Патент ссср 171930

Патент ссср 171930

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

17}930

ОПИСАНИЕ

ИЗО БРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Кл. 21д» 1Ззе

21g, 13>

21g, 13о4

21g, 13;,»>

21g, 1328

МПК Н ОЦ

Н Ю11

Н 011

Н 011

Н Ю11

УДК 621.385(088.8) Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 27.IV.1963 (№ 833408/26-25) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 22.V1.1965. Бюллетень № 12

Дата опубликования описания 21.Ч11.1965

Государственный комитет по делам изобретений и открытий СССР

Авторы изобретения А, И. Пилко, И. В. Злагкис, В. Я. Плисковский, Ю. С. Пузырийский, Б. С. Юрков, А. С. Назаров, В. М. Комиссарчик, Е, Я. Хоц, И. А. М(ивописцев, В. Г. Аникии, Г. Ф. Ивановский, А. А, Гаврилов и С. А. Векшииский

Заявит

Подписная грулпи ¹" 97

Изготовление и сборку электронных приборов, например магнетронов, производят обычно на разобщенном технологическом оборудовании в обычных помещениях или в помещениях с кондиционированным воздухом.

На монтажных столах, сварочных и паяльных установках осуществляют ручную сборку катодного и анодного узлов. Катодпый узел центрируют с помощью жестких олравок и вваривают в анодньш узел на высокочастотной установке. Собранный прибор откачивают на индивидуальных с>ткачнь>х постах илп откачных полуавтоматах, где в процессе откачки осуществляют обезгаживание анодных и катодных узлов. В процессе обезгаживания прибора производят и активировку катода.

Качество катода ло его эмиссионным свойствам оценивается лишь в готовом приборе в коппс процесса откачки, после чего прибор гсрмстизируется, При проведении операции ла монтажных столах, ла нсгермстизпрона >ных установках сварки и пайки и Ilpll межоперационной транспортировке деталей и узлов пх поверхности подвергаются воздсйствшо атмосферного воздуха (образование II I поверхности olкно контактируя>т с руками оператора, что приводит к обра:н>паник> IIa деталях жировых и других загря

Загрязнения деталей вызывают значительное газовыделение во время откачки прибора, удлиняют цикл откачки, снижают эмиссионные свойства катода и ухудшают каче5 ство прибора. Отсутствие оборудования для раздельной откачки катодного и анодного узлов и активировки катода до его постановки в прибор вызывает необходимость проведения этих операций в собрашюм приборе, 10 что, в конечном счете, увеличивает газовыделения и зачастую приводит к отравленшо катода и выходу прибора из строя. Отсутствие оборудования для проверки катодных узлов по их эмиссионным свойствам до постановки

15 в прибор не позволяет судить о качестве катода, а следовательно, и о надежности прибора и в ряде случаев приводит к неисправимому браку полностью собранного прибора.

Применение жестких оправок при центри20 рова>ши катодноп> узла в0 время его вварки в аподн>яй узел на высокочастотной установке исключает возмож ность получен ия ме>кэлектродных зазоров требусмой точности, приводит к механическим ливре>кдсниям анод25 ного блока н ларушешпо его гс омстрип. В результате этого большое количеств> окончаT(ëüíî собранных приборов забраковыпается ло уходу параметров. 1! аллчис разоб>щенного неполного комплекта технологического обо.

Зо рудопаш>я, ла котором многие операции осу171930

65 ществляются в условиях неконтролируемой среды, не позволяет создать устройства, обеспечивающие качественну1о сборку надежных приборов в едином технологическом компл ексе.

Предложенная установка обеспечивает изготовление электронных приборов повышенной надежности и долговечности.

Сущность изобретения заключается в слеДУ1ОЩЕМ.

Механизированная поточная установка для изготовления электронных приборов выполнена в виде линии обработки и сборки катодного узла, линии обработки и сборки анодного узла и линии окончательной сборки изделия.

Линии состоят из герметичных, последовательно вакуумноплотно соединенных устройств, обработка в которых производится в вакууме или иной контролируемой защитной среде.

В состав линии для обработки и сборки катодного узла входят устройства для ультразвуковой очистки деталей, вакуумной сушки, высокочастотного вакуумного отжига, синтернрованпя катодов тяжелыми металлическими порошками способом катафореза, для нанесения металлической губки на керн катода, спекания губки, для контроля катодов, сборки и монтажа, точечной контактной сварки, электронно-лучевой свар ки, аргоно-дуговой сварки, высокочастотной пайки узлов, проверки на герметичность, оксидирования катодов, обжатпя катодов, для активировки и проверки эмиссионных свойств катодных узлов.

