Способ восстановления вольфрамовых или молибденовых термокомпенсаторов

Способ восстановления вольфрамовых или молибденовых термокомпенсаторов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов, в частности к способам очистки поверхности металлических деталей от нанесенных на них тонких слоев другого метала, и может быть использовано при восстановлении термокомпенсаторов из забракованных выпрямительных элементов для их повторного использования . Целью изобретения является повышение выхода годных. В специальном торроидальном контейнере проводят удаление металлических покрытий (никель, силумин ) в среде движущегося раствора химического травителя с абразивом. Объем абразива выбирают от 2,75 до 4,35, а объем термокомпенсаторов - от 0,5 до 1 соответственно от объема раствора химического травителя.-2 ил. СО С

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 Н 01 I 21/00

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Ы (00 (21) 4720756/21 (22) 20.07.89 (46) 07.02.92. Бюл. М 5 (71) Всесоюзный научно-исследовательский. и проектно-конструкторский институт технологии машиностроения (72) Т.Г.Варфоломеева. Т.А.Городенская, К.А.Дмитриев, Л.В.Сизова, Г.А.Гордон и

С.И. Коп ылов (53) 621.3.396(088.8) (56) Восстановление электродов для повторного использования из забракованных выпрямительных элементов. Технологическая инструкция ДЖИЦ 252 ЗТЖ 1000.00001, 1983. (54) СПОСОБ ВОССТАНОВЛЕНИЯ ВОЛЬФРАМОВЫХ ИЛИ МОЛИБДЕНОВЫХ ТЕРМОКОМПЕНСАТОРОВ

Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов, а именно к способам очистки поверхности металлических деталей от нанесенных на них тонким слоев другого металла, и может быть использовано при восстановлении термоком- пенсаторов из забракованных выпрямительных элементов для их повторного использования.

Цель изобретения — повышение выхода годных.

На фиг.1 показан отбракованный вы-прямительный элемент, подлежащий обработке с целью восстановления термокомпенсатора; на фиг.2 — схема объемной виброобработки выпрямительных элементов. Ы 1711268 А1 (57) Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов, в частности к способам очистки поверхности металлических деталей от нанесенных на них тонких слоев другого метала, и может быть использовано при восстановлении термокомпенсаторов из забракованных выпрямительных элементов для их повторного использования. Целью изобретения является повышение выхода годных. В специальном торроидальном контейнере проводят удаление металлических покрытий (никель, силумин) в среде движущегося раствора химического травителя с абразивом. Объем абразива выбирают от 2,75 до 4,35, а объем термокомпенсаторов — от 0,5 до 1 соответственно от объема раствора химического травителя..2 ил.

Выпрямительный элемент (фиг.1) состоит из термокомпенсатора 1, слоя 2 силумина или другого материала, крепящего пластину, например никеля. Для восстановления термокомпенсатора из отбракованного элемента после распайки пластины 3 кремния требуется удалить покрытие 4 и слой 2.

Восстановление термокомпенсатора производится в устройстве (фиг.2), содержащем виброустановку 5, рабочая емкость которой (контейнер) заполнена гранулами абразивного наполнителя б, обрабатываемыми деталями 7 и интенсифицирующим раствором 8.

Способ осуществляется следующим образом.

1711268

В устройстве (фиг.2) проводят удаление металлических покрытий в среде движущегося раствора химического травителя с абразивом. Объем абразива выбирают равным 2,75...4,35 об.ч., а объем термокомпенсаторов — 0,5...1,0 об,ч. от объема раствора химического травителя, Пример. Восстанавливают термокомпенсаторыф24 мм из сплава TCM-3, на контактной цилиндрической поверхности которых нанесен слой никеля толщиной

0,01 мм, а на плоскости — слой силумина, имеющий неравномерную толщину 0,1 — 0,2 мм.

После операции распайки, при которой удаляют пластину 3 кремния, термокомпенсаторы с покрытиями подвергают объемной виброобработке в виброустановке с контейнером тороидальной формы емкостью 60 л.

В качестве гранул абразивного наполнителя используют гранулированный крупнозернистый наполнитель в виде треугольных призм с высотой ребра 10 мм. В контейнер заливают 10 — 15 л водного раствора, содержащего химические добавки, интенсифицирующие процесс обработки, например

307-ный раствор щавелевой кислоты или азотной, который принимается за одну объемную часть, В контейнер помещают обрабатываемые детали (термокомпенсаторы) и абразивный наполнитель, объем которых от объема раствора химического травителя составляет, об.ч.:

Обрабатываемые детали 0,5...1,0

Абразивный наполнитель 2,75...4,35.

Незагружаемый объем контейнера составляет 10 л, Восстановление термокомпенсаторов выполняют следующим образом.

В контейнер загружают компоненты в указанном соотношении. При этом партия

5 одновременно обрабатываемых термокомпенсаторов составляет 2500 шт. Длительность обработки составляет 240 мин при частоте колебаний контейнера 48 Гц и амплитуде колебаний 1,2 мм.

10 По окончании обработки термокомпенсаторы промывают в контейнере, выгружают из виброустановки (просеиванием для отделения от наполнителя) и передают для контроля и повторного использования. Об15 работанные термокомпенсаторы имеют светло-серебристый цвет, на котором хорошо видны дефекты поверхности.

Способ восстановления термокомпенсаторов позволяет увеличить выход годных термокомпенсаторов на 70 — 73%, создать

20 экологически чистые условия труда, что значительно улучшает условия труда работников, занимающихся восстановлением термокомпенсаторов.

Формула изобретения

25. Способ восстановления вольфрамовых или молибденовых термокомпенсаторов, включающий удаление с использованных термокомпенсаторов металлических покрытий химическим травлением, о т л и ч а ю щ30 и и с я тем, что, с целью увеличения выхода годных, удаление металлических покрытий осуществляют в среде движущегося раствора химического травителя с абразивом, причем объем абразива выбирают равным

35 2,75 — 4,35 об.ч., а объем термокомпенсаторов — 0,5-1,0 об.ч. от объема раствора химического травителя.

1711268 г.Г

45

Составитель С.Манякин

Техред М.Моргентал Корректор M.Äeì÷èê

Редактор И.Шулла

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 346 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5