Автомат для травления

Автомат для травления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

l70I23

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Е АВ 1 ОРСЫОМУ СВИДЕТЕйЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 15.I I.1963 (№ 819155/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 09.IV.1965. Бюллетень № 8

Дата опубликования описания бЛ",1965

Кл. 21g, 11ох

Государственный комитет ло делам изобретений и открытий СССР

УДК г

Авторы изобретения Ф. Х. Набиуллин, Е. M. Герцик, М. С. Сладков, С. Ш. Шлионская и

В. М. Долгов

Заявитель

АВТОМАТ ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ

Подписная группа Л8 97

Известно использование в различных устройствах и приспособлениях для переноса, фиксации и подачи деталей вакуумных присосов, а также подпружиненных подвижных штоков.

B предложенном автомате, предназначенном для травления заготовок полупроводниковых приборов, например кремниевых пластин, и одновременной защиты от травления их рабочей поверхности, в отличие от известных устройств рабочие блоки выполнены таким образом, что шток вакуумного присоса расположен во внутренней полости рабочего блока, которая при помощи отверстий сообщается с атмосферой. В верхней части шток вакуумного присоса снабжен втулкой с выступом.

Конструктивные особенности предложенного автомата позволяют устранить подсос травителя и его попадание на защищенную поверхность заготовок, а также предотвратить попадание жидкости в рабочие органы автомата при отсутствии заготовки.

На фиг. 1 изображена схема предложенного автомата; на фиг. 2 — автомат, вид в плане: на фиг. 3 — рабочий блок автомата до приема заготовки, Предложенное устройство состоит из полого корпуса 1 с поворотным столом 2, который скреплен с золотниками 8; плоских распределителей 4, барабана 5 со штоками б, управляемыми от неподвижного копира 7, на которых укреплены рабочие блоки 8; подающего устройства 9, принимающего устройства 10, ванн ll, 12, !8 с травильным раствором, раствором для нейтрализации и водой для промывки соответственно.

Рабочие блоки 8 состоят из корпуса 14 с эластичной площадкой 15, втулки 16, штока

17 вакуумного присоса, на верхней части ко10 торого укреплен ролик 18 и втулка 19, воздействующая через пружину 20 на клапан 21, седло 22 которого перекрывает вакуумную си стему р абочего блока. Перемещение штока

17 вакуумного присоса осуществляется посредством управляемого копира 28, воздействующего на ролик 24, и возвратной пружины 25.

Работа автомата осуществляется следующим образом. Заготовки укладывают на подающее устройство 9. Когда центр очередного рабочего блока 8 совместится с позицией подающего устройства, шток 17 под действием управляемого копира 28 начинает опускаться.

При опускании штока плечо втулки 19 отходит от клапана 21, седло 22 которого под действием пружины 20 открывает канал и в полости штока создается разрежение.

Кремниевая пластина оказывается притянутой к штоку 17. Копир 28 поднимается. Пруçp жина 25 стремится возвратить шток в исход170123 ное положение, при этом кремниевая пластина по периферии оказывается прижатой к эластичной площадке 15. Отверстия 2б, соединяющие внутреннюю полость корпуса 14 с атмосферой, необходимы для устранения подсоса жидкости из ванн. Приняв пластину, рабочий блок переходит на новую позицию, а его место занимают последующие рабочие блоки.

Когда рабочий блок находится над ванной11, шток б опускается, и нижняя часть корпуса 14 вместе с пластиной оказывается погруженной в травильный раствор.

Уровень жидкостей в ваннах поддерживается постоянным. Пройдя ванну 11, блоки 8 попадают в ванну 12 для нейтрализации, после чего они поступают на промывку в ванну18.

После травления, нейтрализации и промывки пластины поступают на позицию съема. Передача прошедшей обработку кремниевой пластины на устройство для приема осуществляется следующим образом.

Плоский распределитель 4 разъединяет каналы стола с вакуумной системой и соединяет их с атмосферой. Шток 17 под действием пружины 25 поднимается, отрываясь от пластины. Кремниевая пластина под действием собственного веса опускается на диск принимающего устройства 10.

Конструкция рабочего блока 8 выполнена таким образом, что возможные нарушения предусмотренного процесса травления могут быть ликвидированы. В случае, если рабочий блок 8 не взял пластину, ничто не препятствует при отходе копира 28 возврату штока 17 под действием пружины 25 в исходное (крайнее верхнее) положение. При подъеме штока

17 плечо втулки 19 соприкасается с клапаном 21, седло 22 которого перекрывает канал и ликвидирует разрежение в полости штока.

При опускании рабочего блока в травильный раствор шток оказывается выше уровня жидкости.

Плоский распределитель 4 выполнен таким образом, что после приема пластины и перехода рабочего блока 8 на новую позицию, на некоторое время прекращается соединение ка5 нала штока 17 с вакуумным насосом. В этом случае пластины удерживаются за счет остаточного вакуума. В случае, если взятая рабочим блоком 8 кремниевая пластина треснула и имеет место подсос воздуха или если имеет

10 место подсос воздуха за счеткривизныповерхности пластины, а диски препятствуют возврату штока 17 в исходное положение, то в результате подсоса воздуха остаточный вакуум прекращается, и шток под действием пружи15 ны 25 возвращается в исходное положение.

При этом плечо втулки 19 соприкасается с клапаном 21, седло 22 которого перекрывает канал, и при дальнейшем движении рабочего блока 8 и его опускании в ванну в канале

20 штока 17 не будет разрежения, а сам шток остается выше уровня жидкости.

Предмет изобретения

Автомат для травления, например, заготовок полупроводниковых приборов, состоящий из полого корпуса с поворотным столом, с которым скреплены золотники; вакуумных рас30 пределителей, барабана со штоками, управляемыми от неподвижного копира, на которых укреплены рабочие блоки, состоящие из корпуса с эластичной площадкой, штока вакуумного присоса, подвижного относительно кор35 пуса, и поджимающей пружины, отличающийся тем, что, с целью устранения подсоса травителя и его попадания на защищенную поверхность заготовки и в рабочие органы автомата, шток вакуумного присоса снабжен втул40 кой с выступом и расположен в корпусе рабочего блока, внутренняя полость которого при помощи отверстий сообщается с атмосферой, 170123

Составитель Т. И. Петрикова

Техред Т. П. Курилко Корректор Т. С. Дрожжина

Редактор Н. С. Коган

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 889/12 Тираж 1550 Формат бум. 60+90 /з Объем 0,61 изд. л. Цена 5 коп.

ЦНИИП11 Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4