Раствор для травления кварца

Раствор для травления кварца

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛ ИСТИЧЕ СКИХ

РЕСПУБЛИК

1694501 А1 (я) С 03 С 15/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4621004/33 (22) 10,11,88 (46) 30,11.91, Бюл, М 44 (72) Э.Г.Раков, А.Е.Федоров, Д.Г.Купрюнин, М,В.Мелкумянц, Н.M.Áûñòðoâà и Л.П.Лаврищев (53) 666.1.053.63(088.8) (56) Патент Франции N 2320275, кл. С 03 С 15/00, 1977.

Патент Великобритании N 1285778, > кл. С 03 С 15/00, 1972, (54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ КВАРЦА (57) Изобретение относится к неорганической химии, в частности к составам раствоИзобретение относится к неорганической химии, в частности к составам растворов для травления, и может быть использовано для химической обработки изделий из кварца, используемых в электронной и оптико-механической промышленности.

Целью изобретения является повышение качества поверхности.

Испытания проводят на круглых образцах кварца с диаметром 7 мм с исходной шероховатостью Ra=0,1 мкм. Образцы помещают в раствор определенного состава и травят при определенной температуре. Значение шероховатости поверхности измеряют на профилографе-профилометре "Tallsurf — 6".

Конкретные составы растворов и их свойства приведены в таблице.

Раствор для травления к ва рца готовят следующим образом.

Пример. К 58 мл 50%-ной фтористоводородной кислоты приливают 10 мл изогептанола-1, добавляют 14,8 г фторида аммония

NH4F и доводят объем дистиллированной воров для травления, и может быть использовано для химической обработки изделий из кварца, используемых в электронной и механической промышленности. Целью изобретения является повышение качества поверхности. Для этого раствор содержит фторсодержащий компонент с концентрацией 2,0 — 21,0 моль/л и органический спирт с одной функциональной группой 0Н при длине углеводородного радикала С2 — С10 с концентрацией 0,3 — 13,7 моль/л. При использовании растворов укаэанной концентрации качество поверхности улучшается. 1 табл. дой до 100 мл, Полученный раствор с концентрацией ПАВ 0,9 моль/л при тщатель- С ном перемешивании нагревют до 75 С и помещают в него круглые образцы кварца с диаметром, pBBHblM 7 мм, с исходным значением шероховатости поверхности R>, равным 0.1 мкм, и травят при этой температуре в течение 0

30 мин. После этого образцы вынимают из раствора, тщательно отмывают горячей водой, .сушат, измеряют значение R на профилографе-профилометре, которое при этом составило

0,06 мкм, Формула изобретения

Раствор для травления кварца, включающий фторсодержащий компонент и органический спирт, от л и ч а ю шийся тем, что, с целью повышения качества, используют органический спирт с одной функциональной группой ОН при длине углеводородного радикала.

С2 — C10, с концентрацией 0,3-13,7 моль/л и фторсодержащий компонент с концентрацией 2,0 — 21,0 моль/л.

1694501

Результаты травления кварца

С оста е ра ст вора

Конце нт ра ция, моль/л

Значение Ra, мкм мкм до травления после трав" пения

5,8

1l,7

17,6

4,2

HF - Н»О - этанол

101 — Н»О - этанол

HF — H»O — этанол

HF — iIO:" "этанол

5,1

5,1

5.1

13,7

155 75 15 !

5,5 75 30

15,5 75 45

3 6 - 75 150

0,1

О 1

0,1

0,1

0,07

0,06

0,06

0,06

HF — NHpF — ЕЕ О: - метанол

40 90

6,03

0,1

0,17

3о

3о

0,06

0,05

2,3 15>5

1,9 !9,2

10,0

3,5

011

0,1

5,4

0,04

3,1 HF-90

Н!14НР» 7,6

0,1

llF — NHqfE -Н- Π— гекХ санол

6,7

0,08

011

4;6

0,06

HF -NH4F-НЕО- октанол

HF — NH4F -ͻΠ— деканол

HF - N H4F - H O - фе нол

0,1

l5

7,2

0,1

0,05

0,06

3,1

0,1

13,8.

0,06

75 90

50 30

HF — ͻΠ— пентанол .

Нг -НН4нг- ͻΠ— neH» танол

0,1

4 5 flF 6 О

НН41ЕР? IO,O

4,4 15,5

2,7 5 0

16,1

0,1

0,05

11,2

15,О

0,1

0,1 ч.

0,l

0,15

О, f5

HF - !1»О — глицерин

NH

HF -NBA- Н Е вЂ”, глицерин

2 7 HF 510

Н11,1Р 1,6

0,14

50 76

10,0

HF НН4Р H?O гли церин

27 НР

NHyF

75 52

l0>0 0,1

0,17

7,0

1,6

Составитель Т,Никульникова

Техред M,Ìîðråíòàë Корректор M.Максим ишинец

Редактор А.Маковская

Заказ 4123 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина. 101

flF — ͻΠ— метанол

NH4F — Н?О - пропанол

HF - Н?Π— бутанол

HF - H O — изобутанол

НЩШ >- HgO — пентанол

llF — N fI4ItT — ЕŠΠ— и зоЕ пентанол 1

Нà — ͻΠ— изогепта-. нол 2

Hl — Н»0 — гептанол

HF — ?!НАНЕ!- Н О вЂ” ren" танол

6,9 HF — 10

NH4F

10 0 10,0

3,9 20,0

7,8 !О,О

5,3 10,0

0,9 10,0

0,9 HF- 17,0

NH4HF< 4,0

5 5 HF 1>0

NH4 HFg 4,0

2,5 .НР 3 ° 0

НЕЕ4Р 2, О I >2 !ЕГ 2,0

NH4F 8,О

86 IIF 10

NHqF Е,O

1,8 20,8

20,3

10>1

4,4

4,2

10 3

15,4

011

011

0,1

0,1

0,1

0,1

О, 17

0,07

0,05

0,07

0,05

0,06