Пленочный датчик измерителя мощности свч
Иллюстрации
Показать всеРеферат
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 09.Ч1.1964 (№ 904890/26-9) с присоединением заявки ¹
: Приоритет
Опубликовано 17.1 I l.1965. Бюллетень № 7
Дата опубликования описания 12 Ч.19б5
Кл. 21а4, 71
Государственный
«омитет ло делам изобретений и открытий СССР
МПК G Olr
УДК 621.317.38(088.8) Автор изобретения
А. Е. Сергеева
Заявитель
ПЛЕНОЧНЫИ ДАТЧИК ИЗМЕРИТЕЛЯ МОЩНОСТИ СВЧ
Подписная группа № 89
Известна конструкция пленочного датчика измерителя мощности СВЧ, в которой пленочная термопара измеряет температуру металлического поглотителя через изоляционную,прокладку. Чувствительность такого датчика недостаточна, высокое сопротивление пленочной полупроводниковой термопары не позволяет применять в качестве измерительной мощности стрелочные приборы постоянного тока.
Предложенный пленочный датчик в отличие от известных выполнен следующим образом. На тонкую изоляционную подложку нанесен слой металла, покрытый изоляционной пленкой, на которую, в свою очередь, нанесен слой полупроводника, контактирующий с металлическим слоем в его средней части. В месте контакта слоев образуется спай термостолбика, состоящего из двух термопар.
На чертеже в двух проекциях изображен предложенный датчик, состоящий из изоляционной подложки 1, металлического слоя 2, изоляционной пленки 8, полупроводникового слоя 4 и электродов: металлических ветвей 5 и полупроводниковых 6. Высокоомный полупроводниковый слой выполняет роль положительных ветвей термопар, а низкоомный слой металла служит отрицательной ветвью и од5 новременно является основным поглотителем высокочастотной энергии.
Чувствительность пленочного датчика новой конструкции повышена в 40 — 80 раз по сравнению с известными, внутренее сопротив10 ление его понижено, что дает возможность применить в качестве измерителя мощности стрелочные приборы постоянного -тока.
Предмет изобретения
15 Пленочный датчик измерителя мощности
СВЧ, содержащий термопары, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности, на тонкую изоляционную подложку нанесен слой металла, покрытый изоляционной
20 пленкой, на которую, в свою очередь, нанесен слой полупроводника, контактирующий с металлическим слоем в его средней части, в месте контакта образуется спай термостолбика, состоящего из двух термопар.
169594
Составитель Э. Фролова
Редактор H. П. Белявская Техред T. П. Курилко Корректор Ю. М. Федулова Заказ 1022/8 Тираж 1200 Формат бум. 60X90 /ц Объем 0,13 изд. л. Цена 5 коп.
ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2