Способ вариации цветом свечения сублимат-фосфора из сульфида цинка

Способ вариации цветом свечения сублимат-фосфора из сульфида цинка

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к технологии сублимат-фосфоров на основе сульфида цинка, используемых в тонкопленочных электролюминесцентных индикаторах переменного тока (ТЛЭЛИ). Цель - увеличение срока службы индикатора и расширение цветового тона излучения сублимат-фосфора. Готовят подложку из утекла с покрытием из оксида оловаэ прошедшего фотолитографию для формировання прозрачных электродов ТЛЭЛИ требуемой конфигурации. Осаждают на подложку первый диэлектрический слой из твердого раствора ,, затем проводят осаждение сублимат-фосЛора из сульфида цинка, активированного фторидом марганца в пределах 0,5- 2,0 мас.%, после чего осаждают второй диэлектрический слой из того же материала . Далее Нормируют алюминиевый контакт. При изменении частоты приложенного напряжения от 50 Гц до 15 кГц наблюдают изменение цвета свечения ТПЭЛИ от красного до желтого в пределах длин волн 585-644 нм. Срок службы индикатора, характеризуемый временем, за которое яркост индикатора падает до уровня 50% от начального значения, составляет около 250 ч, в то время как для прототипа ч. 1 з.п. ф-лы, t габл. (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5,)5 С 09 К 11/56

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4463861/26 (22) 26.07.88 (46) 23. 12. 91. Бюл. 9 47 (71) Одесский политехнический институт (72) Ю.Г.Сухарев и С.Ю.Антонов (53) 621. 3. 032. 35: 546. 221 47 (ОЯЯ. Я) (56) Tanaka Н. Thin f ilm multicolor

electroluminescent devices with à Яа—, te layer, Jut. Display.Res ° СонГ.

Sun.Diего, California, 1985, р. 1p — 17.

;(S4) СПОСОБ ВАРИАЦИИ ЦВЕТОК СВЕЧЕНИЯ

СУБЛИИАТ-ФОСФОРА ИЗ СУЛЬФИДА ЦИННА (57) Изобретение относится к технологии сублимат-фосфоров на основе сульфида цинка, используемых в тонкопленочных электролюминесцентных индикаторах переменного тока (ТПЗЛИ). Цель— увеличение срока службы индикатора и расширение цветового тона излучения сублимат-фосфора. Готовят подложку из текла с покрытием из оксида олова, Изобретение относится к технологии люминофоров, а именно к способу вариации цветом свечения сублимат-фос.фора из сульфида цинка, используемого в тонкопленочных электролюминесцентных индикаторах переменного тока.

Целью изобретения является повьппение срока службы индикатора и расширение цветового тона излучения сублиматфосфора.

Способ осуществляют следующим образом.

Пример. Готовят подложку с та-копроводящим прозрачным в видимой час„SU 1700047 А 1

4 прошедшего фотолитографию для dropmtрования прозрачных электродов ТЛЗЛИ требуемой конфигурации. Осаждают на подложку первый диэлектрический слой из твердого раствора НгО 0 тем проводят асажденке сублимат-фосфо— ра кз сульфида цинка, активираванного фторкдам марганца в пределах 0,52,0 мас.7., после чего осаждают второй дкэлектркческкй слой кз того же материала, Далее формируют алюминиевый контакт. Прк изменении частоты прилаженного напряжения ат 50 Гц до

15 кГц набгподают изменение цвета свечения ТПЗЛИ ат красного до желтого в пределах длин волн 585-644 нм, О

Срок службы индикатора, характеризуемьп временем, за которое яркост:> инди- катора падает до уровня 50K от начального значения, составляет окало

250 ч, в то время как для прототипа

1а2 ч. 1 з.п. ф — лы, i .абл.,ти спектра покрытием из оксида олова.

Затеи правоцят фотолитографию по слою оксида алова с целью формирования празра ных электродов требуемой конфкгурапки. После этага подложку совмещают с биметаллическим трафаретом и закрепл.-,.:от B падложкадержатель вакуумной установки, после чего откачивают рабочий объем установки до давления 1,3 ° 10 Па и нагревают подложку до 150 С.

