Способ изготовления омических контактоввсгсц»я11>&|1 .ffm^m^^т*фб:';щ1?а(а„.

Способ изготовления омических контактоввсгсц»я11>&|1 .ffm^m^^т*фб:';щ1?а(а„.

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Союз Советских

" Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 06.VI1.1964 (№ 910241/26-25) Кл. 21@, 11фх с присоединением заявки №

Государственный комитет по делам изобретений н Открытий СССР

МПК Н Oll

УДК 621.382.2/.327 (088.8) Приоритет

Опубликовано 27.Vill.1965. Бюллетень № 17

Дата опубликования описания 29.Х.19б5

Авторы изобретения

В. И. Диковский и С. Б. Вихрова

Заявитель Предприятие Государственного комитета по электронной технике СССР

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОМИЧЕСКИХ КОНТАКТОВ

Подписная группа М 97

Известны способы изготовления омических контактов путем вплавления в полупроводник металлического, в частности золотого, вывода с добавками донорсв или акцепгоров или по-крытого слоем металла-примеси с предварительным его оплавлением.

Предлагаемый способ изготовления омического контакта к полупроводниковым приборам отличается тем, что металлический вывод, в част;:гости из золота. предварительно покрывают слоем висмута в количестве, не превышающем 1О/, от веса вывода, или слоем сплава золота с висмутом с содержанием висмута не ниже<0 >

Предлагаемый способ позволяет за счет улучшения смачивания поверхности кремния повысить надежность и механическую прочность омического контакта, а также осуществить контакт к кремнию и- и р-типа проводимости.

Способ осуществляется следующим образом.

На вывод из золотой заготовщики, например, в виде проволоки .наносят любым известным способом слой висмута или сплава висмута с золотом. Количество висмута должно быть не более 1% от веса золотого вывода, а в спла2 ве золота с висмутом содержание висмута должно быть не ниже 20О/о. Вывод с нанесенным металлом предварительно оплавляют при температуре, превышающей температуру эзче. лики золото — висмут, а длительность оплавления выбирают таким образом, чтобы оно произошло только в поверхностном слое. После этого проводят эплавление вывода пуи температуре 450 С в поверхность кремния, об10 работанную соответствующим образом.

Предмет изобретения

Способ изготовления омических контактов путем вплавления в полупроводник металли15 ческого вывода, легированного соответствующей примесью или покрытого слоем металла с предварительным его оплавлением, отличаюи1ийся тем, что, с целью повышения механической прочности контакта и осуществления

20 его на кремнии любого типа проводимости, на вывод предварительно наносят висмут is количестве не более 1% от веса вывода.

2. Способ .по и. 1, отличающийся тем, что на вывод предварительно наносят слой из

25 сплава золота с висмутом с содержанием висмута не ниже 20%.