Интерференционное покрытие

Интерференционное покрытие

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано при изготовлении светоделительных и пропускающих интерференционных покрытий . Изобретение позволяет повысить коррозионную стойкость покрытий, работающих во фторирующей среде. Увеличение коррозионной стойкости достигается за счет нанесения покрытия из чередующихся диэлектрических слоев с высоким Пв 1.8 - 2,3 и низким пн 1.40 - 1,47 показателями преломления и оптической толщиной каждого Я/4. где А - рабочая длина волны Первый и последний, считая от подложки, слои - с высоким показателем преломления. Дополнительно наносят слой диоксида кремния оптической то ищи ной А/4 и спой оксида алюминия оптической толщиной 2 m -M ,, л где m целые числа or 1 до 4 Ё

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 G 02 В 1/10

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4754097/10 (22) 25.10.89 (46) 23.10.91. Бюл.%39 (71) Научно-производственное объединение

"Астрофизика" (72) А.А.Журавлев, О.Ю.Зайцева. В.В,Моршаков, Л.С.Райнина, С,А.Филин и В.И,Ямпольский (53) 535.345.67 (088,8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 1176280, кл, G 02 В 1/10, 1985 r.

Покрытия оптических деталей. Классификация и обозначение. ОСТЗ-1901-73, (54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ ПОКРЫТИЕ (57) Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано при изготовлении светоделительных и

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано при изготовлении светоделительных и пропускающих интерференционных покрытий.

Целью изобретения является повышение корроэионной стойкости покрытия.

Увеличение коррозионной стойкости интерференционного покрытия достигается за счет дополнительного нанесения на него слоя диоксида кремния оптической толщиной Л/4 и слоя оксида алюминия AlzOg on2 m+1 тической толщиной

Л, где Л— рабочая длина волны, а m — целые числа от

1 до 4.

Покрытие наносят следующим образом.

„„. Ж„„ f686392 А1 пропускающих интерференционных покрытий, Изобретение позволяет повысить корроэионную стойкость покрытий, работающих во фторирующей среде. Увеличение коррозионной стойкости достигается за счет нанесения покрытия из чередующихся диэлектрических слоев с высоким n8 - 1,8—

2,3 и низким пд = 1,40 — 1,47 показателями преломления и оптической толщиной каждого Л/4, где Л- рабочая длина волны. Первый и последний. считая от подложки, слои — с высоким показателем преломления, Дополнительно наносят слой диоксида кремния оптической толщиной Л/4 и слой оксида алюминия А1рОЗ оптической толщиной

2m+1

Л, где m — целые числа от 1 до 4.

На подложку из стекла марки К8, КУ-1,КВ и других наносят интерференционное покрытие из чередующихся диэлектрических слоев с высоким ne = 1,8 — 2,3 и низким пн =

=1,40 — 1,47 показателями преломления и оптической толщиной каждого Л/4, Оптический элемент помещают в вакуумную установку, например ВА-710, снабженную двумя электрон но-лучевыми испа рителя ми, системой кварцевого контроля толщины слоев, обеспечивающей точность нанесения слоев + 2;(„ и подколпачным оборудованием, обеспечивающим однородность покрытия по диаметру подложки не менее

2 . Загружают в первый тигель электроннолучевого испарителя материал с высоким показателем преломления, например диоксид гафния, не менее 30 г и оксид алюминия

1686392

А1зОэ не менее 10 r, во второй тигель— материал с низким показателем преломления, например BaFg и диоксид кремния в таких же количествах, Откачивают вакуумнуюкамерудодавлениянехуже2 10 торр

-5 (2,66 10 fla), Проводят нанесение слоя диоксида гафния, например, со скоростью

55 нм/мин оптической толщиной 62 нм (для

А- 248 нм). Затем производят нанесение фторида бария аналогичной толщины, Составитель A.Ãóðoâ

Техред M.Mîðãeíтал Корректор А.Осауленко

Редактор И.Горная

Заказ 3596 Тираж Подписное цН 4дПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035. Москва. Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский ком нзт Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, f01

Таким образом на подложку наносят требуемое число слоев, например семь, заканчивая процесс нанесением слоя с высоким показателем преломления — диоксида гафния, Далее на полученную интерференционную систему из семи слоев наносят слой диоксида кремния аналогичной толщины, например, со скоростью 70 нм/мин. За тем производят нанесение слоя оксида алюминия оптической толщиной, например, 310 нм, что соответствует 5/4 А (е == 2) для

А- 248 нм, со скоростью, например, 16 км/мин. Различив скоростей нанесения различных слоев обеспечивает создание различных структур слоев, что позволяет проводить прерывание сквозного роста пор в последующих слоях. В качестве веществ с высоким показателем преломления могут использоваться диоксид циркония, сульфид цинка и другие, а с низким показателем преломления — фторид магния, диоксид крем5 ния, содержащий 3$ по весу А120э и др.

Таким образом, полученное интерференционное покрытие имеет коррозионную стойкость во фтооиоующей среде на порядок выше, на 20 ";ь выше лучевую стойкость

10 и в 5 — 10 раз большую работоспособность, Формула изобретения

Интерференционное покрытие иэ чередующихся диэлектрических слоев с высоким пв = 1,8 — 2,3 и низким n< = 1,40 — 1,47

15 показателями преломления и оптической толщиной каждого, равной А/4, где А — рабочая длина волны, нанесенное на прозрачную на рабочих длинах волн подложку, причем первый и последний, считая от под20 ложки, слои — с высоким показателем преломления, о т л и ч а ю щ е е с я тем. что, с целью повышения корроэионной стойкости покрытия, оно дополнительно содержит нанесенные на покрытие слой диоксида крем25 ния оптической толщиной Л/4 и слой оксида алюминия А12Оэ оптической толщиной

2m+1

А, где m — целые числа от 1 до 4.