Б состав линии для обработки и сборки анодного узла входят устройства для ультра313уковой очистки деталей, вакуумной сушки, высокочастотного вакуумного отжига, сборки и мопта>ка, электроннолучевой сварки, устройство длл аргоно-дуговой сварки, высокочастотой пайки в вакууме, пайки сопротивлением в вакууме, для контроля изделий, для обезгаживанил анодных узлов, длл проверки на герметичность, для холодных измерений параметров прибора.

В состав линии окончательной сборки изделий входят устройства длл бесконтактной центровки и сборки катодного узла с анод ым, бесштенгельпой откачки и герметизации прибора и выходной шл1оз.

На фиг. 1 изображена приш1нпиальпа схема компоновки механизированной поточной установки; на фиг. 2 — устройство для ультразвуковой очистки деталей; на фнг. 3— устройство для высокочастотного вакуумного отжига; на фиг. 4 — устройство для сборки и монтажа; на фпг. 5 — устронство для спнтернрованил катодов тяжслымн металлическими порошками способом катафореза; на фпг. 6 — устройство для электроннолучевой сварки; на фиг. 7 — устройство длл аргонодуговой сварки; на фнг. 8 — устройство для обжатил катодов; на фиг. 9 — устройство

ДЛЛ <1КТН1311Р013КН Н ПРО13ЕPl(ll ЭМИССИОНН1з1Х с13ойств катодных узлов; на фиг. l0 — устройст5

4 во для бесконтактной центровки и сборки катсдного узла с аподным; »а фиг. 1! — устройство для бесште11гельпой откачки и герметизации прибора.

Работа на установке осуществляется следующим образом.

Окончательно изготовленные детали катодного узла через вакуумный шлюз линии сборки катодного узла поступают в устройство 1 для ультразвуковой очистки, где производят их окончательную очистку в деминерализованной воде. Очищенные детали проходят в устройство 2 для вакуумной сушки, а затем в устройство 3 для высокочастотного вакуумного отжига. На подготовленный керн катода в устройстве 4 для синтерировання катодов тяжелыми металлическими порошками и в устройстве 5 для нанесения металлической губки производят нанесение пористого металлического слоя, который затем спекается при заданной температуре в устройстве 8. Проверенные в устройстве 6 для контроля керны катодов поступают на м>нта>к катодного узла в устройство 7 для сборки и монтажа, После этого катодный узел сваривается и паяется в устройстве 8 для точечной контактной сварки; в устройстве 9 для электрошюлучевой сварки; в устройстве 10 для аргоподуговой сварки и в устройстве /I для высокочастотной пайки.

Собранный катодный узел проверяют на вакуумну1о плотность на устройстве /2 для проверки на герметичность. Годные катодные узлы поступают в устройство И для оксндпрованпл катодов, где производят введение активных материалов в металлическу1о губку катода. Затем катодные узлы в устроистве

/4 для обжатия катода прокатьшают до получения заданной геометрии и плотности активной поверхности катода. Окончательно собранный катодный узел в устройстве 15 для активировки и проверки эмиссионных свойств обезга>кивают прогревом в вакууме, активируют и оценивают по эмиссиошп.1м характеристикам. Проверенные и отобранные катодные узлы поступают в лини1о установки для окончательной сборки изделия.

Окончательно изготовленн11е детали анодного узла через вакуумный и llo3 поступают в лппп1о сборки анодного узла н проходят последовательную обработку в устройствах

/, 2, 3. Из подготовленных к сборке деталей в устройстве 7 монтируют анодный узел, которьш затем сварпва1от в устройствах 9, 10 и пая1от в устройстве 11 и в устройстве /6 для пайки сопротивлением, Собранный анодный узел обезгажива1от в вакууме в устройстве /7.

В устройстве 12 производят проверку аш3дного узла па вакуумну1о плотность, а в устройстве 18 для холоднь1х измерений проверяloT егo электрические параметры. Проверен1l1lc и отобранные анодные узлы поступают в линию установки для окончательной сборки изделия, 171930

Отобранные катодные и анодные узлы прибора подаются в устройство 19 для бесконтактной центровки и сборки катодного узла с анодным линии окончательной сборки, где производят центровку катода по его активной части в отверстии анодного блока и вварку сцентрированного катодного узла. Собранный прибор обезгаживают, откачивают, проверяют по параметрам и герметизируют в горячем состоянии в устройстве 20. 1ерметизированный прибор через выходной шлюз 21 выдают из установки.

