Способ изготовления корпусов гибридных интегральных схем

Способ изготовления корпусов гибридных интегральных схем

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для изготовления гибридных интегральных схем из материалов, вступающих в контактно-реактивное плавление. Цель изобретения - повышение герметичности и точности геометрических размеров корпуса. Способ предусматривав г изготовление заготовок из металлического материала (титана), из которых одна пара заготовок имеет рельефную поверхность концевых граней, сборку заготовок на оправке, сжатие заготовок и пропускание тока с использованием шунтирующих вставок. Новым является покрытие остроконечных торцовых поверхностей металлом (никелем), образующим с основным металлом (титаном) эвтектику. Самый верхний участок рельефа в месте касания со свариваемой стенкой оставляют непокрытым, э сверху осуществляют нагрев одновременно всех четырех швов одним коротким импульсом электрического тока 3 ил.

,4Ф ж 74Ф, СОГОЭ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

;5П5 Н 01 1 21/48

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ СИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4713636/21 (22) 04.07.89 (46) 23.12.91. Бюл, М 47 (72) А.А.Вовк и B,Н.Андреичев (53) 621.3,396(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 868893, кл, Н 011 21/96, 1973, (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОРПУСОВ

ГИБРИДНЫХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ (57) Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для изготовления гибридных интегральных схем из материалов, вступающих в контактно-реактивное плввление, Цель изобретения— повышение герметичности и точности геоИзобретение относится к электронной технике и может быть использовано для изготовления гибридных интегральных схем в металлических герметичных корпусах из материалов, вступающих в контактно-реактивное плавление.

Цель изобретения — повышение герметичности и точности геометрических размеров корпуса.

На фиг.1 приведена схема конструкции корпуса; на фиг,2 — разновидности рельефных поверхностей концевых граней пластин, несущих частичное покрытие металлом (показан штихпунктирной линией), образующим с основным металлом эвтектику; на фиг.3 и 4 — схема соединений пластины с помощью сварного шва и его герметизации за счет эвтектики, Способ осуществляют следу,ощим образом.

„„S U, 1700640 А1 метрических размеров корпуса, Способ предусматривает изготовление заготовок из металлического материала (титана), М3 которых одна пара заготовок имеет рельефную поверхность концевых граней, сборку заготовок на оправке, сжатие заготовок и пропускание тока с использованием шунтирующих вставок. Новым является покрытие остроконечных торцовых поверхностей металлом (никелем), образующим с основным металлом (титаном) эвтектику. Самый верхний участок рельефа в месте касания со свариваемой стенкой оставляют непокрытым, э сверху осуществляют нагрев одновременно всех четырех швов одним коротким импульсом электрического тока, 3 ил.

Изготавливают ззготовки граней 1 и 2 корпуса из листового металлического материала, например титана. На боковых гранях

2 формируют торцевые остроконечные профили 3 и 4. На торцевые остроконечные профили заготовки 2 боковых граней наносят металлическое покрытие 5, образующее с материалом заготовок эвтектику. Затем перед сборкой удаляют с вершин профилей покрытие. Сборку корпуса проводят на оправке 6, зажимая заготовки между электродами 7 и 8. При этом устанавливают шунтирующие вставки 9 и 10, пропускают

—;ov, по образовавшейся цепи между электродами 7 и 8 в виде короткого импульса продолжительностью 2 — 3 с в защитной среде.

При достижении температуры образования эвтектики, например, никель-титан, происходит оплавление боковых поверхно1700640 стей остроконечных профилей. Одновременно с разогревом на острие профиля действует приложенное к электродам давление. . В процессе сварки (через непокрытые участки) и осадки вытеснений на периферию расплав собирается в углублении фаски (фиг.3) или образует галтель (фиг.4).

Осаженный остроконечный профиль об; разует после сварки монолитное соедине ние со стенками корпуса.

Предлагаемый способ сварки полностью сохраняет геометрию пластин и корпу. са в целом за счет распределения, симметричных тепловых нагрузок одновременно по всем четырем швам. За счет сварки в местах со снятым покрытием и пайки эвтектикой на периферии сварного шва обеспечивается получение наиболее прочного и герметичного шва. Вследствие одновременной сварки 4-х швов и отсутствия

; необходимости механической обработки швов после сварки (отсутствуют наплывы на швах и на входе и на выходе электродов) значительно повышается производительность труда; технологический процесс может быть автоматизирован, Формула изобретения.

5 Способ изготовления корпусов гибридных интегральных схем, включающий изготовление заготовок граней корпуса йз листового металлического материала, нанесение на заготовки боковых граней металли10 ческого покрытия, образующего с материалом заготовок эвтектику, сборку заготовок на оправке,! нагрев и вЫдержку до соединения, отличающийся тем, что, с целью повышения герметичности и точно15 сти геометрических размеров корпуса, при изготовлении боковых граней корпуса торцевые поверхности граней формируют с остроконечным профилем, после нанесения металлического покрытия с вершин остро20 конечного профиля снимают покрытие, а нагрев осуществляют одновременным пропусканием импульса электрического тока через все места соединений граней при одновременном прижатии граней в местах

25 соединений, Составитель С. Манякин

Редактор H. Лазоренко Техред М.Моргентал Корректор Q, Кундрик

Заказ 4472 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101