Устройство для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей

Устройство для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

С,1Г)к1 сОБГтскиx I (И:Ч1И((И СКИХ

РI (.ПУБЛИК

L: О з (LL:

Г.=:-: — - — 1

7

1 6 :.)) ! / .1Г» "...„., .,1 р 1

С

I ,К .,"

ГГ -.V ц; F (I-,,i I ц,I:,ë КО, ., Ит(:Т

ПС1 1,13(;.;.,--, I- MI !1;;, I, "! K;"Цт ИДЮ,,1 и и;:., ссс(, . 7 . .5.: °

;4;> :, (17 . ."; I,I=!Of! 1- !, (711(;;-Г,; I .:.::. 1-::.1ООСКОЕ О г,(О 436. -О:-:аJ

I y, О Г;,-,, 1 .,;,. г .

Г;, .. с Оп, !, !Pl !èñ в ll-. Pb (I . : I, Г;,:-.,:, .-:, «,лки (:! .<5 >

;и;,-р г з - т:1;;; -,,:< ..Е .. (-(1!, !3Kl18u

4 = .",, ) О .: соед:1.-:..- - ы; i è3 . ÓÄ Собой . - "=. 1:, а (В и::=.:- .. еаза низ(1 р- адвь11ке" (1 а а! .;Ое с 1он Г О =BMMÎÉ Hd ocиовании л,и вс:,,-;:: шестсП: —".: - взаи- 1оде .1ствующих !::. V, r".ëö.-","."i . ".".—:, :.. Ка(Кдаа рЕйКа

:К °;. О (. 1;авиа (. и: i!3 (il а""1О и VCTRiIF. в

- .=,-" M;; "":И:,Ца-:..:.:; Г ОСРЕДСтЧОМ .ИЛЛНДРИ:.;- (,:,, П,— =Г,Г1а,:: . ".(;(еи i (1сак o>Ki- ocтью .-.-Скц- !.,-.3ïðàâëÿþùèå

У С, .;-, Ppi -,i;„;.:;,,". 1, П1i MC ., -;:-,,с-О;(..., . —,О:; 1„ ;:- .:- ".,:10- .ИЕ ИЗДЕ- "-. т С-, г;- ."- Г,, О:> у О Г1 О 3 И !."-, Ю 2 . ("1 "и -:,;- ; ., - - 1: "-;::но:=,к„4 г;Ои(ЗО:"а р.-: ., -1„ ..,::, Г,,1ас,и .а оп(ск-,—

С,;;,:3;,(И,;. - ",:.. лна1 1И 3 и,::;-,:; С :ОДИ- -:,-ОабОтКа

ОЛ;C-,И,.;.,!OCP =,OO";;.1 ГЛа .è СО ШКИу;, ° t,; . c;!::M, . - o, 1!(!(F "B 1 còñÿ подве;: 3 18 в:иес;е с, Р !,- котооьй вааиР,,1,-.алЦ(те, Ет Г .<(.., (,; 1-. „1(1,,1 КО11,,Оа(ИИ И (1ОД"

M!,"К(аЕ1 !!,4 "Г1,, -!,. ".. - ".:. 3l» 3!РЧаотсЛ П 2ИВОД.(О,oq, ..;;-:: .;--, В 19 и есемещает ( О

О Р В !. ((3

Щ

Д

1 !

1696354

Изобретение относится к транспортирующим устройствам, может быть использовано в полупроводниковом производстве для подачи полупроводниковых пластин и фотошаблонов на позицию обработки и яв- 5 ляется усовершенствованием устройства по авт ..св. К". 1046177, Целью изобретения — повышение надежности работы устройства.

На фиг,1 изображено описываемое уст- 10 ройство, вид сверху; №а фиг.2 — разрез А-А на фиг.1; на фиг,3 — разрез E-Б на фиг,l; на фиг,4 — вид B на фиг.2.

Устройство для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских дета- 15 лей содержит основание 1, рабочую позицию 2, ведомые 3 и ведущие 4 шкивы в виде роликов, попарно соединенные между собой планками 5 и 6. сгибаемые транспортирукнщими шнурами 7 и 8. Планки 5 и 6 20 снабжены натяжными роликами 9, ведущие шкивы 4 — эластичными кof\üöaìè 10. На основании 1 в горизонтальной плоскости перпендикулярно плоскостям 5 и 6 смонтированы цилиндрические направляющие 11 25 и 12 и ось l3. На направляющих 11 и 12 смонтированы цилиндрические зубчатые рейки 14 и 15, сопряженные с шестерней 16, закрепленной "a валу электропривода 11.

