Способ возбуждения заданного типа стримерного разряда в гексагональных полупроводниках

Способ возбуждения заданного типа стримерного разряда в гексагональных полупроводниках

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Изобретение относится к методам йсс ле ванияпблупр6вЬдяиков;а именно к физике Стримерных разрядов, и может быть использовано при выращивании кристаллов , в производстве изделий квантовой, оптои акустоэлектрбникй; а Также для научных исследований. Способ основан на зависимости условий возникновения стримероб различного типа в of райиченном объеме кристалла от полярности бозбуждагощих ймпульСов напряжения. Из монокристалла Сульфидаi кадмия вырезают ;& направлении распространения стримера заданного типа стёржневидный образец сечением 0,05-1 мм и возбуждение осуществпяют импульсами напряжения отрицательной полярности. сл С

„„5U „„1755336 А1

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЙМ И ОТКРЬ1ТИЯМ

ПРИ ГКЙТ CCCP

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОPСКОМУ СВИДЁТЕЛЬС1 ВУ

*Я ..

С

2 (21) 4878458/25 :. "; ..:: . ::, ::::- : . :::::, .:::;,::::. .;:,- : (54) СПОСОБ ВОЗБУЖДЕНИЙ ЗАДАННОГО (22) 30.10,90 ......,:" ..::;:: :::, :.,:::::.::. ;: ТИПА СТРИМЕРНОГО РАЗРЯДА В ГЕКСА(46) 15.08.92. бюл, N. 30 " " :: (71) Институт физики.им. Б.И. Степанова " -":: (57) Изобретенйе относится к методам исс(72) В.П. Грибковский, К.И, Русаков и В;В. :. .:. ледованияполупроводнйков,аименнокфиПаращук::::- .:.::, ::, .:: =.::,:-,;. - :::, .:; зике стримерных разрядов, и может быть (56)Авторское свидетельство СССР, использовано при выращивании кристалМ 578672, кл. Н 01 1 21/66, 1979., ::::. лов, в йроизводстве йзделий квантовой, опГладыщукА.А.идр.Влияниетемперату- то- и акустоэлектроники. а также для ры и подсветки на стримерные разряды в :. : научных исследований Способ основан на монокристаллах сульфида и селенида кад-" ":: зависимости условий возникновейия стримия. — ЖПС, 1986, т. 44, вып. 6, с.:978-982;:.: меров различного тйпа в ограниченном объГладыщук А.А. и др. Влияние толщины.." . еме кристалла от полярности кристалла, температуры, одноосного сжа-" : - возбуждающих импульсов напряжения. Из тия, полярности электрического импульса и :::- монокристалла сульфида кадмия вырезают разрядного промежутка на стримерные p83- .: в направлении распространения стримера ряды в сульфиде кадмия..— ЖПС, 1985, т. 42, - заданного типа стержневидный образец севы п. 6, с. 889-895..: " : : :.::: чением 0,05-1 мм и возбуждение осуществляют импульсами напряжения о рицательной полярности.

Изобретение относйтся к методам исс- . ность и длина которого в условиях полного ледования и технике полупроводйиков, а ..:гашения остальных типов существенно именно к физике стримерных разрядов, и уменьшаются, Кроме того, для данного спо может быть использовано при создании ус-, соба требуется излучение в области фототройств квантовой, опто- и акустоэлектро- проводимости кристалла, специальная . ники . -::. :::::. ..:::, —:, :: геометрия подсветки и ее синхронизация в

Известен способ оптической селекции ..-:: случае импульсногорежима работы,атакже стримерных разрядов, основанный на явле- . высокое качество освещаемой поверхности нии. гашения стримеров при подсветкЕ:, .в " образца, так как эффект зависит от интенчастности на различии зависимости степени::: сивности краевой фотолюминесценции. гашения от условий подсветки для раэлич-:: S основе способа "тепловой" селекции ных типов разрядов. - .,:. :::.-.:,:::.,:: лежит зависимость вероятности (порога)

