Устройство для литья керамической пленки
Иллюстрации
Показать всеРеферат
Изобретение относится к оборудованию для изготовления керамических пленок для многослойных металлокерамических корпусов интегральных схем способом литья шликеров на технологическую подложку. Цель изобретения - повышение качества отливаемой пленки. Устройство содержит литейную фильеру 3,. установленную гад технологической пплозчкий 2, и механизм регулирования тс-пци. ы паенки, i чабженный пневмоцилиндг s неподвижными опорами 7 и двумя редукционными гидравлическими упорами }лоры взаимосвязаны с филье- 3 по сред п л см параллельных рычагов &, 11, которые одними концами варнично закреплен;- в неподвижных а дпуги лк соединены со тггохами 4 пгевм пчли оов, Передняя стенка с тьеры 3 bciiioirfehei в виде дильндрнчегкого ножа 4 с двумя острыми кромками , я каждьл гидравлически упор содержит корпус с поршнем и п-садкой и ми ромгтркческин винт, свободный конец которого выполнен в вице штока, раочещеньсго в орпуса, 3 ил0
ССЮЭ СОВЕТСНИХ
ССЦИАЛМСТИЧЕСИИХ
РЕСПУБЛИН
А1 (51) В "--" В 1/26
ГОСУДАРСТВЕНИИЙ НОЫИТЕТ
ПС ИЗОБРЕТЕНИЯМИ: И ОТНРЬГГИЯМ
ПРИ ПИТ СССР
Й А ИЖОРСКОМ У СЕИДДТЕЛЬСТВУ (21) 4767765/33 (22) 13.12.89 (46) 30. 12.91. Бюл, ¹ ;8 (71) Конструкторское бюро Гюйс" (72) А.К. Цветков и В.И. Венедиктов (53) 666.26(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 952598, кл. В 28 В 1/26, 1980, (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЛИТЬЯ .ЕРАМИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ (57) Изобретение относится к оборудовачию для изготовления керамических пленок для многослойных металлокерамических корпусов интегральных схем способом литья шликеров на технологическую подложку. Цель изобретения— повьппение качества отливаемой пленки.
Устройство содержит литейную фильеру
Изобретение относится к оборудованию для изготовления керамических пленок для многослойных металлокерамических корпусов интегральных схем способом литья шликеров на технолсгическую подложку.
Цель изобретения — повышение каче-! ства пленки.
На фиг. 1 изображено устройство, общий вид; на фиг. 2 — вид А на фиг.1; на фиг. 3 — разрез Б-Б на фиг„1.
Устройство содержит спорный цилиндр
1, врашающийся под действием привода (не показан) совместно с технологической подложкой 2, облегающей по периферии цилиндр 1, литейную фильеру 3, передняя стенка которой выполнена в виде цилиндрического ножа 4 с
3 ycTBHoH."tå. HHl% над технологической пс- ложкой 2, и механизм р; †.гулирсвания т.-. тщи;-:.ь. пленки набженный пневмоцилиндгами, неподвижными опорами 7 и двумя редукционными гидравлическими упорамн,, Упоры взаимосвязаны с фильерсй 3 посредством параллельных рычагов !0„11, ко ñ-..ðüte одниьп концами шарни>,с закреплены в неподвижных
otTlïÿë„ а другили соединены со штоками l4 пневм.-:пили .ров, Передняя стенка .„.г;.ьерь 3 выполнена в виде цилвндриче<-.кого ножа 4 с двумя острыми кромками, р. каждый гидравлически: упор содержит корпус с псршн=-м и асадкой и ми;:рсметрический винт, свободный конец которсгс выполнен в вице штока
Ф ! размещенного в корпусе, 3 ил. двумя острыми кромками (она из кромок з паснся)> оьразованными с помощью технологических вырезов, и механизм регулирования толшины пленки, снабженный пневмсцилиндрами 5 и 6, неподвижными опорами -; и двумя редукцио:;ными гидравлчческими упорами 8, фильера 3 у. ".ÿíîâëåíà над подложкой 2 на параллельных рычагах 10 11 с литейным зазором !l регулируемым с псмсгью регукционных гидравлических .--:.сi»ов 8 и 9„. Редукционные гидравличес.-.:- уп,.ры 8 и 9 закреплены на рыч "-:.х 10, fl и опираются в неподвижные опоры 7. Рычаги 10, 11 одними ксчцами шарнирно опираются на споры 12, 13, а другими соединены со штоками
14 пневь:.оцип »ндров S и 6.