На зубчатых рейках 14 и 15 жестко закреп- 30 лены планки Б.п 6. Транспортные шнуры 7 и

8 име от механизм подьема и опускания, выпог;ненный в виде смонтированной на оси 13 вилки 18, на которой установлен тонвал

19, снабжен- ый шкивом 20. Вилка 18 снабжена35 плоской пружиной 21, на которую воздействует посредством регулируемого упора 22 кулачок 23, закрепленный на валу электропривода 24. Шкив 20 соединен со шкивок

25, закрепленным HB валу электропривода 40 26 гибким шнуром 27, На планках 5 и з установлень; регулируемые упоры 28, а нэ кронвлейнах 29 — - регулируемые упоры 30, Злектропривод 26 является приводом транспортных шнуров 7 и 8, 45

Устройство работает следующим обраВ0М.

В исходном положении кулачек 23 свсим большим радиусом Обращен к регулиру- 50 емому упору 22, при этом вилка 18 повернута вокруг оси 13 в верхнее положение, тонвал 19 взаимодействует с эластичными кольцами 10, а план "è 5 и 6 установлены в верхнее положение, ограни- 55 чен нов регулируемым упором 30. Регулиру-. емым упором 22 установлено усилие деформации плоской пружины 21, определяющее усилие прижатия тонвала 19 к эластичным кольцам 10 ведущих шкивов 4. н

Верхние образующие транспортирующих шнуров 7 и 8 располагаются выше плоскости рабочей позиции 2, а расстояние между ними меньше габаритного размера транспортируемого иэделия.

Изделие, например полупроводниковая пластина, из кассеты (не пока-,ана1 загрун<ается на транспортирующие шнуры 7 и 8 и перемещается на них до совмещения c pBбочей позиции 2, представляющей собой, например, ротор центрифуги, после чего электропривод 26 отключа от и вкл,очаюг электропривод 24. При этом кулачок 23 поворачивается на 180, вследствие чегс вилка 18 под действием гибкого шнура 27 опускается, проворачиваясь вокруг оси 13

fIO вЫхода ИЗ I

При этом. Закрег1ленные на рейках 14 и 15 планки 5 и 6 вместе с ведомыми 3 и ведущими 4 шкивами и транспаотирующими шнурами 7 и 8 ряздвигaioTcR и выходят из зон;.I обоаботки. Рабочая позиция 2 закрывается специальным колпаком (не показан), под которым производится технологи еская операция, например проявление или нанесение фоторезиста, По истечении времени обработки колпак снимают и включают электропривод 17 в обратном направлении. Планки 5 и 6 перемеща атся по í "ïðàâëÿþùèì 11 и 12 и оси 13 до положения, при котором транспортирующие шнуры 7 и 8 Оказываются под обрабатываемым изделием, после чего электроп ривод 17 выключают и включают электропривод 24.

Кулачок 23, поворачиваясь на 180", воздействует на вилку 18, поворачивая ее вверх оси

13. При этом тонвал 19, воздейству":-, на эластичные кольца 10, поворачивает планки 5 и

6 вокруг направляющих 11 и 12,гс за -:ятия планками 5 и 6 положения, oпределяе:;loIo регулируемым упором 30, то г вал l9 вступает в контакт с эластичнь|ми коль а 4Ii 10, а транспортирующие шнуры 7 ь 8 под . и:ают изделия с рабочей позиции 2. Включается электропризод 26, который через гибкий шнур 27 приводит во вращение тонвал, 19 n посредством эластичных колец 10 — ведущий шкив 4, При этом изделие подается с приемную кассету, а очередное изделие 1з подающей кассеты поступает ni транспортирующие шнуры 7 и 8 (касce;ы ".å показаны). Цикл повторяется.

1б9б354

Формула изобретения

Устройство для транспортирования и подачи на рабочую позицию плоских деталей по авт,св,N 1046177, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью повышения надежности в работе устройства, оно снабжено установленными на ведущих шкивах эластичными

71 1 11 g кольцами, при этом механизм подьема и опускания транспортных шнуров выполнен в виде смонтированной на основании приводной двуплечей поворотной вилки с уста5 новленчым на ней с возможностью взаимодействия с эластичными кольцами тонвалом, связанным с приводом транспортных шнуров

/ /

С" j

-Ä" 1 1 5

I °

4

1

°

1-, .

1"

) (1

Й юю,р q, t

f ! .1:

l р / у

: i

I ( ( (Со(,,3 siт irlь, . . .::. :.. ОБ

fЕ" l) r1 Ь." ы(" ", д -. г >,. ;, : :,4 !,; (- :—; .;. с (; Д:,, Редактор Н,Химчук

Г : jQЯ $>QЦГТГ -, Н: Г)- !i,;. )!> ч " (Äp .;, (;: \:: Г 1М, - :,, 1, 1Т, -); ., у,, . 5 (),," Н .,,, (...! :, За;(аз 4270 И()ЯЖ : 3) Г! Ы С Н 0 P..

ВНИИП И t 0С11ДЗОСТБВг Н )И. 1: Oi :! i "-. I :-с > !u () !, i :- : . < -. le.". - I . : .<3ЫТ i. " ji: -, . . ..Р