Двухпоточный вакуумный турбомолекулярныйнасос

Двухпоточный вакуумный турбомолекулярныйнасос

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советских

Социалистических

Респтблин

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Зяя: лепо 17.К.1964 (№ 921994/24-6) с присоединением заявки №

Государственный комитет по делаю изобретен ий и открьлий СССР

МПК Г 04о

Приоритет

УДК 6 1 24 621 527 8 (088.8) Оп бликовяно 07.1Х.1965. Бюллетень ¹ 18

Дата опубликования описания 6.XII.1965

Автор изобретения

Л. А. Беляев

Центральное конструкторское бюро вакуумной техники

Заявитель

ДВУХПОТОЧНЫЙ ВАКУУМНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ

НАСОС

Предмет изобретения

Подггггсная грутга М 129

Известны двухпоточные вакуумные турбомолекулярные насосы, содержащие корпус с размещенными в нем пакетами статорных и роторных дисков.

В предложенном насосе на входе газа в роторные диски неподвижно укреплена обоймы с проходными окнами и установленными на ней направляющими лопатками.

Такое выполнение насоса позволяет повысить быстроту откачки.

На чертеже изображен предлагаемый tt".ñîà в продольном разрезе.

Он содержит корпус 1 с пякетамп статор ых

Z и роторных 3 дисков.

На входе в роторные диски откачивяемого газа установлена обойма 4 с проходными окнами 5, неподвижно укрепленная»а корпусе.

На ней установлены направляющие лопатки б, характеризующиеся повышенной проводимостью. Этя проводимость обеспечивается изготовлением лопаток из листового материала, более тонкого, чем тот, который может применяться из условий жесткости и прочности для лопаток роторных дисков; выполнением направляющих лопаток большей высоты, чем лопатки роторных дисков и отсутствием перекрытия лопаток вдоль оси насоса.

Все указанные мероприятия позволяют увеличить скорость откачки. ! о

Двухпоточный вакуумный турбомолекулярный насос, содержащий корпус с размещенны l5 ми в нем пакетами статорных и роторных дисков, отличаюшийся тем, что, с целью повышения быстроты откачки в корпусе, на входе газа в роторные диски неподвижно укреплена обойма с проходными окнами и установленными па ней направляющими лопатками.

174752

Составитель Т. Рабчук

Редактор Н. Джарагетти Техред Т. П. Курилко

Корректор T. Н. Костикова

Типография, пр. Сапунова, д. 2.".аказ 3488/1 Тираж 1425 Формат бум. б0 (90 /з Объем 0,1 нзд. л. Цена 5 коп.

ЦНИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4