Устройство для получения металлосодержащих пленок из паров химических соединений

Устройство для получения металлосодержащих пленок из паров химических соединений

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к нанесению покрытий в контролируемой атмосфере и может быть использовано для получения металлсодержащих пленок из паров химических соединений, Цель изобретения - повышение качества покрытий путем обеспечения равномерного нагрева и распределения газовой смеси. Устройство включает корпус 1 .который подключен к вакуумной системе, имеющей питатель 5 для ввода реакционной газовой смеси, в корпусе расположен соединенный с приводным механизмом держатель 2 с укрепленной на нем подложкой в виде диска 3, нагреватель 4, Держатель 2 выполнен в виде горизонтально установленного стержня, на котором перпендикулярно его оси укреплена подложка , при этом с противоположных сторон от оси стержня, параллельно плоскостям диска-подложки снизу установлен нагреватель 4, а сверхупитатель 5 газовой смеси. Устройство может быть использовано для получения монои полиметаллических оксидных , карбидных и других пленок для жестких магнитных дисков для записи и воспроизведения звуковых сигналов и види-. мого изображения, 1 ил. (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ж

С:! Ю С)

C) О аавЪ (21) 4764505/02 (22) 04,12.89 (46) 23,12.91. 6юл, ¹ 47 (71) Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементорганических соединений, (72) А,А.Уэльский, В.Г.Сыркин, В.А.Персиянцев, И.С,Толмасский, А,Н.Соцков, А.И.Горбунов и В.Н,Францев (53) 621.793,14(088.8) (56) Заявка Японии № 63-134663, кл. С 23 С 16/44, 1988, Заявка Японии ¹ 62-177178, кл, С 23 С 16/18, 1986. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ МЕТАЛЛСОДЕРЖАЩИХ ПЛЕНОК ИЗ ПАРОВ

ХИМИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ (57) Изобретение относится к нанесению покрытий s контролируемой атмосфере и может быть использовано для получения металлсодержащих пленок из паров химических соединений, Цель изобретения — по„, SUÄÄ 1700097 А1 вышение качества покрытий путем обеспечения равномерного нагрева и распределения газовой смеси. Устройство включает корпус 1,которь|й подключен к вакуумной:системе, имеющей питатель 5 для ввода реакционной газовой смеси, в корпусе расположен соединенный с приводным механизмом держатель 2 с укрепленной на нем подложкой в виде диска 3, нагреватель

4, Держатель 2 выполнен в виде горизонтально установленного стержня, на котором перпендикулярно его оси укреплена подложка, при этом с противоположных сторон от оси стержня, параллельно плоскостям диска-подложки снизу установлен нагреватель 4, а сверху - питатель 5 газовой смеси.

Устройство может быть использовано для получения моно- и полиметаллических оксидных, карбидных и других пленок для жестких магнитных дисков для записи и воспооизведения звуковых сигналов и види-. мого изображения, 1 ил.

1700097

Изобретение относится к аппаратам для получения металлсодержащих пленок из паров химических соединений и пред.назначепа для получений IVIGHG.. и полиметаллических Оксидных, ка()бидных и др> ги."< пленок для жестких магнитных дисков для записи и воспроизведения ЗВукавых сиГналов и видимого изображения.

Цель изобретения - повышение ка lee tва пленок путем Обе- печения равнамернага нагрева и распределения газовой смеси, На чертеже представлена схема предлагаемого устройства, Устройства содержит карг.,с 1, OTåpжень-держатель 2 диск-подложку 3, еаГреватель 4, питая ель 5 г3ýoeot>I смеси, Отверстие 6 предн:";зчачена Для выводя реакционных газов.

НЗГpeBBTBflb ма,t

СОСТавом ГВЗОВой СМЕСИ, КОЛИЧССТВОМ Подаваемых реагентов, скоросп,iî Вращения диска пОДлажки и др. Питатель Газовой смеси может быть Выполнен В виде i/-образной трубки или KGHyc8 с GTBBpcтиям ri co сТароны, обращенной к плоскости Диска, Нагревательное устройство и питатель

Обеспечивают Двусторонний наГрев и ПОДВЧУ ПЙРОЗ МЕТВЛЛСОДЕР?Кащи. < COBP!iiIIBI- K каждой из двух сторон диска-пад/1ам<ки,,Движение t I3poe метал/3садер>м:вщих химических с<>единений Внутри ВГ! Па рата Осуl öeствляется с помощью неглубакога вакуума (фарвакуума ). Подачу паров в аппарат производят из термастатируемых /30затарав.

