Турбомолекулярный высоковакуумньш касос

Турбомолекулярный высоковакуумньш касос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А Н И Е 17О609

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сони Советскиз

Социалистически>1

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 17.Ч1.1963 (№ 842401/24-6) Кл. 27d> 3,.1 с присоедииегп ем заявки №

Государственный комитет ло делам изобретений и открытий СССР

Приоритет. 1ПК 1. 04!

Опубликовано 23.1Ч 1965. Бюллетень ¹ 9

УДК 621.524,1:

621.527.8 (088.8) Дата опубликования описания 7 1965

Авторы изобрете1 ия

E.-С. А. Аркин, В. Я. Черный, Е. T. Внуковский, Н. А. Сорокин,.

А. И. Кувалдин, Э. Г. Сараева, Г. В. Рысаков, П. Ф. Василевск>1ф, А. Б. Столыпин и А. В. Паутов 4С 1 щ „

Конструкторское бюро № 5 Ленинградского Кировского завод4 ° :T>tT,, I

7 Ъ

Заявитель

ТУРБОгйОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ НАСОС

Подггиcная группа J¹ 129

Известны турбомолекулярные высоковакуумные насосы с двухпоточным ротором и электроприводом, встроенным в форвакуумную камеру и установленным на валу насоса.

B предложенном насосе электропривод состоит из двух помещенных на консолях вала электродвигателей равной мощности и повышенной частоты, которые включаются в параллельную работу в период разгона ротора до полных оборотов в заданный проме>куток

Времени с последующим Отклгочением Одного из них в рабочем режиме. Такое выполнение насоса повышает надежность, увеличивает к.п.д. и коэффициент мощности.

Для увеличения прочности изоляции и уменьшения газоотделсния обмотка и железо статоров электродвигателей залиты эпоксидной смолой с наполнителем, обладающим низкой упругостью паров.

Для уменьшения вибрации корпуса насоса и повышения надежности подш IIIHHKQBbIx опор последние установлены на металлических упругих кольцевых обоймах.

На чертеже изображен предло>кенный насос в продольном разрезе.

Насос содер>кит цилиндрический корпус 1 с всасывающим патрубком 2 и выпускными 8.

Ротор двухпоточного типа состоит из установленных на валу 4 дисков 5, между которыми располо>кены статорные диски 6. Роторные и статорные диски и>меют косые прорези, обеспечивающие прп вращении ротора механическое перемещение молекул газа от центрального всасывающего патрубка к пе5 риферийным выпускным патрубкам, к которым подсоединяется форвакуумны0 насос.

На консолях вала помещены асинхронные трехфазные электродвигатели 7 равной мощности и повышенной частоты. Каждый из нпх

10 встроен в камеру 8, в которой создается форвакуум. В период пуска оба электродвигателя включаются в параллельную работу для разгона ротора до полных оборотов в заданный проме>куток времени. В рабочем режиме

5 pBI>OTB T>>p00»10:IeK)>JIHpHGI 0 НВсосВ обеспечивается только одним пз электродвигателей, что повышает электрический к.п.д. и коэффициент мощности. Для уменьшения газоотделения обмотка и железо статоров электродвига20 телей залиты эпоксидной смолой 9 с наполнителем, облада:ощим ппзкой упругостью паров.

Подшипнпковые опоры 10 для повышения надежности установлены на металлических

25 упругих кольцевых оооймах 11, что также

cHH>II BpT вибрацп10 iiopII> cB HBcocB.

Предмет пзо,ретенпя

1. Турбомолекулярный высоковакуумный

30 насос с двухпоточным ротором и электропри170609

Составитель Т. Рабчук

Редактор И. Г. Карпас Техред А. А. Камышникова Корректор О. Б, Тюрина

Заказ 923/18 Тираж 1400 Формат бум. 60X90 /з Объем 0,16 изд. л. Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 водом, встроенным в форвакуумную камеру, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, к.п.д. и коэффициента мощности, электропривод состоит из двух помещенных на консолях вала электродвигателей равной мощности, имеющих повышенную частоту и включаемых в параллельную работу для разгона ротора до полных оборотов в заданный промежуток времени с последующим отключением одного из них в рабочем режиме.

2. Насос по и. 1, отличающийся тем, что, с целью увеличения прочности изоляции и уменьшения газоотделения, обмотка и железо статоров электродвигателей залиты эпоксидной смолой с наполнителем, обладающим низкой упругостью паров, 3. Насос по п. I, отличающийся тем, что, с целью снижения вибрации и повышения надежности подшипниковых опор, последние установлены на металлических упругих кольцевых обоймах.