Т аким образом механизированная поточная установка позволяет производить в едином технологическом комплексе, начиная с операции окончательной очистки деталей и узлов и кончая откачкой и герметизацией, всю сборку приборов в контролируемой защитной среде, исключить контакт детаЛей и узлов с незащищенными руками оператора; полностью исключить влияние длительности межоперационного хранения; производить раздельное обезгаживание с откачкой катодного и анодного узлов, значительно сократить газовыделение в процессе окончательной откачки прибора и исключить отравление катода, резко сократить время откачки; производить операцию активировки катода и проверки его эмиссионных свойств до постановки в прибор, что дает возмо>кность отбирать катоды с лучшими параметрами и гарантировать их надежность; производить сборку особопаде>кных приборов с точными ме>кэлсктродными расстояниями и полностью исключить нарушение геометрии и механические повре>кдения анодного блока и катода. Все это обеспечивает изготовление долговечных и надежных электронных приборов.

Механизированная поточная установка содержит устройство для ультразвуковой очистки деталей (фиг. 2), которое предназначено для окончательной очистки корпусных деталей и деталей типа трубок, имеющих боль шое отношение длины к диаметру внутреннего отверстия.

Устройство состоит из герметизированнзго скафандра 22 и станины 23. В скафандр вмонтированы: верхний магнптострпкцlloltlll>llt преобразователь 24 с групповым концентратором; Itlt?I1, Я 13Л Я 10 1ц(. Й с Я p «! () o I C i i >I< l l l I< 0 c T I> lo. В с к «1фандрс им()отся д 33 отверст)гя для резиновых перчаток. 11ри необходимости отверстия герметично закрь ;аются внешними колtI Ih;3iII1 31. Наблюдение за работой осущсс(нлястся через илл<омппатор. Магпптострпкцпопные преобра"ot)av(лп питаются от ультразвукового генератора. Детали для очистки по50

5

45 даются в установку через вакуумный шл

29. Верхняя и нижняя ванны заполня)о) рабочеи жидкостью. 1(орпусные детали з; ладываются в нпжшою ванну, трубчатые, тали надеваются на иглы концентратора. I воротом рукоятки, через рычажную систс механизм подъема 28 устанавливает верхш< ванну в рабочее положение. Нажимом кпоп включается генератор. Наличие вакуумш уплотнений магннтострикционных преобра= вателей 24 и 26 обеспечивает возможнос проведения ультразвуковой очистки в контр лируемой защитной среде.

Устройство для высокочастотного вакуу ного отжига деталей (фиг. 3) предназначе1 для отжига деталей в вакууме при темцер туре 450 — 600"С. Устройство состоит пз з грузочной камеры 32, двух боковых бокс<

33, рабочей камеры 34, вакуумной системы и станины 36.

Внутри загрузочной камеры смонтирова комбинироваш(ый механизм 37 загрузки д талей, состоящий из шарнирного четырехзвс) ника 38, кулачково-рычажной системы 39 двух ка н а в оч ного кулачка 40.

Механизм загрузки обеспечивает подъе садки 41 с изделиями в рабочую камеру возврат садки в камеру загрузки после око) чания процессов, а также отделение засл<п кой 42 рабочей камеры от загрузочной кам( ры на время проведения отжпга. Пред))а()11 тельнос разрежение в загрузо 111()11 кам< р ос У и(сст1)ля стс)1 от Ц(.I tTf) «3/I I I3oI3 «I l l I l <) it ()) 0)) 13 «1 куумной магистрали через Т)лок 43 клапан<и.

Бысоковакуумпая откачка рабочей кам< р1 осуществляется вакуумной сист(мой. 11)па<111 индуктора 44 производится через вакуу f1

Через отверстия в боковых боксах, уплот пенных резиновыми перчатками (на чсртс>к< не показано), оператор устанавливает в каме ре загрузки, заполненной контролирусMo) средой и отделешюй оТ рабочей камеры ва куумной заслонкой, детали»а садку механизма подъема. Затем оператор закр)11)асз боковые двери 46 камеры загрузки и включает нредварнтельную откачку. Прп достиж(пии в камере загрузки задаппогo прсдварительного разре>кения автоматически включается двигатель (па чсртс>кс пе показано) привода распределительного вала 47. С распределительным валом кинематически жестко связаны шарнирный четырехзвспник, кулачково-рычажная систсма и двухкапавочпый кулачок. За время одного по(3орота распрсд<лит<льпогo вала шарнирный чстырсхз11(пнпк открь(иа T II перси< щаст в стор<и)у вакуум<<у<о заслонку; кулачкопо-рычажная система с помоп(1,1о ппока 48 псрсмсп(ает садку с дсталяMil «О IIIIQTf)CIIIIIOIO п<)л<)СТ)> п11дукт<)1)а 1) 11)<) lC1I К«<М< >1)Ы. Д13УХК«111а1<О 1111>lii Кy.>III>t<)l< ОСУIII< cTt3;lII(1T 1loI3oj)oT штока с c«tä!<ÎÉ It oT кулачково-рычажной системы шток возвращается вниз, где двухканавочным кулачком вновь

