Вакуумный затвор

Вакуумный затвор

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к вакуумной технике, может быть использовано в различных вакуумных системах в качестве запорной арматуры и предназначено для разъединения откачиваемых объемов от средств откачки, в частности в вакуумных системах электронных микроскопов и других вакуумных установках для исключения попадания воздуха или других газов в откачиваемый объем. Цель изобретения - повышение надежности путем улучшения герметичности. Вакуумный затвор содержит корпус 1 с седлом, запорный элемент 2, снабженный толкателем 3, и привод его перемещения , выполненный в виде тонкостенного стакана 4 с прорезями 5 на боковой поверхности изготовленного из материала с термомехачической памятью формы и размещенный внутри каркаса 6 воздушного охлаждения При этом привод подключен к нагревателю и соединен с толкателем 3 1 з п ф-лы 1 ил

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСГ1УБЛИК (s»s F 16 J 13/00, 13/14

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4769687/29 (22) 09.11.90 (46) 15.12.91. Бюл. N- 46 (71) Сумское производственное объединение "Электрон" (72) С.Д.Прокошкин, Т.В,Морозовв, А.И.Никифоров, В,П,Дубовенко и В.Л.Костроменко (53) 621.646 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 551166886600,, кKIл1, F 16 J 1Э/16, 1974. (56) ВАКУУМНЫЙ ЗАТВОР (57) Изобретение относится к вакуумной технике, может быть использовано в различных вакуумных системах в качестве запорной арматуры и предназначено для разъединения откачиваемых объемов от

Изобретение относится к вакуумной технике.

Известен вакуумный затвор с крышкой, подвешенной к откидной траверсе на упругих элементах.

Недостатки известного затвора связаны с его низкой надежностью в.связи с постепенным изменением в процессе работы характеристик упругих элементов. Работа данной конструкции трудно поддается автоматизации и управлению с помощью ЭВМ.

Целью изобретения является повышение надежности путем улучшения герметичности.

Укаэанная цель достигается тем, что затвор снабжен нагревателем с каркасом воздушного охлаждения, а запорный элемент— толкателем, причем привод выполнен в BM де тонкостенного стакана с прорезями на

Ä 5U 1698554 А1 средств откачки, в частности в вакуумных системах электронных микроскопов и других вакуумных установках для исключения попадания воздуха или других газов в откачиваемый объем. Цель изобретения — повышение надежности путем улучшения

re рметич ности. В а куум н ый затвор содержит корпус 1 с седлом, запорный элемент 2, снабженный толкателем 3, и привод его перемещения, выполненный в виде тонкостенного стакана 4 с прорезями 5 на боковой поверхности, изготовленного из материала с термомеханической памятью формы и размещенный внутри каркаса 6 воздушного охлаждения. При этом привод подключен к нагревателю и соединен с толкателем 3. 1 з.п, ф-ль, 1 ил. боковой поверхности, изготовленного иэ юе ° материала с термомеханической памятью формы, размещен внутри каркаса воздушного охлаждения, подключен к нагревателю О и соединен с толкателем запорного элемен- 00 та. Стакан при этом термообработан на пря- (л мой и обратной фазовые переходы {Я мартенсит — аустенит и при резистивном ф прогревании его импульсами электротока он изменит свою форму (с цилиндрической на бочкообразную), открыв затвор. При остывании стакана до температуры ниже начала фазового перехода в нем произойдет возврат его формы к цилиндрической и затвор закроется. Для создания требуемого усилия прижатия тарелки к седлу используются наборы прокладок, а для подпружинивания запорного элемента к седлу и для герметизации применен сильфон.

1698554

На чертеже представлен вакуумный затвор в закрытом положении, разрез.

Устройство включает в себя корпус 1 с размещенными в нем запорным элементом

2 и толкателем 3. Привод выполнен в виде тонкостенного стакана 4 из материала с памятью формы, имеющего вертикальные прорези 5 на боковой поверхности. Стакан

4 размещен внутри каркаса воздушного охлаждения 6 с вертикальными окнами 7 и электрически связан с источником электроимпульсов (на чертеже не показан). Устройство включает в себя также сильфон 8 и наборы регулирующих прокладок 9.

Устройство работает следующим образом, При цилиндрической форме тонкостенного стакана 4, имеющего температуру окружающего воздуха, плотно закрывают проходное отверстие затвора запорным элементом 2 (развивая требуемое усилие) и фиксируют стакан 4 подбором прокладок 9.

Таким образом, нормальное положение затвора — закрытое, При необходимости открыть затвор стакан 4 резистивно прогревают импульсами электротока, поднимая температуру стакана до начала фазового перехода в нем. Плавность перемещения элементом вверх от седла регулируют изменением параметров греющего тока, По мере прогрева стакана 4 его форма меняется на бочкообразную, что приводит к перемещению элемента 2 вверх и, соответственно, к открытию затвора, При необходимости закрыть затвор отключают электропитание. Поскольку боковые стенки бочкообразного стакана 4 получаются.как бы выполненными из отдельных тонких полос, далеко отстающих друг от друга (а значит, хорошо вентилирующихся) и приближенных к окнам 7 каркаса 6, происходит их быстрое охлаждение на воздухе до темпера-

5 туры ниже точки фазового перехода (за несколько секунд, с одной стороны, за счет тонкостенности стакана, с другой — за счет высокой температуры фазового перехода, приближающейся к 200 С). Переход стака10 на 4 от бочкообразной формы к цилиндрической осуществляется в начальной стадии быстро, а в конечной стадии медленно. что важно для исключения удара тарелки о посадочное седло затвора и для ускоренного

15 (в начальной стадии) перемещения запорного элемента 2 (в данном случае вниз).

Формула изобретения

1. Вакуумный затвор, содержащий корпус с седлом, запорный элемент и привод

20 его перемещения, отл ича ю щийс я тем, что, с целью повышения надежности путем улучшения герметичности, затвор снабжен нагревателем с каркасом воздушного охлаждения, а запорный элемент — толкате25 лем, причем привод выполнен в виде тонкостенного стакана с прорезями на боковой поверхности, изготовлен ного из материала с термомеханической памятью формы, размещен внутри каркаса воэдуш30 ного охлаждения, подключен к нагревателю и соединен с толкателем запорного элемента, 2. Затвор по п.1. о т л и ч а ю щ и и с я тем, что он снабжен регулирующими про35 кладками, размещенными между каркасом воздушного охлаждения и стаканом, и сильфоном, при помощи которого запорный элемент псдпружинен к седлу.

1698554

Составитель А. Никифоров

Техред M. Ìoðãåí Tàë Корректор Э,Лончакова

Редактор М.Циткина

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул;Гагарина, 101

Заказ 4381 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва,Ж-35, Раушская наб., 4/5