Затеи осаждают на подложку первый диэлектрический слой из твердого раствора НЕОН-У 0 прк эпектронно-луче1700047 цпм т)3апс<(3орл(я тором „

1(оординаты цветности

Ц13ето в<зй тон нм

СВ РЧ(1НИЯ а к Т1п3;1 Т <1р (1 мар гяппя

В СОСТЯI<Р пряженпя

Возбужде— нив, ГII (суб:1им<1тфосф<>РЯ, мя<.. Ъ

0,67

0,61

0,57

0,58

0,67

О, 3uI

О, 37

0,u1

0,43 п З0

5()0

5(300

15(100

Г 0

0,5

0 5

0,5

1,:

607

598

5 (} 3

620 вом нягреве исходного материала. Режимы испарения: удельная 1.!оп(иост! в п(.парителе 800-900 Вт/см, скорость

Осаждения слоя 20-80 нм/мпн темпера5 тура подложки 150 С. Толщина полу— ченного слоя 300 нм. ,(ялее, не производя развякуумирова— ния рабочего объема, осуществляют замену тигля с диэлектрическим материя- 10

3I11H В испярит еле ия THI" Рль с (ублима тфосфоро I Уг< S: %(1 (1, 5 мяс. 7, ).,11анесеп)<е сублимят-(11ос<ЪОря ня подложку проводят также посредством электроннолуч е н cl г О и (.! I яр е н 11 я Б 33 а к $ у м(. п р и сл Р

Дующих режимах: удельная мощность в

1(спар((теле 150-200 Вт/см ; Lêîðîñòü осаждения 30 — 40 пм/мин; температура и

Подложки ?50 (, . Толщина полученного

Слоя 600 нм.

После нанесения слоя лк1мииофора о

: (3од11ожку охлаждают до 150 С и после

Замены тигля с сублимят-фо с<Ьор ом на тигРль с T13(3рдым раствОром IIf 0у у F) осаждают второй диэлектрический слой, 25

;....:я

Зятем извлекают подложку из вакуумной камеры, сонм<.щяют с трафаретом д11я Ос(lждpпия пр Отиво э пектр Одов . Hpо

T1IHoDII(1l(T1lоДы ItB jloc .Ят В 13ЯI(УУмнои „.с 30 тяновке пу.г .м исг(аренпя алюминия марки А 99.

После этого як<ивную часть сформирова<гиого тякйм Образом электролюминесцентногг 1(пдикяторя герметизируют стеклянной пластинкой с помощью герметик;3 на ОснО13(3поксlц(ИОЙ смОлы и ими, дозоля .

После герм("l H <яцип с II!M(311(hj<3 кОИ тактной рамки к электродам индикатора,30 подключают сипусоидял1 ное возбуждающеее напряжение ямплптудой 150-? 50 В от гРне)3ято11я тHII;I 1 8-109 с пов(гщаю!

Кони((IITp;l I(IIII jul(:тО гя ия

При изменении частоты сипусоидального напряжения возбуждения от 50 Гц до 15 кГц визуально наблюдают изменение цвета свечения индикатора от красного до желтого. НрН этом диапазон изменения цветового тона соста13ляет 591—

620 нм, в то время кяк д.(я сублиматфосфора в электролюминесцентном индикаторе по известному способу он составляет 562-588 нм, Кроме того, способ вариации цветом свечения сублиматфосфора по изобретению позволяет повысить срок службы индикатора с

132 ч для известного способа до 750 ч за счет отсутствия барьерного слоя, В таблице представлены данные по диапазону изменения цветового тона индикаторов, полученных на основе сублимат-фосфора по изобретению при различных составах люмино<Ьоря и режи— мах возбуждения его свечения.

Ф о р м у л а и з о б р е т ения

1. Способ вариации цветом свечения сублимят-

2.Способ поп. l,отличаю— шийся тем, что частоту перемени о го напряжения в процессе воз буждения изменяют от 50 Гц до 15 кГп.

1700047

Продолжение тнблицы

ttýåòîHoA тон нм

Координаты цветности

Частота на свечения пряжения возбужцения, Гц

Составитель В. Божевольнов

Техред Л.Сердюкова Корректор А. Обручар

Редактор С. Пекарь

Заказ 4443 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям нрн ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.. д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,101

Концентрация активатора— марганца в составе сублиматфосфора, ма с. 7.

1,5

1,5

1,5

2,0

2,0

2,0

2,0

500

5000

15000

500

5000

15000

0,65

0,60

0,57

0,68

0,69

0,62

0,62

0,32

0,35

0,39

0,28

0,29

0,35

0,35

613

5g1

633

626

604

604