171030 поворачивается в исходное положение; шарнирный четырехзвенник закрывает вакуумную заслонку. При достижении в рабочей камере заданного разрежения включается высокочастотньш индуктор и производится отжиг деталей по установленной температурной кривой. В конце цикла обезгаживания выключается индуктор и с помощью комбинированного механизма осуществляется выгрузка садки с деталями из рабочей камеры в камеру загрузки в последовательности, описанной выше. Затем камера загрузки заполняется контролируемой защитной средой и оператор, открыв двери, производит выгрузку и передачу деталей на следующее устроиство установки.

Устройство для сборки и монта>ка (фиг, 4) предназначено для монтажа узлов в условиях контролируемой среды. Устройство состоит из герметизированного скафандра 22 и станины 28. Скафандр представляет собой тонкостенный металлический цилиндр. В скафандре имеются два отверстия для резиновых перчаток 49 и иллюминатор 50 для наблюдения за работой. Отверстия для перчаток с внешней стороны герметично закрываются внешними колпаками Л, которые уплотняются резиновыми прокладками 51 и прижимаются винтами 52. Внешние колпаки име(от патрубки 58 для откачки. Внутри скафандра установлен стол 54, на котором осуществляется монтаж узлов. В верхней части скафандра смонтирован светильник 55, Сборка изделий в устройстве производится вручную с помощью специальной технологической оснастки, установленной на столе.

Перед заполнением скафандра контролируемой защитной средои для удаления агрессивных газов, влаги и пыли производят его откачку до заданного разре>кения. Для сохранения целостности перчаток одновременно с откачкой скафандра производят откачку внешних колпаков через патрубок. Заполнение скафандра контролируемой средой также производится одновременно как с внутренней, так и с нару>кной стороны г(ерчаток.

Устройстно для синтерирования катодов тяж(лыми M(òl)ëël(i((.(3(èM(3 33()ро)3(к()м)1 cnoco()oi 1 катафорсза (фпг. 5) 1(ре/(3(3;)lid Ici(o для синтерирования кернов катодов в условиях контролируемой среды. Устройство состоит из герметизированного скафандра 22, узла 56 перемещения катода, узла 57 перемешивапия суспензии, ванны 58 парафпнирования, блока питания (на чертеже не показано) и станины 28. В скафандре имеются два отверстия для резиновых перчаток, иллюминатор и светильник. Через резиновые уплотнения 59 во внутрен(цо(о полость скафандра введены узлы 56 и 57. Узел 56 перемещения катода обеспечивает погружение катода в ванну 58 на заданную глубину и подъем катода из ва и н ы. Перемещение передается от кулачка

60 через систему рычагов на шток б/, в голои<е 62 которого укрепляется катод. Величина перемещения катода определяется профилем кулачка. Узел 57 перемешивания суспепзии выполнен в виде рычага с вакуумным вводом 68 вращения. На конце рычага находится вращающаяся ванна 64. Во внутреннюю полость ванны введен цилиндрический полый анод 65, имеющий внешние спиральные лопасти 66 для перемешивания суспензии. Ванна парафинирования выполнена в виде цилиндра с двойными стенками, между которыми находится нагреватель 67.

Блок питания обеспечивает подачу заданных режимов на электроды, стабилизацию тока в процессе покрытия, поддержание режимов в заданных пределах времени и автоматическое отключение устройства, Катод с защищенными парафином местами, не подлежащими покрытию, закрепляется в головке

62. Включается вращение узла перемешивания порошка. Дальнейший цикл идет автоматически: погружение катода на заданную глубину; подача заданных режимов на электроды; выдержка в процессе покрытия; снятие напряжении; подъем катода в исходное положение и выключение устройства.

Устройство для электроннолучевой сварки (фиг. 6) предназначено для сварки деталей и узлов прибора в условиях высокого вакуума.

