Вакуумный манипулятор

Вакуумный манипулятор

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в электронной спектроскопии. Целью изобретения является сокращение времени подготовки и ввода пробы и расширение функциональных возможностей за счет обеспечения выборочного анализа проб, Устройство содержит вакуумную камеру предварительной подготовки проб, в которой расположен зубчатореечный телескопический механизм 3 с вакуумным вводом 4 и кассета 5, выполненная в виде вращающегося барабана с пружинными захватами для образцов.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (gy)g Н 01 .1 37/20

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Фиг. 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

f10 ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ ССОР (21) 4724937/21 (22) 26.07.89 (46) 15.01.92. Бюл. У 2 (71) Специальное конструкторское бюро аналитического приборостроения Научнотехнического объединения АН СССР (72) И.Н.Азбель, Н.В.?4амро и Г.Д.Сигаль (53) 621.384(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 1181015, кл. Н 01 Л 37/20, 1983.

Авторское свидетельство СССР

Р 1302351, кл. Н 01 J 37/20, 1985.

Авторское свидетельство СССР

Ф 1302352, кл, Н 01 J 37/20, 1985.

„„80„„1705913 А 1

2 (54) ВАКУУМН1 IA 11АНИПУЛЯТОР (57) Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в электронной спектроскопии. Целью изобретения является сокращение времени подготовки и ввода пробы и расширение функциональных возможностей эа счет обеспечения выборочного анализа проб. Устройство содержит вакуумную камеру предварительной подготовки проб, в которой расположен эубчатореечный телескопический механизм 3 с вакуумным вводом 4 и кассета 5, выполненная в виде вращающегося барабана с пружинными захватами для образцов.

1705913

Носитель 18 с пробой в подложке вводится в вакуумную камеру и устанавливается над кассетой 5. Вращением рукоятки. вакуумного ввода 7 толкатель 10 с выступами обеспечивает отклонение кассеты от оси вращения с центром в районе гибкого элемента навстречу носителю 18. С помощью пружинного захвата проба передается с носителя 18 lp на кассету, после чего кассета возвраИзобретение относится к вакуумной технике, в частности к вакуумным манипуляторам и вводам высоковакуумных установок для электронной спектроскопии, и может быть применено в областях науки и техники для исследования поверхности твердых тел и обеспечения возможности проведения химического анализа металлов, определения энергии 25 связи электронов внутренних валентных оболочек атомов и т.д.

Цель изобретения — сокращение времени подготовки и ввода пробы в анализатор и расширение функциональных возможностей за счет обеспечения выборочного анализа проб.

На фиг, 1 представлено устройство, общий вид на фиг. 2 — разрез А-А на

У

35 фиг. 1; на фиг. 3,4 — кассета, в двух проекциях; на фиг. 5,6 — то же, разрез.

Устройство состоит из вакуумной каь»еры 1 предварительной подготовки проб с фланцем 2 для высоковакуумной откачки, соединенной через фланец .с вакуумной камерой анализатора (не показано). В вакуумной камере предварительной подготовки проб расположен 45 зубчато-реечный механизм телескопический 3 с вакуумным вводом 4, а также кассета 5, выполненная в виде бара. бана с ячейками, содержащими пружинные захваты для подложек с образцом, каждая из которьчс:.набжена подложкой с образцом фиг ° 3. Кассета имеет два вакуумных ввода 6 и 7 и жестко закреплена на оси вращения 8 с гибким элементом 9, соединенной с толкателем 10. ,55

Зубчато-реечньп» телескопический механизм 3 имеет шток-рейку 11 с направляющей 12 и носитель l3 расположенный на конце шток-рейки. 11позовая кащается в исходное положение. Поворотом вокруг оси можно заполнить пробами всю кассету. Для подачи проб в анализатор носитель останавливают перед кассетой 5, которая отклоняется толкателем

10 от своей оси навстречу держателю штока-рейки, после чего проба снимается с кассеты и подается в анализа тор. 6 ил. мера 14, с уплотнителем 15 и клапаном 16 имеет шток 17 с носителем образцов 18 ввода 19. Вакуумная камера 1 предварительной подготовки проб перекрывается клапаном 16 ввода 19.

Клапан 20 предназначен для подачи проб в камеру анализатора.

Устройство работает следующим образом.

Подложка с пробой устанавливается в носителе 18 штока 17 вакуумного ввода 19 шлюзовой камеры 14 в атмосфере при перекрытой клапаном 16 вакуумной камеры 1 предварительной подготовки проб. После этого шлюзовая камера 14 герметизируется и откачивается до среднего вакуума, далее, открыв клапан 16 вводится носитель 18 с пробой в подложке в вакуумную камеру 1 предварительной подготовки проб для передачи пробы в ячейки с держателями кассеты 5, при этом носитель устанавливается над кассетой. Вращением рукоятки вакуумного ввода 7 толкатель 10 с выступами обеспечивает отклонение кассеты от оси вращения с центром в районе гибкого элемента 9 навстречу носителю 18 штока 17 вакуумного ввода 19. С помощью пружинного захвата кассеты фиг. 3 носитель 18 передает пробу на кассету, после этого шток 17 ввода 19 и кассета 5 возвращается в исходное положение. Таким образом поворотом вокруг оси 8 можно заполнить пробами всю кассету 5. Для подачи пробы в камеру анализатора (не обозначена) открывается клапан 20 и вращением рукоятки вакуумногo ввода 4 осуществляется поступательное движение штока-рейки 11 зубчато-реечного телескопического механизма 3 с закрепленным на конце носителем 13. При этом носитель 13 останавливается перед кассетой 5, которая вращением рукоятки вакуумного ввода 7 отклоняется толкателем 10 от своей оси вращения навстречу держателю штока-рейки> после чего проба снимается с кассеты носителем 13. Установленная на штокрейке 11 подложка с пробой подаются в анализатор. Отработанная проба с подложкой возвращаются в вакуумную камеру 1 предварительной подготовки йроб штоком-рейкой 11 обратным ходом механизма, Вращение кассеты для установки и снятия с нее подложек с образцом относительно оси вращения осуще- 15 ствляется вращением рукоятки вакуумного ввода 6.

Предлагаемый манипулятор позволяет выполнять выборочный поэтапный ввод проб в анализатор беэ нарушения ваку- .д ума и чистоты проб, а сохранение в камере предварительной подготовки проб высокого вакуума позволяет значительно сократить время ввоца пробы и ее подготовки к анализу. Дополнительный 25 ввод манипулятора через шлюз малого объема позволяет производить анализ проб в любой последовательности без нарушения вакуума и чистоты проб, и в целом получать качественный и быстрый анализ проб.

Формула изобретения

Вакуумный манипулятор, содержащий камеру предварительной подготовки проб с фланцем для высоковакуумной откачки, соединенную с вакуумной камерой

Ю анализатора и включающую зубчато-реечный телескопический элемент с вакуумным вводом, а также кассету с носителем л>браэцов, отличающийся тем, что, с целью сокращения времени подготовки и ввода пробы в анализатор и расширения функциональных воэможносте," эа счет обеспечения выборочного анализа проб, он снабжен шлюзовой камерой с клапаном, в которой устанОвлен шток с носителем образца для ввода пробы, а кассета выполнена в виде вращающегося барабана с пружинными захватами для образцов, двумя вакуумными вводами и жестко закреплена на оси вращения с гибким элементом, соединенной с толкателем.

1705913

Фиг.б

Составитель Н. Катинова

Техред A. Кравчук Корректор С. Шекмар

Редактор М.Товтин

Заказ 198 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

11303 5, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r.ужгород, ул. Гагарина,!01