточной водой.
1686034
Таблица 1
2
3
Если поверхность детали частично покрыта оксидными пленками, удаление последних можно проводить локально, нанося травильный раствор на 2-10 мин только на участок, покрытый пленками, Составы опробованных растворов приведены в табл,1.
Результаты испытания предложенного и известного составов представлены в табл,2.
Для приготовления растворов применяк>т 2-нафтол-1-нитрозо по ГОСТ 7756 — 55, Структурная формула органического лигвнда 2-нафтол-1-нитрозо (реактив Ильинского 2 нафтохинон, 1-оксим):
О=И ио- с„,н,он
M,В, 173,8, желтые иглы, т л 105 - 107 С
Качество обработанной поверхности определяют визуально, а также путем измерения геометрических параметров оставшейся пленки. Сравнение темпа снятия
Покрытия осуществляют по измерению времени, необходимого для полного снятия оксидов с поверхности, Значительное увеличение скорости снятия оксидных пленок с металлов в предложенном растворе по сравнению с
Известным обусловлено одновременным
Протеканием двух процесов: растворение с ксидов металлов в донорно-акцепторной системе в результате реакций комплексообразования и отслаивание оксида вследствие нарушения адгезии оксидной пленки к металлу. Нанесение многослойных покрытий в режиме вакуумного напыления привоДит к тому, что покрытие имеет поры, Проницаемые для донорно-акцепторных систем, Состав проникает к поверхности разДела оксид — подложка металла и реагирует с оксидом, Это приводит к развитию микротрещин и разрыву кристаллизационного контакта между оксидом и подложкой без нарушения полированной поверхности ме5 талла..Происходит отслаивание слоев покрытия в виде чешуй размером приблизительно 2х2 мм, которые скапливаются на дне ванны травления.
Добавление поверхностно-активного 210 нафтал-1-нитроэо приводит также к ускорению процесса отслаивания покрытия вследствие понижения прочности твердого тела в тонком поверхностном слое (появление эффекта адсорбционного понижения
15 прочности по П.А.Ребиндеру), Скорость процесса значительна. Адсорбция 2-нафтол-1-нитрозо на поверхности металла исключает реакцию травления металла кислотами, что приводит к сохранению мик20 рорельефа полированной поверхности.
Таким образом, применение предложенного состава позволяет в 20 раэ увеличить скорость удаления покрытия и исключить растравливание металлической
25 поверхности.
Формула изобретения
Состав для снятия тонкопленочных покрытий на основе окислов а-элементов IVгруппы с металлических деталей, 30 содержащий азотную, плавиковую кислоты и воду, отличающийся тем, что, с целью ускорения процесса удаления покрытия и предотвращения растра вл иван ия металла основы, он дополнительно содержит 2-наф35 тол-1-нитрозо при следующем соотношении компонентов, мас.%:
Азотная кислота (плотность 1,42 г/см ) 20 — 30
Плавиковая кислота
40 (плотность 1,12 г/смэ) 4 — 6
2-нафтол-1-нитроэо 0,2 — 0,4
Вода Остальное.
1686034
Таблица 2
Состав Образец
Растрав поверхности
Составитель А.Селезнев
Редактор И.Шмакова Техред М.Моргентал Корректор Э.Лончакова
Заказ 3578 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101
Z
1
1
1
Вреия полного удаления пленни, мин
3 ч
3 ч 40иин
4 ч
7,5
12,2
14,6
1,6
6,4
9,2
3,6
6,3
11,2
42
47
53 -;
29
34
Состояние поверхности,Лефентов на поверхности HBT