Эллипсометр
Иллюстрации
Реферат
Применение: измерительная техника. Сущность: в эллипсометре, содержащем оптически связанные тубус падающего света с расположенным в нем источником излучения и поляризатором, тубус отраженного света с расположенным в нем анализатором , предметный столик, устройство для угловой юстировки и фиксации тубусов падающего и отраженного света, дополнительно содержится не менее одной пары оптически связанных тубусов падающего и отраженного света, причем в каждом тубусе падающего света расположены источник излучения и поляризатор, а в каждом тубусе отраженного света расположен анализатор. 2 з.п. ф-лы, 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (19) (11) (51)5 G 01 J 4/00
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ПАТЕНТУ!
> (л) (21) 4869452/09 (22) 27.09.90 . (46) 07.04.92. Бюл. N. 13 (76) Ю,А.Концевой и P.P.Ðåçâûé (53) 535.8(088.8) (56) Аззам Р, Башара Н, Эллипсометрия и поляризованный свет. — М.: Мир, 1981, с.
415.
Резвый P.P. Эллипсометрия в микроэлектронике, — M.: Радио и связь, 1983, с. 41. (54) ЭЛЛИПСОМЕТР (57) Применение: измерительная техника.
Сущность; в эллипсометре, содержащем onИзобретение относится к измерительной технике, к оптическим измерительным приборам — эллипсометрам.
Цель изобретения — повышение производительности и расширение функциональных возможностей эллипсометрических измерений.
Эллипсометр содержит оптически связанные тубус падающего света с расположенным в нем источником излучения и поляризатором, тубус отраженного света с расположенным в нем анализатором, предметный столик, устройство для угловой юстировки и фиксации тубусов падающего и отраженного света дополнительно содержит не менее одной пары оптически связанных тубусов падающего света с источником излучения и поляризатором и тубусов отра-, женного света с анализатором, кроме того, тически связанные тубус падающего света с расположенным в нем источником излучения и поляризатором, тубус отраженного света с расположенным в нем анализатором, предметный столик, устройство для угловой юстировки и фиксации тубусов падающего и отраженного света, дополнительно содержится не менее одной пары оптически связанных тубусов падающего и отраженного света, причем в каждом тубусе падающего света расположены источник излучения и поляризатор, а в каждом тубусе отраженного света расположен анализатор.
2 з.п. ф-лы, 1 ил. в тубусах падающего света может располагаться четвертьволновая фазовая пластина.
На чертеже представлена конструкция эллипсометра.
Эллипсометр содержит тубус 1 падающего света, содержащий источник 2 излучения, поляризатор 3 и четвертьволновую фазовую пластину 4, тубус 5 отраженного света с расположенным в нем анализатором 6, предметный столик 7, выполненный с возможностью горизонтального и вертикального перемещения, устройство 8 для угловой юстировки и фиксации тубусов падающего и отраженного света, дополнительный тубус 9 падающего света, оптически связанный с дополнительным тубусом
10 отраженного света. На столик 7 кладется измеряемый образец 11.
Дополнительно содержащиеся оптиче. ски связанные тубусы 9 и 10 падающего и
1725773
Техред М,Моргентал Корректор О.Кравцова
Редактор О.Головач
Заказ 1189 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 отраженного света содержит те же элементы, что и основные тубусы 1 и 5, В качестве источников излучения используются лазеры.
С целью расширения возможностей эллипсометрических измерений некоторые из дополнительных тубусов падающего света могут иметь различные длины волн монохроматического света.
Эллипсометр работает следующим образом.
Предварительно устанавливаются углы падения тубусов 1 и 9 p> pz, равные углам отражения тубусов 5 и 10. Например, угол р = 45, pz = 70 .
Далее определяются эллипсометрические углы ф и Л > для основной пары тубусов 1 и 5 и эллипсометрические углы
t/ и Ë2 для дополнительной пары тубусов 9 и 10.
При автоматизированных измерениях при эллипсометрическом контроле пленок и покрытий с толщиной, большей эллипсометрического периода, а также для многослойных пленок производительность измерений повышается в десятки раз, так как многоугловые измерения выполняются одновременно, а не последовательно во времени с медленной операцией перестройки угла падения.
При исследовании быстропротекающих процессов, например, при нанесении или удалении пленок многослойных полупроводниковых структур фиксируемые одновременно четыре и более эллипсометрических
У параметра Q<, h <, Q, Л и т,д. позволяет одновременно определять более двух физических параметров пленок или покрытий, например толщину, показатель преломле5 ния, коэффициент экстинктции, что существенно расширяет функциональные возможносги эллипсометра.
Формула изобретения
1. Эллипсометр, содержащий оптически
10 связанные тубус падающего света с расположенным в нем источником излучения и поляризатором, тубус отраженного света с расположенным в нем анализатором, предметный столик, устройство
15 для угловой юстировки и фиксации падающего и отраженного света, о т л и ч а ю щ ий с я тем, что, с целью повышения производительности измерений и расширения функциональных возможностей эллипсо20 метра, он дополнительно содержит не менее одной пары оптически связанных тубусов падающего и отраженного света, причем в каждом тубусе падающего света расположены источник излучения и поляри25 затор, а в каждом тубусе отраженного света расположен анализатор
2 .Эллипсометр по и . 1, отличающийся тем, что в каждом тубусе падающего света расположена четвертьволновая фа30 зовая пластина.
3. Эллипсометр по пп.1 и 2, о т л и ч а— ю шийся тем что с целью расширения диапазона измеряемых параметров, источники излучения выполнены с возможностью
35 излучения. различных длин волн. /