Устройство состоит из рабочей камеры 68, двух боковых боксов 88, электронной пушки

69 и вакуумной системы 70. Рабочая камера представляет собой сварную коробчатую конструкцию, в передней стенке которой имеется дверь 7! с иллюминатором. В рабочей камере устанавливается сменная технолоп(ческая оснастка 72 (одноместная или многоместная), позволяющая осуществлять вращение деталей вокруг горизонтальной или вертикальной осей. Вращение»а деталь передается с помощью вакуумного ввода (на черте>ке не показа>1). Откачка рабочей камеры до заданного давления производится вакуумной системой. В боковых стеш<ах рабочей камеры имеются боковые двери 46. Боковые боксы соединены ме>«ду собой каналом а, изолированным от рабочей камеры. На верхней части рабочей камеры черо:3 вакуумное уплоти llll(смонтирован узел электронной пушки.

Откачка пушки производится 3)а)<уум((ой системой, Во время смены катодного узла 78 пушки elo полость отделяется от рабочей камеры клапаном 74. К верхней части камеры пушки крепится машшулятор 75 с тремя степенями свободы для передвижения катодного узла. Передача движения от манипулятора к катодному узлу пушки осуществляется через металлические гибкие сильфоны, отделяющие вакуум полость пушки от наружной атмосферы.

Катодный узел предназначается для создания мощного сфокусированного электронного луча. Л3(од1(ь)й узел 76 служит для создания ускоряющего потока электронов и формирования луча на выходе из анодного отверстия.

171030

Фокусирующий и моделирующий электрод 77 формирует луч, а в случае подачи отрицательного заряда — запирает его. Электромагнитная фокусирующая система 78 фокусирует элсктронныи луч, а электромагпитпая отклоняющая система 79 отклоняет луч и направляет его на свариваемые кромки деталей.

Работа устройства заключается в следующем.

Детали из боковых боксов через двери устанавливают на приспособление рабочей камеры, которая отделена от электронной пушки и заполнена защитной контролируемой средой. Двери закрывают и производят откачку рабочей камеры до заданного разрежения. После этого рабочая камера сообщается с камерой пушки. По достижении заданного давления автоматически включается питание пушки и производится сварка. После окончания цикла сварки рабочая камера отделяется от камеры пушки, заполняется контролируемой защитной средой и детали извлекаются в боковые боксы.

Устройство для аргоно-дуговой сварки (фиг. 7) предназначено для вакуумноплотно; го соединения деталей и узлов прибора. Устройство состоит из рабочей камеры 68, двух боковых боксов 33 и станины 23. В рабочей камере имеется карусель 80 со шпинделями 8(, следящий механизм 82 с электродвигателем 83 и электрододержателем 84.

Детали через боковые двери 46 устанавливают в шпиндели карусели, после чего откачивают рабочую камеру до заданного давления. Затем рабочую камеру заполняют аргоном избыточного давлепия и включают сварку. В процессе сварки автоматически поддерживается заранее выбранный дуговой промежуток между электродом 85 и кромками свариваемых деталей. Изменение дугового промежутка, возникающее из-за неточности изготовления свариваемых деталей, приводит к изменению электрического сопротивления в зазоре, которое регистрируется электрическим блоком (на чертеже не показан). При изменении зазора включается электродвигатель, который через систему рычагов следящего механизма, совершающего плоскопараллсльное перемещение, приближает или отводит от детали электрод, сохраняя тем самым постоянный дуговой промежуток. Наличие следящего механизма, совершающего плоскопараллельное перемещение, позволяет поддерживать заданный дуговой промежуток под любым углом к оси вращения детали.

В ко|ще процесса сварки электрический блок осуществляет плавное гашение дуги, что исключает выплеск металла из сварного шва.

По окончании цикла сварки одного изделия карусель автоматически поворачивается и осуществлястся сварка следующего изделия.

Устройство для обжатия катодов (фиг. 8) предназначено для уплотнения губки сиптерированиых катодов и получения се заданной геометрии. Устройство состоит из герметизи10

65 рованного скафандра 22, узла 86 привода, узла д/ IlpoKBTKH и станины 23. Б скафандре имеются два отверстия для резиновых перчаток, иллюминатор 50, светильник 55. Через резиновое уплотнение к флапцу скафандра крепится узел привода, который представляет собои вакуумньш ввод вращения, передающий движение через конические шестерни 88 на узел прокатки.

Узел прокатки выполнен в виде жесткой, замкнутой рамы 89, установлснцой на двух колонках 90 на столе скафандра. В средней части рамы неподвижно укреплена сменная плоская плашка 91. Подвижная плоская плашка 92 при вращении винта 93 перемещается вдоль рамы по направляющим. Подвижная плашка имеет заходную, рабочую и калибровочную части. Ширина плашек соответствует размеру обжимасмого катода. В торцах рамы установлены микропереключатели 94, обеспечивающие реверс двигателя привода в левом крайнем положении плашки 92 и останов его в правом крайнем положении.