Рсгули(308 :.3 нагрева Осугдсствляется с памащыа автатрансфарматорав, Предлагаемая конструкций апггарата имеет ряд о гличий ат известного; дер><атель

Выполнен в виде ст<," м<ня; г противап,>лаж ных старОн ат Оси держателя (c/ep>K, : я/ параллельна плоскостям Диска-подложки установлены нагреватель и питатель паров металлсадерм<аших соединении

Можно предполо>кить, чта происходит более усредненный равномерный нагреь всей поверхности подла>кки за счет радлаЦИОНННОГО и КОНВЕКЦ№ЗНН >П3 ПотОКОВ ГIPh многократном прохождении диска-подложки через нагревате/1 ь.

Используемый как в изве тном, так и В бытующей Iltp8KTviKB (3езис Гиен ый I QHтактнь:й нагрев падло>кек BQ Всех без исключения случаях неспособен абеспечи3 усреднения GKopocòè теплаваto движения злекгронав и равномернога

1 !5 \ 0

25 с0

4/)

135 прогрева в силу наличия отрицательного

"аффекта витка" (неравномерного прогрева ка?<дога из витков спирали нагреВателя),.

Пример, Подложка-диск из сплава ал оминия с магнием диаметром 130 мм, толщиной 2 мм крепится на цилиндрическом держателе перпендикулярна ето оси, Павле герметизации аппарата в последнем создают Вакуум 2 10 мм рт, ст„включа о; нагреватель и вращение диска-подложки

cQ скоростью 2,0 аб/млн, При достижении температурь! подложки 190 < через распределительное питательное устройство вводят пары пентакарбанила железа =е(СО) в количестве 1,0 t на операцию. В момент ввода паров давление В реакторе увеличив8ется Да 1 10 мм pT,ñò, Соприкасаясь с нагретой подложкой, пары Fe(CO)s диссациируют, образуют на ней магнитный железосадер>кащий слой, состоящий из структурированного Fe, содержащего карбид железа ЕезС и -месь оксидов железа

Ге20з и ЕезО, Э/1ект(3онна-микроскопический анализ на сканирующем микроскопе позволяет установить Высокую pGBHOMBpHGGTb образовазшейся магнитной пленки. Изменение м-,.ãíèòíûõ свойств полученного магнитного диска показывает, что коэрцитивная сила Нс = 608 Э, остаточная намагниченность

)г == 710 Гс, коэффициент прямаугольности

KiI > 0,91. Плотность записи tip!/t 3TGf4 состаВляе3 -- 3185 бит/ММ2. Эти параметры значительна превышают таковые для диска, полученного в известном аппарате и в других методах, используемых для создания рабачега металлсодержащего магнитного слоя, Известное устройство имеет более низкие параметры (i-I<: >

Таким образом, предлагаемая конструкция аппарата обеспечивает равномерный нагрев подложки и равномерное распределение реакцианнага газа, что приводит к улучшению качества получаемых пленок, 8 зта Выражается В паВышнии зна чений злектромагнитнь х параметров,, преимущестВенна Нс и П на 20 /Ь. формула изобретения

Устройства для получения металлсодержащих пленок из паров хлмических соединений, содержащее корпус, подключен и ый к вакуумной системе, питатель для ввода реакционой газовой смеси, держатель пОдлОжки, соединенный с приводом, нагреватель и подложку В виде диска, о тл и ч а lo щ е е с я тем, что, с целью ., Овышения качества и/. енок пу ем абеспе1700097

Составитель Л,Груднева

Редактор Н. Бобкова Техред М.Моргентал Корректор С,Черни

Заказ 4445 Тираж ° Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101 чения равномерного нагрева и распределения газовой смеси, держатель выполнен в виде горизонтально. установленного стержня, на котором перпендикулярно его оси укреплен диск, при этом с противоположных сторон от оси стержня симметрично относительно плоскостей диска установлены нагреватель и питатель газовой смеси.