Чувствительный элемент кондуктометрического газоанализатора

Чувствительный элемент кондуктометрического газоанализатора

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Использование: полупроводниковый газовый анализ. Сущность изобретения: анализ производят с помощью чувствительного элемента, изготовленного в виде тонкой полупроводниковой пленки оксида металла, нанесенной на непроводящую огнеупорную подложку с контактными площадками для измерения электропроводности. Полупроводниковую пленку помещают в атмосферу закиси азота. Для расширения функциональных возможностей сенсора применяют легирование поверхности полупроводниковой пленки серебром или медью, оптимальное количество которого лежит в диапазоне 1013-1014 атм/см2 . Количественный анализ закиси азота в вакууме и газах проводят с учетом предварительной калибровки сенсора .

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (51)5 G 01 N 27/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4819044/25 (22) 26.02.90 (46) 15.06.92, Бюл. N. 22 (71) Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л. Я. Карпова (72) Э. Е. Гутман, И. А, Мясников и С. В.

Рябцев (53) 543.25(088.8) (56) Catalysis reviews, 6(1); 133-219, 1972. (54) ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ КОНДУКТОМЕТРИЧЕСКОГО ГАЗОАНАЛИЗАТОРА (57) Использование: полупроводниковый газовый анализ. Сущность изобретения: анализ производят с помощью чувствительного

Изобретение относится к полупроводниковому газовому анализу и может быть использовано для определения концентрации закиси азота в вакууме и атмосфере неизмеряемого компонента (инертные газы, азот и т.д.).

Известен способ определения концентрации закиси азота по изменению электрофизических параметров (например, электропроводности, работы выхода электрона) полупроводникового оксида при повышенных температурах.

Однако устройство, реализующее данный способ, не обеспечивает достаточной чувствительности и, кроме того, требует работы сенсора при высоких температурах.

Цель изобретения — повышение чувствительности и понижение рабочей температуры за счет поверхностных добавок на полупроводниковую пленку.

Сущность предлагаемого технического решения заключается в регистрации измеэлемента, изготовленного в виде тонкой полупроводниковой пленки оксида металла, нанесенной на непроводящую огнеупорную подложку с контактными площадками для измерения электропроводности, Полупроводниковую пленку помещают в атмосферу закиси азота. Для расширения функциональных возможностей сенсора применяют легирование поверхности полупроводниковой пленки серебром или медью, оптимальное количество которого лежит в диапазоне

10 -10 атм/см . Количественный анализ закиси азота в вакууме и газах проводят с учетом предварительной калибровки сенсора. нения электропроводности полупроводниковой пленки, на поверхность которой наносится Ag или Си путем контролируемого термического испарения в вакууме до уровня 10 — 10 атм/см, обеспечивающего

13 14 2 наибольшую чувствительность сенсора.

Предлагаемое устройство для анализа концентрации закиси азота обеспечивает высокую чувствительность и понижение рабочей температуры сенсора.

Пример, Определение концентрации закиси азота с помощью чувствительного элемента на окиси цинка.

Полупроводниковую пленку ZnO наносят на огнеупорную изолированную подложку из кварца, снабженную платиновыми контактами для измерения электропроводности. Подготовленную таким образом пленку вакуумируют, прогреваютдо 350 С в течение 6 и легируют до уровня 10 - 10" атм/см, затем в вакуумную камеру напускают закись азота или ее смесь с другим

1741041

20

30

40

50

Составитель В.Екаев

Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор С.Черни

Редактор М.Циткина

Заказ 2081 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 неизмеряемым газом, При температуре

20 С и парциальном давлении 10 Торр электропроводность сенсора составляет десятки процентов от первоначального значения. Для количественного анализа закиси азота предварительно проводят калибровку сигналов сенсора.

Формула изобретения

Чувствительный элемент кондуктометрического газоанализатора, представляющий собой полупроводниковую пленку окиси цинка, нанесенную на огнеупорную изолирующую подложку, о тл и ч а ю щи и с я тем, что, с целью повышения чувствительно5 сти и снижения рабочих температур при определении содержания эакиси азота, на поверхность полупроводниковой пленки нанесено металлическое серебро или медь в количестве 10 -10 атм/см, 10