Катод устанавливают вертикально между заходной частью плашек. Нажимом кнопки включается вращение винта 93 и плашка 92, перемещаясь, обжимает катод. Катод, вращаясь вокруг своей оси, проходит всю длину плашки 91 и снимается оператором. Плашка

92, дойдя до микропереключателя, переключает двигатель на реверс и возвращается в исходное правое положение. Привод автоматически выключается.

Устройство для активировки и проверки эмиссионных свойств катодных узлов (фиг. 9) предназначено для обезгаживания, активировки и проверки эмиссионных характеристик катодов. Устройство состоит из загрузочной камеры 32, промежуточной камеры 95, рабочей камеры 96 и вакуумной системы 97. Загрузочная камера имеет два боковых бокса 33 с дверями. В боковых боксах предусмотрены патрубки 98 с отверстиями для резиновых перчаток. В камере 32 имеются направляющие 99, в которые устанавливают кассеты 100 с катодными узлами 101. Снизу в камеру 95 введен рычаг 102 механизма IN перемещения, а сверху — вакуумная заслонка 104, Рабочая камера 96 имеет наружную и ввутреннюю стенки, пространство между которыми откачивается. В полости 6 рабочей камеры 96 смонтированы ленточные на реватсли

105, контакты 106 подачи тока накала, пстлеобразпые аноды 107 для проверки эмиссии и рычаг 102 механизма 109 псремещепия кассеты. В полость о введспа заслонка 1/О для разделения полостсй рабо гсй камс ры.

Работа устройства состоит в с.ц,1увщсм.

Загрузка катодных узлов и касте ту, уст»нов lt.lllfylo па паправля Ощпх в кам(р 33, заполненной .коптролируl"мой заищ I пой ср»дои, осупиствлястся olt(ра гором I(р< з двери.

Затем камс I)cl откач шаетcsI;lo lаданн<>го давления. Автоматически открывается заслонка

104 и камера сообщастся с полостью в. После

17I930

ЗО

ll

1 установления требуемого давления в полости в открывается заслонка 110 и кассета рычагами /02 последовательно работающих шагаloll!In механизмов перел!е !ается в полость б рабочей камеры. Заслонки закрываются и и)н>изводится откачка полости 0 до заданного рабочего давлсни!1. С помощью контактов

106 на катоды подастся питаш1с для их активировкп, а нагреватели .105 производят нагрев к;>г<>дных узлов для обезгаживания. По окончании процесса обезгаживаиия и активировки механизм 108 подводит к катодам петлеобразные аноды, находящиеся под высоким наири>ксиием; производится замер эмиссионных свойств катода. Затем кассета транспортируется из полости б и камеру. l)ocac закрытия заслонок камера заполняется контролируемой защитной средой и катодные узлы вынимаются из кассеты и переда1отся оператором иа следующую операци<о, Устройство для бесконтактной центровки и сборки катодного узла с анодиым (фиг. )О) предназначено для точной установки и вварки катод ого узла в анодный узел. Устройство состоит из рабочей камеры б8, двух боковых боксов 3>, оптической системы 111 с проекторами 112, манипулятора 1И с вакуумными вводами движения.

В рабочей камере на рычаге манипулятора укреплена суппортная группа 114. В эту >ке камеру введена вертикально перемеща>ощаяся штанга с высокочастотным концентратором

115, по Оси которой pacrloложен Охла>кдаемый водой коаксиал для подвода энергии от высокочастотного генератора к концентратору.

Штанга с концентратором имеет две степени свободы, что обеспечивает центрирование концентратора относительно места разогрева.

Установка концентратора осуществляется снаружи камеры через вакуумные вводы движения.

На нижней стенке рабочей камеры закреплена суппортная группа 11G анодного узла, объектив и осветитель оптической системы центрирования анодного узла, причем осветитель вынесен из камеры и освещает анод н.роз илл>омипатор (на >1сртс>кс !1с показано).

На боковьlх cTcIII < раГ>0 !с!! I<3 ?? pr>l имс!Отся двери, через которые оператор загружает катодиый и аиодный узлы. На этих же стенках укреплены элементы оптической системы, предназначенные для центрирования катодного узла, причем соответствующие осветители вынесены из камеры. На передней стенке камеры укреплен окуляр оптической системы цснтрироваш1я анодного узла и иллюминатор для наблюдения за выполнением операции.

