Вакуумный затвор шиберного типа

Вакуумный затвор шиберного типа

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Использование: герметичное перекрытие автоматизированных вакуумных систем для шлюзования. Сущность изобретения: в корпусе размещен запорный механизм в виде каретки с распорными шариками, ползунами с направляющими. Уплотняющие диски механизма их перемещения установлены по обеим сторонам от каретки. Пружинный элемент установлен между дисками и выполнен в виде двух плоских упругих пластин, прикрепленных к средней части дисков. Пластины стянуты между собой на концах, снабженных планками. Одна из планок выполнена с выступами. Направляющая выполнена в виде цилиндра, ползуны - в виде втулок, механизм перемещения - в виде вращающихся винта и гайки, размещенной в одной из втулок. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛ ИСТИЧ Е СКИХ

РЕСПУБЛИК (и)з Е 16 К 3/00, 51/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1 ) ВйЬ < Т-г - (21) 4848609/29 (22) 09.07.90 (46) 15.06.92. Бюл. Nâ 22 (71) Институт кристаллографии им. А.В.

Шубникова (72) Ю.А. Старостин, Э.Я, Станишевский и

Т,В, Смирнова (53) 621.646 (088,8) (56) Патент ФРГ N 3737755, кл. F 16 К 3/18, 1989. (54) ВАКУУМНЫЙ ЗАТВОР ШИБЕРНОГО

ТИПА (57) Использование: герметичное перекрытие автоматизированных вакуумных систем для шлюзования. Сущность изобретения: в

Изобретение относится к вакуумной. технике и предназначено для герметичного перекрытия автоматизированных вакуумных систем, в частности систем, предназначенных для шлюзования.

Цель изобретения — упрощение конструкции.

B вакуумном затворе шиберного типа, включающем корпус с расположенным в нем запорным механизмом, выполненным в виде каретки с распорными шариками, ползунами с направляющими и механизмом перемещения уплотняющих дисков, установленных по обеим сторонам от каретки, и пружинный элемент, установленный междудисками, последний выполнен в виде двух плоских упругих пластин, прикрепленных в средней части к соответствующему диску и стянутых между собой на концах, снабженных планками, одна из которых выполнена с выступами, при этом направляющая выполнена в виде цилиндра, а ползуны — s виде втулок, а механизм перемещения аю> SUnн 1740842 А1 корпусе размещен запорный механизм в виде каретки с распорными шариками„полэунами с направляющими. Уплотняющие диски механизма их перемещения установлены по обеим сторонам от каретки. Пружинный элемент установлен между дисками и выполнен в виде двух плоских упругих пластин, прикрепленных к средней части дисков, Пластины стянуты между собой на концах, снабженных планками. Одна из планок выполнена с выступами. Направляющая выполнена в виде цилиндра, полэуны — в виде втулок, механизм перемещения — в виде вращающихся винта и гайки, размещенной в одной из втулок. 2 ил. выполнен в виде винта, установленного с возможностью вращения, и гайки. размещенной в одной из втулок.

Выполнение пружинного элемента в виде двух плоских упругих пластин, прикрепленных в средней части к соответствующему диску и стянутых между собой на концах посредством планок, позволяет упростить конструкцию запорного механизма, исключив необходимость выполнения паза в каретке, а выполнение одной из планок с выступами позволяет исключить применение буферных пружин, что также способствует упрощению конструкции и. кроме того, уменьшает длину затвора.

Выполнение механизма перемещения в виде винта, установленного с возможностью вращения, и гайки, размещенной в одной из втулок, позволяет упростить конструкцию затвора, исключив необходимость использования тяги. Благодаря со1740842

Уплотняющий диск 6 имеет кольцевую канавку типа ласточкина хвоста с размещенным в ней уплотнительным кольцом 22, а диск 7 выполнен с двумя отверстиями 23, необходимыми для откачки полости корпуса

1 при закрытом положении затвора. Каждый

55 вмещению функций направляющей и тяги

- сокращается длина затвора.

Кроме того, указанное выполнение механизма перемещения и пружинного элемента обеспечивает плавность хода каретки 5 и исключает удар каретки о торцовую стенку в момент перекрытия проходного отверстия, что способствует повышению срока службы затвора.

На фиг. 1 представлен вакуумный эа- 10 твор при закрытом положении уплотняющих дисков и условном обозначении распорных шариков. продольный разрез; на фиг. 2 — разрез А — А на фиг. 1.