Недостатками этого способа является .; возникновения разрядов от температуры и возрастание проводимости кристалла в це- ее различйе для стримеров разного типа. лом при подсветке и уменьшение приклады- . Недостаток этого способа заключается ваемого поля во всем его объеме, что ведет . в том; что он в случае нафевания не позвок уменьшению интенсивности одновремен-: ляет выделить более одного типа разряда но всех типов стримеров,.в том числе и вы- (е1), а отсутствие полного гашения остальделяемого. При этом возможна селекция .: ных типов обуславливает невысокую эффектолько одного типа стримера(ез), интенсив- тивность селекции. При охлаждении же

1755336 гасится только один из трех возможных ти- ра одного-двух типов. В случае отрицательпов разрядов. а два остальные возбуждают- ной полярности возбуждаются только разся одновременно, что ограничивает ряды типа е1, а их количество уменьшается возможности способа, Требуются значи- до минимума, т.е. степень селекции равна тельные изменения температуры — на 200 К, 5 100 . При этом стример распространяется что вызывает заметное изменение направ- преимущественно вблизи оси стержня. ления стримеров.(на.4-12.К). Способ по сравнению с прототипом обНаиболее близщвм к предлагаемому яв- ладает повышенной эффективностью в свяляется способ,основ нный насозданииоп- эи с полйым подавлением нежелательных ределенной конфигурации возбуждающего 10 типов стримеров без изменения характериполя, Сущность его заключается в том, что стик выделяемого разряда при степени североятность возникновенйя различных ти- лекции до 100, более широкими пов разрядов при заданной температуре за- возможностями, обусловленными селеквисит от геометрии внешнего цией стримеров различного типа, простоэлектрйческого поля, в частности от взаим- 15 той, так как не требует низких температур, ного расположения образца и электрода. В экономией материала в связи с использоваслучае кристаллов CdS подведение иглово- нием тонких стержневидных образцов. го электрода со стороны плоскости (1010): .. Способ может быть использован при образца при 77 К приводит к возникнове- исследовании индивидуальных физических нию разрядов двух типов(е2 и ез}, а при его 20 свойств разрядов, на предприятиях электрасположении со стороны плоскости(1120) . ронной промышленности в целях диагновозбуждаются и разряды третьего типа(е ). стики при выращивании кристаллов и

При комнатной температуре в таких ге- изготовлении полупроводниковых изделий, ометриях расположения образца и электро- при создании мощных стабильных стримерда вероятности возбуждения всех типов 25 ныхлазероввсвязисвозможностьюформистримеров сравнимы, хотя интенсивность рования длинных неветвя.цихся разрядов. одного их них (ez) несколько мейьше, чем Использованйе способа в народном хоостальных. В связи с этим при-комнатной эяйстве дает экономический эффект, опретемпературе данный способ селекции мало- деляющийся экономией по трудозатратам, эффективен, а при низкйх температурах 30 обусловленнойупрощениемфиэическихисвозможности его ограничены, так как он не следовайий и технологических процессов и позволяет выделить какой-либо один тип сокращеййем времени на их проведение за разрядов, что представляет наибольший ин- . счет повышения эффективности селекции и терес,: - .. -,":. .. расширения возможностей, а также эконоЦелью изобретения является повыше- 35 мией материала. ниеэффективностиспособа.:"" : ":. — Фо рмул а изобретения . Способ реализуют следующим образом; Способ возбуждения заданного типа

Выделяют тип е> в стержневидном об- стримерного разряда в гексагональных поразце с поперечным размером — 0,5 мм и лупроводниках, основанный на выборе усдлиной 10-15 мм, вырезанном строго вдоль 40 ловий его возникновения, о т л и ч а |0направления распространения данного шийся тем, что, с целью повышения стримера. При положительной йдлярностй эффектйвйости спосбба, разряд возбуждавозбуждающих импульсов количество раз- ют в кристалле стержневидной формы с дирядов уменьшается и преобладают стриме- аметром 0,05-1,00 мм вдоль длины стержня, 1

Составитель А. Щитов

Редактор Т. Лазоренко Техред М.Моргентал Корректор И. Шулла

Заказ 2897 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва. Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101