Электростатический энергоанализатор с угловым разрешением

Электростатический энергоанализатор с угловым разрешением

Реферат

Изобретение относится к устройствам для анализа распределения заряженных частиц и может быть использовано при физико-химическом анализе твердого тела в вакууме. Целью изобретения является сокращение времени измерений путем обеспечения независимой и плавной регулировки границ обоих линейных углов собира1- ния энергоанализатора. Изобретение значительно расширяет функциональные возможности энергоаналнзатора за счет не только исследования свойств поверхности образцов, но и осуществления , послойного контроля распределения элементов без разрушения исследуемых образцов, так как в процессе анализа не требуется разрезать образец и приготовлять косой патиф ипи стравливать каждый последующей елспг. 3 ил. Q S