1701527
Ось цилиндрического ножа 4 расположена со смещением Й относительно оси опорного цилиндра 1, чем обеспечивается размещение равняющей кромки ножа ч в зоне плотного прилегания ",îäëîæки 2 к цилиндру 1.
Каждый гидравлический упор 8, 9 содержит корпус 15., ввинчивающийся по резьбе в цанговый зажим 1б, поршень
1 7 с уплотнением 18, оканчивающийся асадкой 19, микрометрический винт
О, ввинчивающийся с помощью рукоятки
1 в крышку корпуса 22. Свойодн Ф ко ец микро«инта 20, выполненный « виде 15 штока 23, через втулку 24 с уплотнефием 25 вводится в полость 26 корпуса
15, заполненную жидкостью. Обратное замыкание поршня 17 осуществляется пружиной 27. 20
Устройство работает следующим образом.
Опустив филъеру 3 с помощью пневмо1 илиндров 5, б из верхнего положения, которое необходимо для обеспечения удобства обслуживания, в рабочее (до контакта гидроупоров 8, 9 с опорами 7) производят установку литейного зазора
Ь поворотом рукоятки 21 гидроупоров
8, 9.
Иикрометрическая резьба вин. овой пары 20, 22 выполнена с шагом 1 мм, а отношение площади поперечного сечения штока 23 к площади поршня l7 eоставляет 1:10, что обеспечивает поворотом рукоят."и 21 на 360 r,:o часовой стрелке перемещение поршня 17 на
0,1 мм по закону вытесненной жидкости.
При этом острая кромка цилиндрического ножа 4 поднимается í= 0.05 мм вви- 40 ду ее расположения посередине между опорами 7 и 12, 13, Отрегулировав .зазор Ь но всей ширине фильеры 3 (с двух противоположных сторон) приводят в движение цилиндр 1 с подложкой 2.
Известным способом осуществляют подачу шликера в фильеру 3 с автоматическим поддержанием.; уровня в фильере и производят замеры отливаемой керамической пленки в жидком спое.
При необходимости производят дополчительную корректировку величинь литьевого зазора.
В зоне литья шликера на подлсжку образующие сферические. поверхности цилиндрического ножа ч и цилиндра 1 создают "гидравлический клин" — шликер втягивается подложкой 2 в литейный зазор с у"илием, обратно пропорциональным вязкости шликера.
Указанное явление обеспечивает сгабнльность отливаемой пленки при колебаниях гидростатического давления шликера и изменении его вязкости.
f
В предлагаемом устройстве, втягиваясь в клиновый зазор с усилием, обратно пропорциональным вязкос ги, >гждкий шликер подрезается острой кромкой ножа ч, в. результате чего тогдцина отливаемой пленки практически не изменяется.
Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я
Устройство для литья керамической пленки, содержащее литейную фильеру, установленную над подвижной технологической подложкой, и механизм регулирования толщины пленки в зависимости
i от вязкости шликера, о т л и ч а ю— щ е е с я тем, что, с целью повышения качества отливаемой пленки, механизм регулирования толщины пленки снабжен пневмоцилиндрами, неподвижными опорами и двумя редукционными гидравлическими упорами, взаимссвязанными с фильерой посредством параллельных рычагов, которые одними концами шарнирно закреплены в непсдвижных опорах, а другими соединены со штоками пневмоцилиндров, при этом передняя стенка фильеры выполнена в виде цилиндрического ножа с двумя острыми кромками, а каждый гидравлический упор содержит корпус с поршнем и насадкой и микрометрический «инт, свободпый конец которого выполнен в виде штока, размещенного в корпусе.
1 70 t527
170152 l
Составитель А. Цветков
Техред Д. Сердюкова Корректор Л, Патай
Редактор И. Циткииа
Заказ 4502 Тираж Подписное
ВНИИПО Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Иосква, Ж-35, Раушская каб., д. 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул. Гагарина, 101