Все перемещения, за искл!Очснисм вертикального перемещения штанги с концентратором, осуществляются вручиу!о.

В патрон, закрепленный па всрхнсй супиортиой группе 114, зажимастся катодныи узел, ;ятем суппортиу1о группу с помощью манипул>!тора опускают до нижисго упора и в этом положении Iln оптической системе, сос)2 тоящей из двух проекторов, объективы которых просматривают активную часть катода в двух взаимно rrcpllerrprllrprrr lx направлениях, производят совмещение активно!1 части катода с осями Оптических систем проекторов. Это совмещение так же производится с помощью машшулятора 1И, имеющего пять степеней свободы (две поступательные в горизонтальной плоскости, две вращательные относительно горизонтальных осей и одна поступательная вдоль вертикальной оси).

Для облегчения операции центрирования катодного узла оптические системы проекторов снабжены призмами двойного и>or>p I>I0 ценr )>II)>(>I>3111>>(к простому с<>вмсщсншо двух изображсшш.

))осле того Iг1рирован, el o подI!I!valor вверх. В цаш овос гнездо 1!7, установленное на ш>жнсй супиортиой группе, имеloIIIc три степени свободы (две поступательные в горизонтальной плоскости и одна вращательная относительно горизонтальной оси), устанавливается и закрепляется анодный узел. Поворотом на 180 (от упора до упора) анодный узел опрокидывается вниз открытой часть>о, которая таким образом становится доступной для наблюдения с помощью окуляриой оптической системы, предназначенной для центрирования анодного отверстия. Совмещение анодного отверстия с осью оптической системы, также снабженной призмой двойного изображения, осуществляется путем перемещения анодного узла и горизонтальной плоскости. Положение анодиого узла rlo вертикали определяется elo установкой ИО упору в цанговом гнезде.

Отцентрированный анодный узел возвращается в положение, при котором его OTкрытая часть обращена в сторону поднятого катодного узла. Нижняя суппортная группа настраивается таким образом, чтобы ocr поворота ее совпадала с центром анодпого блока после его центрирования, В результате центр анодного блока и после поворота находится на оси оптической системы. Так как оптические системы центрирования катодного и анодиогo узлов II rñòpo (II>I таким об>разом, что

IIx oclI исрссска>О1гс!1 и Одиои точ кс, To llpH опускании катодного узла в !Ill>!

Устройство ",1>!>1 бесштснгельной откачки и герметизации прнбора (<(>III. 1)) прс;!назначено для откачки и герметизации приборов в горячем состоянии. Устройство состоит из загрузочной камеры З2, проме>1<уточпой каме171930

14 куумной обработки деталеи и узлов электронного прибора и его сборки в контролируемой защитной среде, в едином технологическом комплексе, с бесштенгельной откачкой прибора, герметизацией прибора в горячем состоянии в условиях глубокого вакуума и применением глубоковакуумных безмасляных средств откачки, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности н долговечности электронных приборов, например магнетронов, путем проведения всех технологических операций в защитной контролируемой среде, установка состоит из линии обработки и сборки катодного узла, содержащей герметичныс, последовательно вакуумноплотно соединенные устройства для ультразвуковой очистки, вакуумной сушки, вакуумного от>кига, для нанесения губки и ее обработки, для введения активного материала, для сборки катодного узла, для проверки на герметичность, для активировкн и проверки эмиссионных своп!ств катодных узлов; линии обработки н сборки анодного узла, содержащей герметичные последовательно вакуумноплотцо соедпнсшплс устройства для ультразвуковой очистки, влкуумной сушки, вакуумного от>кнга, для сборки анодного узла, для проверки на гермстнч ность, для обезга>кивания анодного узла и

З0 линии окончательной сборки изделия, содержащей герметичные, последовательно, влкуумноплотно соединенные устройстпа,ч,чя бесконтактной центровки и сборки катоднпго узла с анодным и устройства для бесштспгельной откачки и герметизации прибора, и этп линии вакуумноплотно соединены между собой.

2. Установка по п. 1, птличаюи<пягя тс». что, с целью проведения ультразвуковой пб40 работки в условиях контролируемой среды. устройство для ультразвуковои очистки,четалей содержит магнитострикцнонные преобрлзователп с вакуумными уплотнениями.

3. Установкл по пп. — 2, птличпюп<пягя

45 тем, что, с цель>о ооеспеченпя целостности резиновых перчаток, устройство для сборки и мопта>кл содержит герметично уплотнясмт с внешние колплки c плтрубклмц,ччя отклики пс!>члток.