Вакуумный затвор содержит корпус 1, в 15 полости которого размещен запорный механизм, состоящий из каретки 2 с распорными шариками 3, пружинного элемента, выполненного в виде упругих плоских пластин 4 и 5, расположенных по обеим сторо- 20 нам от каретки 2, а также уплотняющих дисков 6 и 7, расположенных по обеим сторонам от пластин 4 и 5; Затвор включает также механизм перемещения каретки, выполненный в виде винта 8, установленного 25 с возможностью вращения от электропривода (не показан), и гайки 9, размещенной в одной из втулок 10, являющихся ползунами.

Две втулки перемещаются по направляющей 11, выполненной в виде цилиндра, а две 30 другие взаимодействуют с винтом 8.

Корпус 1 представляет собой коробчатую конструкцию, состоящую из сваренных между собой верхнего короба 12 с присоединительным фланцем 13 и нижнего короба 35

14 с присоединительным фланцем 15. Во фланце 13 выполнена кольцевая уплотнительная канавка 16 для уплотнения затвора с откачиваемой камерой (не показана).

Каретка 2 представляет собой Х-образ- 40 ную конструкцию, в которой выполнено отверстие 17 для облегчения ее конструкции, а также четыре отверстия 18 для размещения в них распорных шариков 3.

Плоские упругие пластины 4 и 5 пружин- 45 ного элемента выполнены прямоугольной формы, прикреплены в средней части соотВ8ТсТВ6ННо к дискам 6 и 7 с помощью винтов

19 и стянуты на концах между собой посредством планок 20, одна из которых выполне- 50 на с выступами 21, осуществляющими функцию упоров, предотвращающих удар каретки о торцовую стену корпуса 1. из дисков 6 и 7 выполнен с четырьмя лунками 24 для размещения шариков 3.

Ходовой винт 8 установлен в подшипниковых опорах 25 и загерметизирован уплотнительным кольцом 26, а цилиндрическая направляющая 11 загерметизирована уплотнительным кольцом 27.

Корпус 1 снабжен также карманом 28 для установки запорного механизма в открытом положении, боковой стенкой 29 и проходным отверстием 30. Кроме того, затвор содержит электропривод, фрикционную муфту и узел переключателей (не обозначены).

Предлагаемое устройство работает следующим образом.

Открывают вакуумный затвор вращением винта 8 (например, по часовой стрелке) от электропривода (не показан}. Каретка 2 перемещается в сторону кармана 28, и шарики 3, перекатываясь по дискам 6 и 7, попадают в лунки 24. Пластины 4 и 5 пружинного элемента притягивают диски 6 и 7 к шарикам 3, в результате чего диски 6 и

7 отходят от присоединительных фланцев 13 и 15 и начинают перемещаться совместно с кареткой 2 до тех пор, пока не сработает один из конечных выключателей в узле микропереключателей (не показаны), кинематически связанных с винтом 8.

Далее винт 8 приводят во вращение электроприводом в обратном направлении, и каретка 2 начинает двигаться в сторону проходного отверстия 30. Как только выступы 21 пружинного элемента упрутся в торцовую стенку 29, а диски 6 и 7 расположатся напротив проходного отверстия 30, шарики

3 выйдут из лунок 24, раздвинут диски 6 и 7 и прижмут их к присоединительным фланцам 13 и 15, Диск 6 уплотнится посредством кольца 22, при этом шарики 3 будут двигаться по дискам 6 и 7 до тех пор, пока не сработает другой конечный выключатель в узле микропереключателей и не выключит электропривод.

Формула изобретения

Вакуумный затвор шиберного типа, содержащий корпус с размещенным в нем запорным механизмом в виде каретки с распорными шариками, ползунами с направляющими и механизмом перемещения уплотняющих дисков, установленных по обеим сторонам от каретки, и пружинный элемент, установленный между дисками, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью упрощения конструкции, пружинный элемент выполнен в виде двух плоских упругих пластин, прикрепленных в средней части к соответствующим дискам и стянутых между собой на концах, снабженных планками. одна из ко1740842 тОрых выполнена с выступами, при этом направляющая выполнена в виде цилиндра, полэуны — в виде втулок, а механизм пере.мещения выполнен в виде винта, установленного с возможностью вращения, и гайки, размещенной в одной из втулок.