4. Установка по пп. 1--3, птлпчп пи<п.и я тем. что, г цель<о созчлпня рлпнпмгрной рлзвствленной поверхности активной члстн катода. устройство для сннтерировлния катодов тяжелыми металлическими порошкамп <ï<><оЫ бом катафореза имеет механизм пергмешивлния суспензии. с<>чep>кaпп»i врлщлющуюгя ванну с вакуумным плодом врлщсння и цилиндрический полый анод с внпнними спиральными лоплстямп.

60 5. Устаповкл по пп, — 4, птличпнт<пяг» тем, IT<>, с целью то<ной юстнропкн клтодл электронной пушки, устройство для электр >ипплуч< вой сл л р кп Гоч(pя< нт мл и пнул я гор с тре .я степенями свободы н ллкуумпоплпт05 ными вводами дви>кения.

Предмет изобретения

1, Мехлнизпроиаппая поточная установка для изготовления электронных приборов, ры 95, рабочей камеры 96 и вакуумной системы 97.

Загрузочная камера имеет два боковых бокса 33 с дверями 46. В боковых боксах предусмотрены патрубки 98 с отверстиями для резиновых перчаток. В камере имеются направляющие 99, в которые устанавливают касссту 100 с изделиями 118. Снизу в камеру введен рычаг 102 механизма перемещения 103, а сверху — вакуумная заслонка 104.

Рабочая камера имеет наружную и внутреншою стенки, пространство между которыми откачивается. В полости б рабочей камеры смонтированы ленточные нагреватели 105, контакты 106 подачи тока накала, рычаг механизма перемещения 109 и механизм герметизации изделия. Механизм герметизации изделия имеет две штанги с вакуумноплотными подвижными уплотнениями в двух стенках рабочей камеры. На штангах укреплены две пары пуансонов с рабочими поверхностями, располо>кенными в двух пересекающихся плоскостях.

В полость в введена заслонка 110 для разделения полостей камер рабочей камеры и рычаг 102 механизма перемещения для передачи кассеты из проме>куточной камеры в полость б, Работа устройства состоит в следующем.

Загрузка изделий в кассету 100 осуществляется оператором через двери 46. Камера 33 откачивается до заданного давления. Автоматически открывается заслонка 104 и камера сообщается с полостью в. После установле>шя требуемого давления открывается заслонка

110 и кассета рычагами последовательно работающих шагающих механизмов перемещается в полость б рабочей камеры. Заслонки закрываются и производится откачка полости б до заданного раоочего давления. С помощью контактов 106 на изделия подается электрическое питание. Нагрев изделий для обезга>кивания осуществляется нагревателями 105. По окончании процесса обезга>кивания и откачки кассета с изделиями перемещается в сторону камеры загрузки и, выходя из зоны нагрева, периодически останавливается у механизма герметизации изд<лня, который поочередно путем сближения пуансонов осуществляет гсрмстнзацшо изделий. Поскольку герметизация прибора производится непосредственно после выхода его из зоны нагрева, изделия в момент герметизации остаются горячими, что снижает давление в изделии при его остывании. По окончании герметизации всех изделий, находящихся в кассете, механизмы перемещают кассету в камеру 32.

После закрытия заслонок камера заполняется контролируемой защитной средой и изделия вынимаются из кассеты и передаются оператором в выходной шлюз. предназначенная для техно-химической и ва!

71930

16

Фиг 1

Чоирпбланиа гборли

6, Установка по пп. 1 — 5, отличающаяся тем, что, с целью поддер>кання заданного дугового промежутка под любым углом к оси вращения детали, устройство для аргоно-дуговой сварки имеет следящий механизм, со- 5 дер>кащий электрододержатель с плоскопараллельным перемещением от одпого электродвигателя.

7. Установка по пп. — 6, отличающаяся тем, что устройство для обжатия катодов со- 10 держит две плашки с плоскими рабочими поверхностями, одна из которых имеет заходную, рабочую и калибровочную части.

8. Установка по пп. 1 — 7, отличающаяся тем, что, с целью проведения процессов обез- 15 га>кнвання, актнвировки и проверки эмиссионных свойств катодов до их сборки с анолным узлом, устройство для активнровки и проверки эмиссионных свойств катодных узлов содержит механизм с петлеобразными, 20 изолированными друг от друга анодами, блок подачи напряжения на аноды и шагающий механизм перемещения катодных узлов с вакуумноплотным подвижным уплотнением в двух стенках устройства. 25

9. Установка по пп. 1 — 8, отличающаяся тем. что, с целью исключения механических повреждений ламелеи анодного блока и активной части катода